LT Литиум Танталат (LiTaO3) Кристал 2 инч/3 инч/4 инч/6 инч Ориентаитон Y-42°/36°/108° Зузаан 250-500мк

LT Литий Танталат (LiTaO3) Кристал 2 инч/3 инч/4 инч/6 инч Ориентаитон Y-42°/36°/108° Зузаан 250-500мк Онцлох зураг

Товч тайлбар:

LiTaO₃ вафли нь онцгой пьезоэлектрик коэффициент, дулааны тогтвортой байдал, оптик шинж чанарыг харуулсан чухал пьезоэлектрик болон ферроэлектрик материалын системийг төлөөлдөг бөгөөд гадаргуугийн акустик долгион (SAW) шүүлтүүр, их хэмжээний акустик долгион (BAW) резонатор, оптик модулятор болон хэт улаан туяаны мэдрэгч зэрэгт зайлшгүй шаардлагатай болгодог. XKH нь өндөр чанартай LiTaO₃ вафлийн судалгаа, хөгжүүлэлт, үйлдвэрлэлд мэргэшсэн бөгөөд согогийн нягтрал <100/см² бүхий дээд зэргийн талст нэгэн төрлийн байдлыг хангахын тулд Czochralski (CZ) талст ургалт болон шингэн фазын эпитакси (LPE) дэвшилтэт процессуудыг ашигладаг.

XKH нь олон талст зүйн чиглэлтэй (X-тайралт, Y-тайралт, Z-тайралт) 3 инч, 4 инч, 6 инчийн LiTaO₃ вафли нийлүүлдэг бөгөөд тодорхой хэрэглээний шаардлагыг хангахын тулд захиалгат хольц (Mg, Zn) болон өнгөлгөөний боловсруулалтыг дэмждэг. Материалын диэлектрик тогтмол (ε~40-50), пьезоэлектрик коэффициент (d₃₃~8-10 pC/N), Кюригийн температур (~600°C) нь LiTaO₃-г өндөр давтамжийн шүүлтүүр болон нарийвчлалтай мэдрэгчийн хувьд илүү тохиромжтой суурь болгон тогтоодог.

Манай босоо интеграцчилагдсан үйлдвэрлэл нь болор ургалт, вафли хийх, өнгөлөх, нимгэн хальсан тунадасжуулалтыг хамардаг бөгөөд 5G харилцаа холбоо, хэрэглээний электроник, фотоник, батлан хамгаалах салбаруудад үйлчлэх сарын үйлдвэрлэлийн хүчин чадал нь 3000 гаруй вафли юм. Бид оновчтой LiTaO₃ шийдлүүдийг хүргэхийн тулд цогц техникийн зөвлөгөө, дээжийн шинж чанар, бага хэмжээний туршилтын үйлчилгээ үзүүлдэг.

Бидэнд имэйл илгээх

Онцлог шинж чанарууд

Техникийн үзүүлэлтүүд

Нэр	Оптик зэрэглэлийн LiTaO3	Дууны түвшний хүснэгт LiTaO3
Тэнхлэгийн	Z зүсэлт + / - 0.2 °	36 ° Y зүсэлт / 42 ° Y зүсэлт / X зүсэлт(+ / - 0.2 °)
Диаметр	76.2мм + / - 0.3мм/100±0.2мм	76.2мм + /-0.3мм100мм + /-0.3мм 0р 150±0.5мм
Өгөгдлийн хавтгай	22мм + / - 2мм	22мм + /-2мм32мм + /-2мм
Зузаан	500мм + /-5мм1000мм + /-5мм	500мм + /-20мм350мм + /-20мм
TTV	≤ 10 мкм	≤ 10 мкм
Кюригийн температур	605 °C + / - 0.7 °C (DTA арга)	605 °C + / -3 °C (DTA арга
Гадаргуугийн чанар	Хоёр талт өнгөлгөө	Хоёр талт өнгөлгөө
Налуу ирмэгүүд	ирмэгийг тойруулан	ирмэгийг тойруулан

Гол шинж чанарууд

1. Кристал бүтэц ба цахилгаан гүйцэтгэл

· Кристаллографийн тогтвортой байдал: 100% 4H-SiC политипийн давамгайлал, олон талст орцгүй (жишээ нь, 6H/15R), хагас хамгийн ихдээ (FWHM) ≤32.7 арксек бүхий XRD муруй бүрэн өргөнтэй.
· Өндөр зөөгч хөдөлгөөн: Электрон хөдөлгөөн 5,400 см²/V·s (4H-SiC) ба нүх хөдөлгөөн 380 см²/V·s нь өндөр давтамжийн төхөөрөмжийн загварыг бий болгох боломжийг олгодог.
·Цацрагийн хатуулаг: 1 МэВ нейтрон цацрагийг тэсвэрлэх чадвартай, шилжилтийн гэмтлийн босго нь 1×10¹⁵ н/см² бөгөөд сансар судлал болон цөмийн хэрэглээнд тохиромжтой.

2. Дулаан ба механик шинж чанарууд

· Онцгой дулаан дамжуулалт: 4.9 Вт/см·К (4H-SiC), цахиурынхаас гурав дахин их, 200°C-аас дээш температурт ажиллахыг дэмждэг.
· Дулааны тэлэлтийн бага коэффициент: 4.0×10⁻⁶/K (25–1000°C) CTE, цахиур дээр суурилсан савлагаатай нийцтэй байдлыг хангаж, дулааны стрессийг хамгийн бага байлгана.

3. Согогийн хяналт ба боловсруулалтын нарийвчлал
.
· Бичил хоолойн нягтрал: <0.3 см⁻² (8 инчийн вафли), мултрах нягтрал <1,000 см⁻² (KOH сийлбэрээр баталгаажсан).
· Гадаргуугийн чанар: Ra <0.2 нм хүртэл CMP өнгөлсөн, EUV литографийн зэрэглэлийн тэгш байдлын шаардлагыг хангасан.

Гол хэрэглээнүүд

Домэйн	Хэрэглээний хувилбарууд	Техникийн давуу талууд
Оптик харилцаа холбоо	100G/400G лазер, цахиурын фотоникийн эрлийз модулиуд	InP үрийн субстратууд нь шууд зурвасын зай (1.34 eV) болон Si дээр суурилсан гетероэпитаксиг идэвхжүүлж, оптик холболтын алдагдлыг бууруулдаг.
Шинэ эрчим хүчний тээврийн хэрэгсэл	800V өндөр хүчдэлийн инвертер, суурилагдсан цэнэглэгч (OBC)	4H-SiC суурь нь >1200 В хүчдэлийг тэсвэрлэдэг бөгөөд энэ нь дамжуулалтын алдагдлыг 50%, системийн эзэлхүүнийг 40% бууруулдаг.
5G Харилцаа холбоо	Миллиметрийн долгионы RF төхөөрөмжүүд (PA/LNA), суурь станцын цахилгаан өсгөгч	Хагас тусгаарлагчтай SiC суурь (эсэргүүцэл >10⁵ Ω·см) нь өндөр давтамжтай (60 GHz+) идэвхгүй интеграцийг идэвхжүүлдэг.
Аж үйлдвэрийн тоног төхөөрөмж	Өндөр температурын мэдрэгч, гүйдлийн трансформатор, цөмийн реакторын монитор	InSb үрийн суурь (0.17 эВ зурвасын зай) нь 10 Т-д 300% хүртэл соронзон мэдрэмжийг өгдөг.

LiTaO₃ Вафли - Гол шинж чанарууд

1. Дээд зэргийн пьезоэлектрик гүйцэтгэл

· Өндөр пьезоэлектрик коэффициентууд (d₃₃~8-10 pC/N, K²~0.5%) нь 5G RF шүүлтүүрт оруулах алдагдал <1.5dB өндөр давтамжтай SAW/BAW төхөөрөмжүүдийг ашиглах боломжийг олгодог.

· Маш сайн цахилгаан механик холболт нь 6GHz-ээс доош болон мм долгионы хэрэглээнд зориулсан өргөн зурвасын өргөн (≥5%) шүүлтүүрийн загварыг дэмждэг.

2. Оптик шинж чанарууд

· 40GHz-ээс дээш зурвасын өргөнийг бий болгохын тулд өргөн зурвасын тунгалаг байдал (400-5000nm-ээс >70% дамжуулалт)

· Шугаман бус оптик мэдрэг чанар (χ⁽²⁾~30pm/V) нь лазер системд үр ашигтай хоёрдогч гармоник үүсэлтийг (SHG) дэмждэг

3. Байгаль орчны тогтвортой байдал

· Кюригийн өндөр температур (600°C) нь автомашины зэрэглэлийн (-40°C-аас 150°C) орчинд пьезоэлектрик хариу урвалыг хадгалдаг.

· Хүчил/шүлтийн эсрэг химийн идэвхгүй байдал (рН1-13) нь үйлдвэрлэлийн мэдрэгчийн хэрэглээнд найдвартай байдлыг хангадаг

4. Өөрчлөлтийн чадварууд

· Чиглүүлэлтийн инженерчлэл: Тохируулсан пьезоэлектрик хариу үйлдэлд зориулж X хэлбэрийн зүсэлт (51°), Y хэлбэрийн зүсэлт (0°), Z хэлбэрийн зүсэлт (36°)

· Допингийн сонголтууд: Mg-допинг (оптик гэмтлийн эсэргүүцэл), Zn-допинг (сайжруулсан d₃₃)

· Гадаргуугийн өнгөлгөө: Эпитаксиал өнгөлгөө (Ra<0.5nm), ITO/Au металлжуулалт

LiTaO₃ Вафли - Үндсэн хэрэглээ

1. RF урд талын модулиуд

· Давтамжийн температурын коэффициент (TCF) бүхий 5G NR SAW шүүлтүүр (band n77/n79) <|-15ppm/°C|

· WiFi 6E/7 (5.925-7.125GHz)-д зориулсан хэт өргөн зурвасын BAW резонаторууд

2. Нэгдсэн Фотоник

· Когерент оптик холбооны өндөр хурдны Mach-Zehnder модуляторууд (>100Gbps)

· 3-14μm хүртэлх долгионы уртыг тохируулах боломжтой QWIP хэт улаан туяаны мэдрэгчүүд

3. Автомашины электроник

· 200 кГц-ээс дээш давтамжтай хэт авианы зогсоолын мэдрэгч

· TPMS пьезоэлектрик дамжуулагч нь -40°C-аас 125°C хүртэлх дулааны мөчлөгт тэсвэртэй

4. Батлан хамгаалах системүүд

· >60dB зурвасын гаднах эсэргүүцэлтэй EW хүлээн авагчийн шүүлтүүрүүд

· Пуужин хайгчийн хэт улаан туяаны цонх нь 3-5μm MWIR цацрагийг дамжуулдаг

5. Шинээр гарч ирж буй технологиуд

· Богино долгионоос оптик руу хөрвүүлэх оптик механик квант хувиргагч

· Эмнэлгийн хэт авиан дүрслэлийн PMUT массивууд (>20MHz нягтралтай)

LiTaO₃ Вафли - XKH үйлчилгээ

1. Нийлүүлэлтийн сүлжээний менежмент

· Стандарт үзүүлэлтүүдийг гаргахын тулд 4 долоо хоногийн хугацаатай вафлигаас вафли хүртэл боловсруулалт хийх

· Өртөг оновчтой үйлдвэрлэл нь өрсөлдөгчдөөс 10-15%-ийн үнийн давуу талыг бий болгодог

2. Захиалгат шийдлүүд

· Чиглэлд тохирсон вафлинг: ХӨРӨӨ-ийн оновчтой гүйцэтгэлийг хангахын тулд 36°±0.5° Y хэлбэртэй зүсэлттэй

· Холинжуулсан найрлага: Оптик хэрэглээнд зориулсан MgO (5моль%) холимог

Металлжуулалтын үйлчилгээ: Cr/Au (100/1000Å) электродын хэв маяг

3. Техникийн дэмжлэг

· Материалын шинж чанар: XRD хадалтын муруй (FWHM<0.01°), AFM гадаргуугийн шинжилгээ

· Төхөөрөмжийн симуляци: SAW шүүлтүүрийн дизайны оновчлолын FEM загварчлал

Дүгнэлт

LiTaO₃ ваферууд нь RF холбоо, нэгдсэн фотоник, хатуу ширүүн орчны мэдрэгч зэрэг технологийн дэвшлийг үргэлжлүүлэн бий болгосоор байна. XKH-ийн материалын туршлага, үйлдвэрлэлийн нарийвчлал, хэрэглээний инженерчлэлийн дэмжлэг нь үйлчлүүлэгчдэд дараагийн үеийн электрон системийн дизайны бэрхшээлийг даван туулахад тусалдаг.