12 инчийн бүрэн автомат нарийвчлалтай зүсэх хөрөөний тоног төхөөрөмж Si/SiC & HBM (Al) зориулалттай зүсэх зориулалттай вафлийн систем

Товч тайлбар:

Бүрэн автомат нарийвчлалтай зүсэх төхөөрөмж нь хагас дамжуулагч болон электрон эд ангийн үйлдвэрлэлд зориулан тусгайлан боловсруулсан өндөр нарийвчлалтай зүсэх систем юм. Энэ нь микрон түвшний боловсруулалтын нарийвчлалд хүрэхийн тулд дэвшилтэт хөдөлгөөн хянах технологи болон ухаалаг харааны байрлалыг агуулдаг. Энэхүү төхөөрөмж нь дараахь төрлийн хатуу болон хэврэг материалыг нарийвчлалтай зүсэхэд тохиромжтой.
1. Хагас дамжуулагч материал: Цахиур (Si), цахиурын карбид (SiC), галлийн арсенид (GaAs), литийн танталат/литийн ниобат (LT/LN) суурь гэх мэт.
2. Сав баглаа боодлын материал: Керамик суурь, QFN/DFN хүрээ, BGA сав баглаа боодлын суурь.
3.Үйл ажиллагааны төхөөрөмжүүд: Гадаргуугийн акустик долгионы (SAW) шүүлтүүр, термоэлектрик хөргөлтийн модулиуд, WLCSP вафли.

XKH нь тоног төхөөрөмж нь хэрэглэгчдийн үйлдвэрлэлийн хэрэгцээнд төгс нийцэж байгаа эсэхийг баталгаажуулахын тулд материалын нийцтэй байдлын туршилт болон процессын тохируулгын үйлчилгээг үзүүлдэг бөгөөд судалгаа, хөгжүүлэлтийн дээж болон багцын боловсруулалтын аль алинд нь оновчтой шийдлүүдийг хүргэдэг.

Бидэнд имэйл илгээх

Онцлог шинж чанарууд

Техникийн үзүүлэлтүүд

Параметр	Тодорхойлолт
Ажлын хэмжээ	Φ8", Φ12"
Шпиндель	Хос тэнхлэгтэй 1.2/1.8/2.4/3.0, хамгийн ихдээ 60000 эрг/мин
Ирний хэмжээ	2" ~ 3"
Y1 / Y2 тэнхлэг	Нэг алхамтай өсөлт: 0.0001 мм
	Байршлын нарийвчлал: <0.002 мм
	Таслах хүрээ: 310 мм
X тэнхлэг	Тэжээлийн хурдны хязгаар: 0.1–600 мм/с
Z1 / Z2 тэнхлэг	Нэг алхамтай өсөлт: 0.0001 мм
Z1 / Z2 тэнхлэг	Байршлын нарийвчлал: ≤ 0.001 мм
θ тэнхлэг	Байршлын нарийвчлал: ±15"
Цэвэрлэгээний газар	Эргэлтийн хурд: 100–3000 эрг/мин
Цэвэрлэгээний газар	Цэвэрлэх арга: Автоматаар зайлах болон эргүүлж хатаах
Ашиглалтын хүчдэл	3 фазын 380V 50Hz
Хэмжээ (Өргөн×Дүн×Өндөр)	1550×1255×1880 мм
Жин	2100 кг

Ажиллах зарчим

Энэхүү төхөөрөмж нь дараах технологиудыг ашиглан өндөр нарийвчлалтай зүсэлт хийдэг.
1. Өндөр хатуулагтай шпинделийн систем: 60,000 эрг/мин хүртэл эргэлтийн хурдтай, өөр өөр материалын шинж чанарт дасан зохицохын тулд алмазан ир эсвэл лазер зүсэх толгойгоор тоноглогдсон.

2. Олон тэнхлэгт хөдөлгөөний удирдлага: X/Y/Z тэнхлэгийн байрлалын нарийвчлал ±1μm, хазайлтгүй огтлох замыг хангахын тулд өндөр нарийвчлалтай торны масштабтай хослуулсан.

3. Ухаалаг харааны тохиргоо: Өндөр нягтралтай CCD (5 мегапиксел) нь гудамжны зүсэлтийг автоматаар таньж, материалын гажуудал эсвэл буруу тохиргоог нөхдөг.

4. Хөргөлт ба тоос зайлуулах: Дулааны нөлөөлөл болон тоосонцрын бохирдлыг багасгахын тулд цэвэр усны хөргөлтийн систем болон вакуум сорох тоос зайлуулах системтэй.

Таслах горимууд

1. Ирний шоо зүсэлт: Si болон GaAs зэрэг уламжлалт хагас дамжуулагч материалд тохиромжтой, 50-100μm өргөнтэй.

2. Нууцлаг лазераар зүсэх: Хэт нимгэн вафли (<100μm) эсвэл эмзэг материал (жишээ нь, LT/LN)-д ашигладаг тул стрессгүй салгах боломжийг олгодог.

Ердийн хэрэглээ

Тохиромжтой материал	Хэрэглээний талбар	Боловсруулалтын шаардлага
Цахиур (Si)	IC болон MEMS мэдрэгчүүд	Өндөр нарийвчлалтай зүсэлт, зүсэлт <10μm
Цахиурын карбид (SiC)	Цахилгаан төхөөрөмжүүд (MOSFET/диод)	Бага хохирол учруулах зүсэлт, дулааны менежментийн оновчлол
Галлий Арсенид (GaAs)	RF төхөөрөмжүүд, оптоэлектрон чипүүд	Бичил хагарлаас урьдчилан сэргийлэх, цэвэр байдлын хяналт
LT/LN субстратууд	SAW шүүлтүүр, оптик модулятор	Стрессгүй зүсэлт, пьезоэлектрик шинж чанарыг хадгалах
Керамик суурь	Цахилгаан модулиуд, LED сав баглаа боодол	Өндөр хатуулагтай материалын боловсруулалт, ирмэгийн тэгш байдал
QFN/DFN жааз	Дэвшилтэт сав баглаа боодол	Олон чиптэй нэгэн зэрэг зүсэлт, үр ашгийг оновчлох
WLCSP вафли	Вафер түвшний сав баглаа боодол	Хэт нимгэн вафли (50μm)-ийг гэмтэлгүйгээр хэрчинэ

Давуу талууд

1. Мөргөлдөөнөөс урьдчилан сэргийлэх дохиолол, хурдан шилжүүлгийн байрлал, алдаа засах хүчтэй чадвартай өндөр хурдтай кассетны хүрээ сканнердах.

2. Дан ээрмэл системтэй харьцуулахад үр ашгийг ойролцоогоор 80%-иар сайжруулсан давхар ээрмэл огтлох горимыг оновчтой болгосон.

3. Нарийвчлалтай импортын бөмбөлөг эрэг, шугаман хөтөч, Y тэнхлэгийн сараалжны масштабын хаалттай гогцооны удирдлага нь өндөр нарийвчлалтай боловсруулалтын урт хугацааны тогтвортой байдлыг хангадаг.

4. Ачаалах/буулгах, шилжүүлэх байрлал, тэгшлэх огтлолт, эргэлтийн үзлэгийг бүрэн автоматжуулсан нь операторын (OP) ажлын ачааллыг мэдэгдэхүйц бууруулна.

5. Гантри маягийн ээрмэлийн угсралтын бүтэц нь хамгийн багадаа 24 мм-ийн хос иртэй зайтай тул хос ээрмэлийн зүсэлтийн процесст илүү өргөн хүрээтэй дасан зохицох боломжийг олгодог.

Онцлог шинж чанарууд

1. Өндөр нарийвчлалтай холбоо барихгүйгээр өндрийг хэмжих.

2. Нэг тавиур дээр олон талт давхар иртэй зүсэлт хийх.

3. Автомат тохируулга, керфийн үзлэг, ирний эвдрэлийг илрүүлэх систем.

4. Сонгож болох автомат тохируулгын алгоритмуудтай олон төрлийн процессуудыг дэмждэг.

5. Алдааг өөрөө засах функц болон бодит цагийн олон байрлалын хяналт.

6. Анхны шоо дөрвөлжин хэрчсэний дараа анхны зүсэлтийн шалгалтын чадвар.

7. Үйлдвэрийн автоматжуулалтын модулиуд болон бусад нэмэлт функцуудыг өөрчлөх боломжтой.

Тохиромжтой материалууд

Тоног төхөөрөмжийн үйлчилгээ

Бид тоног төхөөрөмж сонгохоос эхлээд урт хугацааны засвар үйлчилгээ хүртэл цогц дэмжлэг үзүүлдэг:

(1) Захиалгат хөгжүүлэлт
· Материалын шинж чанарт (жишээ нь, SiC хатуулаг, GaAs хэврэг чанар) үндэслэн ир/лазер зүсэх шийдлийг санал болгоно.

· Зүсэлтийн чанарыг (хагарах, ирмэгийн өргөн, гадаргуугийн барзгаржилт гэх мэт) шалгахын тулд үнэгүй дээжийн туршилтыг санал болгоно.

(2) Техникийн сургалт
· Үндсэн сургалт: Тоног төхөөрөмжийн ажиллагаа, параметрийн тохируулга, тогтмол засвар үйлчилгээ.
· Дэвшилтэт сургалтууд: Нарийн төвөгтэй материалын процессын оновчлол (жишээ нь, LT суурь материалыг стрессгүйгээр огтлох).

(3) Борлуулалтын дараах дэмжлэг
· 24/7 хариу арга хэмжээ: Алсын зайнаас оношилгоо хийх эсвэл газар дээр нь тусламж үзүүлэх.
· Сэлбэг хэрэгслийн хангамж: Хурдан солих зориулалттай эрүү, ир, оптик эд ангиудыг нөөцөлсөн.
· Урьдчилан сэргийлэх засвар үйлчилгээ: Нарийвчлалыг хадгалах, ашиглалтын хугацааг уртасгахын тулд тогтмол тохируулга хийх.

Бидний давуу талууд

✔ Салбарын туршлага: Дэлхийн 300 гаруй хагас дамжуулагч болон электроник үйлдвэрлэгчдэд үйлчилдэг.
✔ Хамгийн сүүлийн үеийн технологи: Нарийвчлалтай шугаман хөтөч болон серво системүүд нь салбартаа тэргүүлэгч тогтвортой байдлыг хангадаг.
✔ Дэлхийн үйлчилгээний сүлжээ: Орон нутгийн дэмжлэг үзүүлэх зорилгоор Ази, Европ, Хойд Америкт хамрах хүрээ.
Туршилт эсвэл лавлагаа авах бол бидэнтэй холбогдоно уу!