LiNbO₃ Вафли 2 инч-8 инч Зузаан 0.1 ~ 0.5мм TTV 3µm Захиалгат

Товч тайлбар:

LiNbO₃ Ваферууд нь нэгдсэн фотоник болон нарийвчлалтай акустикийн алтан стандартыг төлөөлж, орчин үеийн оптоэлектроник системд хосгүй гүйцэтгэлийг бий болгодог. Тэргүүлэх үйлдвэрлэгчийн хувьд бид эдгээр инженерчлэлийн субстратыг уурын тээвэрлэлтийн тэнцвэржүүлэлтийн дэвшилтэт техникээр үйлдвэрлэх урлагийг төгөлдөржүүлж, 50/см²-ээс доош согогийн нягтралтай салбартаа тэргүүлэгч талстлаг төгс төгөлдөр байдлыг бий болгосон.

XKH үйлдвэрлэлийн хүчин чадал нь 75 мм-ээс 150 мм хүртэлх диаметртэй бөгөөд нарийн чиглэлийн хяналт (X/Y/Z-тайралт ±0.3°) болон ховор элементийг багтаасан тусгай хольцын сонголттой. LiNbO₃ вафлины өвөрмөц шинж чанаруудын хослол - түүний дотор гайхалтай r₃₃ коэффициент (32±2 pm/V) болон хэт ягаан туяанаас дунд хэт ягаан туяа хүртэл өргөн тунгалаг байдал нь тэдгээрийг дараагийн үеийн фотоны хэлхээ болон өндөр давтамжийн акустик төхөөрөмжүүдэд зайлшгүй шаардлагатай болгодог.

Бидэнд имэйл илгээх

Онцлог шинж чанарууд

Техникийн үзүүлэлтүүд

Материал	Оптик зэрэглэлийн LiNbO3 вафууд
Кюри Темп	1142±2.0℃
Таслах өнцөг	X/Y/Z гэх мэт
Диаметр/хэмжээ	2"/3"/4"/6"/8"
Тол(±)	<0.20 мм
Зузаан	0.1 ~ 0.5 мм ба түүнээс дээш
Үндсэн орон сууц	16мм/22мм /32мм
TTV	<3µm
Нум	-30
Гажуудал	<40µm
Чиглэлийн хавтгай	Бүгд боломжтой
Гадаргуугийн төрөл	Нэг тал өнгөлсөн / Хоёр тал өнгөлсөн
Өнгөлсөн тал Ra	<0.5нм
S/D	20/10
Ирмэгийн шалгуур	R=0.2мм эсвэл Буллнозе
Оптик хольцтой	Оптик зэрэглэлийн LN< вафлины хувьд Fe/Zn/MgO гэх мэт
Ваферын гадаргуугийн шалгуур	Хугарлын индекс	632нм долгионы урттай №=2.2878/Ne=2.2033
	Бохирдол,	Байхгүй
	Бөөмс ￠>0.3 µ м	<= 30
	Зураас, хагарал	Байхгүй
	Согог	Ирмэгийн хагарал, зураас, хөрөөний ул мөр, толбо байхгүй
Сав баглаа боодол	Тоо ширхэг/Вафер хайрцаг	Хайрцаг тутамд 25 ширхэг

Манай LiNbO₃ вафлийн үндсэн шинж чанарууд

1. Фотоник гүйцэтгэлийн шинж чанарууд

Манай LiNbO₃ ваферууд нь гэрлийн материйн харилцан үйлчлэлийн гайхалтай чадварыг харуулдаг бөгөөд шугаман бус оптик коэффициентууд нь 42 pm/V хүрдэг нь квант фотоникт чухал ач холбогдолтой долгионы уртыг үр ашигтай хувиргах процессыг бий болгодог. Субстратууд нь 320-5200nm-ийн дагуу >72% дамжуулалтыг хадгалдаг бөгөөд тусгайлан зохион бүтээсэн хувилбарууд нь телеком долгионы уртад <0.2dB/cm тархалтын алдагдлыг бий болгодог.

2. Акустик долгионы инженерчлэл

Манай LiNbO₃ вафлины талст бүтэц нь 3800 м/с-ээс дээш гадаргуугийн долгионы хурдыг дэмждэг бөгөөд энэ нь 12GHz хүртэл резонаторын ажиллагааг зөвшөөрдөг. Бидний өмчийн өнгөлгөөний техник нь ±15ppm/°C дотор температурын тогтвортой байдлыг хадгалахын зэрэгцээ 1.2dB-ээс бага оруулгын алдагдалтай гадаргуугийн акустик долгион (SAW) төхөөрөмжийг гаргаж авдаг.

3. Байгаль орчны тэсвэртэй байдал

Хэт хүнд нөхцөлд тэсвэртэй байхаар бүтээгдсэн манай LiNbO₃ вафли нь криогенийн температураас 500°C хүртэлх үйл ажиллагааны орчинд ажиллах чадварыг хадгалдаг. Энэхүү материал нь гүйцэтгэлийн мэдэгдэхүйц доройтолгүйгээр >1Mrad нийт ионжуулагч тунг тэсвэрлэх онцгой цацрагийн хатуулагтай.

4. Хэрэглээний онцлог тохиргоо

Бид дараах домэйн инженерчлэлийн хувилбаруудыг санал болгож байна:
5-50μm домэйн үетэй үечилсэн туйлширсан бүтэц
Холимог интеграцид зориулсан ионоор зүссэн нимгэн хальснууд
Тусгай хэрэглээнд зориулсан метаматериалаар сайжруулсан хувилбарууд

LiNbO₃ вафлины хэрэгжилтийн хувилбарууд

1. Дараагийн үеийн оптик сүлжээнүүд
LiNbO₃ ваферууд нь терабит хэмжээний оптик дамжуулагчийн гол тулгуур болж, дэвшилтэт үүрлэсэн модуляторын загвараар дамжуулан 800Gbps когерент дамжуулалтыг зөвшөөрдөг. Бидний суурь материалыг хиймэл оюун ухаан/ML хурдасгуурын системд хамтран багцалсан оптикийн хэрэгжилтэд улам бүр ашиглаж байна.
2.6G RF фронтендууд
Хамгийн сүүлийн үеийн LiNbO₃ Wafers нь 20GHz хүртэлх хэт өргөн зурвасын шүүлтүүрийг дэмждэг бөгөөд энэ нь шинээр гарч ирж буй 6G стандартын спектрийн хэрэгцээг хангадаг. Манай материалууд нь 2000-аас давсан Q коэффициент бүхий шинэ акустик резонаторын архитектурыг бий болгох боломжийг олгодог.
3. Квант мэдээллийн системүүд
Нарийвчлалтай туйлшруулсан LiNbO₃ ваферууд нь >90%-ийн хос үүсгэх үр ашигтай орооцолдсон фотоны эх үүсвэрүүдийн үндэс суурийг бүрдүүлдэг. Бидний суурь нь фотоны квант тооцоолол болон аюулгүй холбооны сүлжээнд нээлт хийх боломжийг олгож байна.
4. Дэвшилтэт мэдрэгчийн шийдлүүд
1550 нм долгионы уртад ажилладаг автомашины LiDAR-аас эхлээд хэт мэдрэг жингийн мэдрэгч хүртэл LiNbO₃ ваферууд нь чухал дамжуулалтын платформ болдог. Манай материалууд нь мэдрэгчийн нягтралыг нэг молекулын илрүүлэлтийн түвшин хүртэл нэмэгдүүлэх боломжийг олгодог.

LiNbO₃Ваферын гол давуу талууд

1. Хосгүй цахилгаан оптик гүйцэтгэл
Онцгой өндөр электро-оптик коэффициент (r₃₃~30-32 pm/V): Арилжааны литийн ниобат ваферуудын салбарын жишиг үзүүлэлт бөгөөд цахиур дээр суурилсан эсвэл полимер уусмалын гүйцэтгэлийн хязгаараас хамаагүй давсан 200Gbps+ өндөр хурдны оптик модуляторуудыг ашиглах боломжийг олгодог.

Хэт бага оруулгын алдагдал (<0.1 дБ/см): Нано хэмжээний өнгөлгөө (Ra<0.3 нм) болон тусгалаас хамгаалах (AR) бүрхүүлээр дамжуулан оптик холбооны модулиудын эрчим хүчний үр ашгийг мэдэгдэхүйц нэмэгдүүлдэг.

2. Дээд зэргийн пьезоэлектрик ба акустик шинж чанарууд
Өндөр давтамжтай SAW/BAW төхөөрөмжүүдэд тохиромжтой: 3500-3800 м/с акустик хурдтай эдгээр хавтан нь оруулах алдагдал <1.0 дБ бүхий 6G мм долгионы (24-100 GHz) шүүлтүүрийн загварыг дэмждэг.

Өндөр цахилгаан механик холболтын коэффициент (K²~0.25%): RF урд талын бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн зурвасын өргөн болон дохионы сонголтын чадварыг сайжруулж, 5G/6G суурь станцууд болон хиймэл дагуулын холбоонд тохиромжтой болгодог.

3. Өргөн зурвасын тунгалаг байдал ба шугаман бус оптик нөлөө
Хэт өргөн оптик дамжуулалтын цонх (350-5000 нм): Хэт ягаан туяанаас дунд зэргийн хэт улаан туяаны спектрийг хамарч, дараах хэрэглээг хангана:

Квант оптик: Үе үе туйлшруулсан (PPLN) тохиргоо нь орооцолдон фотон хос үүсгэхэд >90%-ийн үр ашгийг хүртдэг.

Лазер системүүд: Оптик параметрийн хэлбэлзэл (OPO) нь тохируулж болох долгионы уртын гаралтыг (1-10 μм) өгдөг.

Лазерын гэмтлийн онцгой босго (>1 GW/см²): Өндөр хүчин чадалтай лазерын хэрэглээнд тавигдах хатуу шаардлагыг хангасан.

4. Байгаль орчны онцгой тогтвортой байдал
Өндөр температурт тэсвэртэй (Кюри цэг: 1140°C): -200°C-аас +500°C хүртэл тогтвортой ажиллагааг хадгалдаг, дараах тохиолдолд тохиромжтой:

Автомашины электроник (хөдөлгүүрийн тасалгааны мэдрэгч)

Сансрын хөлөг (гүн сансрын оптик бүрэлдэхүүн хэсгүүд)

Цацрагийн хатуулаг (>1 Mrad TID): MIL-STD-883 стандартад нийцсэн, цөмийн болон батлан хамгаалах электроникт тохиромжтой.

5. Тохируулга ба интеграцийн уян хатан байдал
Кристал чиглэл ба допинг оновчлол:

X/Y/Z хэлбэртэй зүссэн вафли (±0.3° нарийвчлалтай)

Оптик гэмтлийн эсэргүүцлийг нэмэгдүүлэхийн тулд MgO хольц (5 моль%)

Олон төрлийн интеграцчилалын дэмжлэг:

Цахиурын фотоник (SiPh)-тэй эрлийз интеграцчилал хийхэд зориулсан нимгэн хальсан LiNbO₃-on-Insulator (LNOI)-тэй нийцдэг.

Хамт савласан оптик (CPO)-д зориулсан вафер түвшний холболтыг идэвхжүүлдэг

6. Өргөтгөх боломжтой үйлдвэрлэл ба зардлын үр ашиг
6 инчийн (150 мм) вафлийн массын үйлдвэрлэл: Уламжлалт 4 инчийн процессуудтай харьцуулахад нэгжийн зардлыг 30%-иар бууруулдаг.

Хурдан хүргэлт: Стандарт бүтээгдэхүүн 3 долоо хоногийн дотор хүргэгддэг; жижиг багцын туршилтын загварууд (хамгийн багадаа 5 ширхэг) 10 хоногийн дотор хүргэгддэг.

XXKH үйлчилгээ

1. Материалын Инновацийн Лаборатори
Манай болор өсөлтийн мэргэжилтнүүд үйлчлүүлэгчидтэй хамтран дараах хэрэглээнд зориулагдсан LiNbO₃ Wafers найрлага боловсруулахад хамтран ажилладаг:

Оптик алдагдлын бага хувилбарууд (<0.05dB/cm)

Өндөр хүчин чадалтай харьцах тохиргоо

Цацраг туяанд тэсвэртэй найрлага

2. Хурдан туршилтын хоолой
Зураг төслөөс эхлээд хүргэлт хүртэл 10 ажлын өдөрт:

Захиалгат чиглэлийн вафли

Хээтэй электродууд

Урьдчилан тодорхойлсон дээжүүд

3. Гүйцэтгэлийн гэрчилгээ
LiNbO₃ вафлийн тээвэрлэлт бүр дараахь зүйлийг агуулдаг.

Бүрэн спектроскопийн шинж чанар

Кристаллографийн чиг баримжааны баталгаажуулалт

Гадаргуугийн чанарын гэрчилгээ

4. Нийлүүлэлтийн сүлжээний баталгаа