5G/6G холбооны зориулалттай LiTaO3 Wafer 2 инч-8 инч 10x10x0.5 мм 1sp 2sp

5G/6G холбооны зориулалттай LiTaO3 вафли 2 инч-8 инч 10x10x0.5 мм 1sp 2sp Онцлох зураг

Товч тайлбар:

Гурав дахь үеийн хагас дамжуулагч болон оптоэлектроникийн гол материал болох LiTaO3 вафли (литийн танталатын вафли) нь өндөр Кюри температур (610°C), өргөн тунгалаг байдлын хүрээ (0.4–5.0 μm), дээд зэргийн пьезоэлектрик коэффициент (d33 > 1,500 pC/N), бага диэлектрик алдагдал (tanδ < 2%) зэргийг ашиглан 5G харилцаа холбоо, фотоник интеграци, квант төхөөрөмжүүдийг хувьсгал хийдэг. Физик уурын тээвэрлэлт (PVT) болон химийн уурын тунадасжуулалт (CVD) зэрэг дэвшилтэт үйлдвэрлэлийн технологийг ашиглан XKH нь гадаргуугийн барзгаржилт (Ra) <0.5 нм, микро хоолойн нягтрал <0.1 см⁻² бүхий 2-8 инчийн форматаар X/Y/Z-тайрсан, 42°Y-тайрсан, үе үе туйлширсан (PPLT) вафлигуудыг хангадаг. Манай үйлчилгээнд Fe допинг, химийн бууралт, Smart-Cut олон төрлийн интеграци багтдаг бөгөөд өндөр хүчин чадалтай оптик шүүлтүүр, хэт улаан туяаны мэдрэгч, квант гэрлийн эх үүсвэрийг шийддэг. Энэхүү материал нь миниатюрчлал, өндөр давтамжийн ажиллагаа, дулааны тогтвортой байдлын чиглэлээр нээлтүүдийг хийж, чухал технологиудад дотоодын орлуулалтыг хурдасгадаг.

Бидэнд имэйл илгээх

Онцлог шинж чанарууд

Техникийн үзүүлэлтүүд

Нэр	Оптик зэрэглэлийн LiTaO3	Дууны түвшний хүснэгт LiTaO3
Тэнхлэгийн	Z зүсэлт + / - 0.2 °	36 ° Y зүсэлт / 42 ° Y зүсэлт / X зүсэлт (+ / - 0.2 °)
Диаметр	76.2мм + / - 0.3мм/ 100±0.2мм	76.2мм + /-0.3мм 100мм + /-0.3мм 0р 150±0.5мм
Өгөгдлийн хавтгай	22мм + / - 2мм	22мм + /-2мм 32мм + /-2мм
Зузаан	500мм + /-5мм 1000мм + /-5мм	500мм + /-20мм 350мм + /-20мм
TTV	≤ 10 мкм	≤ 10 мкм
Кюригийн температур	605 °C + / - 0.7 °C (DTA арга)	605 °C + / -3 °C (DTA арга
Гадаргуугийн чанар	Хоёр талт өнгөлгөө	Хоёр талт өнгөлгөө
Налуу ирмэгүүд	ирмэгийг тойруулан	ирмэгийг тойруулан

Гол шинж чанарууд

1. Цахилгаан болон оптик гүйцэтгэл
· Цахилгаан-оптик коэффициент: r33 нь 30 pm/V (X-тайралт) хүрдэг бөгөөд энэ нь LiNbO3-оос 1.5 дахин өндөр бөгөөд хэт өргөн зурвасын электро-оптик модуляцийг (>40 GHz зурвасын өргөн) идэвхжүүлдэг.
· Өргөн спектрийн хариу үйлдэл: Дамжуулах хүрээ 0.4–5.0 μм (8 мм зузаантай), хэт ягаан туяаны шингээлтийн ирмэг нь 280 нм хүртэл бага, хэт ягаан туяаны лазер болон квант цэгийн төхөөрөмжүүдэд тохиромжтой.
· Бага пироэлектрик коэффициент: dP/dT = 3.5×10⁻⁴ C/(m²·K), өндөр температурт хэт улаан туяаны мэдрэгчийн тогтвортой байдлыг хангана.

2. Дулаан ба механик шинж чанарууд
· Өндөр дулаан дамжуулалт: 4.6 Вт/м·К (X хэлбэрийн зүсэлт), кварцынхаас дөрөв дахин их, -200–500°C дулааны мөчлөгийг тэсвэрлэдэг.
· Дулааны тэлэлтийн бага коэффициент: CTE = 4.1×10⁻⁶/K (25–1000°C), дулааны стрессийг багасгахын тулд цахиурын савлагаатай нийцдэг.
3. Согогийн хяналт ба боловсруулалтын нарийвчлал
· Микро хоолойн нягтрал: <0.1 см⁻² (8 инчийн вафли), мултрах нягтрал <500 см⁻² (KOH сийлбэрээр баталгаажсан).
· Гадаргуугийн чанар: Ra <0.5 нм хүртэл CMP өнгөлсөн, EUV литографийн зэрэглэлийн тэгш байдлын шаардлагыг хангасан.

Гол хэрэглээнүүд

Домэйн	Хэрэглээний хувилбарууд	Техникийн давуу талууд
Оптик харилцаа холбоо	100G/400G DWDM лазер, цахиурын фотоникийн эрлийз модулиуд	LiTaO3 ваферын өргөн спектрийн дамжуулалт болон долгион хөтлөгчийн алдагдал бага (α <0.1 дБ/см2) нь C-зурвасын тэлэлтийг идэвхжүүлдэг.
5G/6G харилцаа холбоо	SAW шүүлтүүр (1.8–3.5 GHz), BAW-SMR шүүлтүүрүүд	42°Y зүсэлттэй вафли нь Kt² >15% -д хүрдэг бөгөөд оруулгын алдагдал бага (<1.5 дБ) болон өнхрөх өндөр (>30 дБ) өгдөг.
Квант технологиуд	Дан фотон илрүүлэгч, параметрийн доош хөрвүүлэлтийн эх үүсвэрүүд	Шугаман бус коэффициент өндөр (χ(2)=40 pm/V) болон харанхуй тооллын хурд бага (<100 тоо/с) нь квант нарийвчлалыг нэмэгдүүлдэг.
Аж үйлдвэрийн мэдрэгч	Өндөр температурын даралтын мэдрэгч, гүйдлийн трансформаторууд	LiTaO3 ваферийн пьезоэлектрик хариу урвал (g33 >20 мВ/м) болон өндөр температурын хүлцэл (>400°C) нь эрс тэс орчинд тохиромжтой.

XXKH үйлчилгээ

1. Захиалгат вафли үйлдвэрлэх

· Хэмжээ ба зүсэлт: X/Y/Z зүсэлттэй, 42°Y зүсэлттэй, мөн захиалгат өнцгийн зүсэлттэй (±0.01° хүлцэл) 2–8 инчийн вафли.

· Допингийн хяналт: Электроптик коэффициент болон дулааны тогтвортой байдлыг оновчтой болгохын тулд Чохралскийн аргаар (концентрацийн хязгаар 10¹⁶–10¹⁹ см⁻³) Fe, Mg-ийг допингийн аргаар хольж хэрэглэнэ.

2. Дэвшилтэт процессын технологиуд
.
· Үечилсэн өнгөлгөө (PPLT): LTOI вафлинд зориулсан Smart-Cut технологи нь ±10 нм домэйн хугацааны нарийвчлал болон квази-фазтай тохирсон (QPM) давтамжийн хөрвүүлэлтийг бий болгодог.

· Олон төрлийн интеграци: Өндөр давтамжтай SAW шүүлтүүрт зориулсан зузааны хяналттай (300–600 нм) ба 8.78 Вт/м·К хүртэл дулаан дамжуулалттай Si-д суурилсан LiTaO3 нийлмэл вафли (POI).

3. Чанарын удирдлагын системүүд
.
· Төгсгөл хүртэлх туршилт: Раман спектроскопи (политипийн баталгаажуулалт), XRD (талст чанар), AFM (гадаргуугийн морфологи) болон оптик жигд байдлын туршилт (Δn <5×10⁻⁵).

4. Дэлхийн нийлүүлэлтийн сүлжээний дэмжлэг
.
· Үйлдвэрлэлийн хүчин чадал: Сард 5,000 гаруй вафли (8 инч: 70%) үйлдвэрлэнэ, 48 цагийн яаралтай хүргэлттэй.

· Логистикийн сүлжээ: Европ, Хойд Америк, Ази, Номхон далайн бүс нутгуудад температурын хяналттай сав баглаа боодолтой агаарын/далайн тээвэрлэлтээр тээвэрлэлт хийнэ.