Бүрэн автомат вафли цагираг зүсэх төхөөрөмж Ажлын хэмжээ 8 инч/12 инч Вафли цагираг зүсэх

Товч тайлбар:

XKH нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн процесст зориулагдсан дэвшилтэт шийдлийг төлөөлсөн бүрэн автомат ваферын ирмэгийг тайрах системийг бие даан боловсруулсан. Энэхүү тоног төхөөрөмж нь олон тэнхлэгтэй синхрон хяналтын шинэлэг технологийг багтаасан бөгөөд өндөр хатуулагтай ээрүүлийн системтэй (хамгийн их эргэлтийн хурд: 60,000 RPM) бөгөөд ±5μm хүртэл зүсэлтийн нарийвчлалтайгаар ирмэгийг нарийн тайрах боломжийг олгодог. Систем нь дараах төрлийн хагас дамжуулагч суурьтай маш сайн нийцтэй байдлыг харуулдаг:
1. Цахиурын вафли (Si): 8-12 инчийн вафлины ирмэгийг боловсруулахад тохиромжтой;
2. Нийлмэл хагас дамжуулагч: GaAs болон SiC зэрэг гурав дахь үеийн хагас дамжуулагч материалууд;
3. Тусгай суурь: LT/LN зэрэг пьезоэлектрик материалын вафли;

Модульчлагдсан загвар нь алмазан ир, лазер зүсэгч толгой зэрэг олон төрлийн хэрэглээний материалыг хурдан солих боломжийг олгодог бөгөөд салбарын стандартаас давсан нийцтэй байдалтай. Мэргэшсэн процессын шаардлагын хувьд бид дараахь зүйлийг багтаасан цогц шийдлүүдийг санал болгодог.
· Зориулалтын огтлох хэрэглээний хангамж
· Захиалгат боловсруулалтын үйлчилгээ
· Процессийн параметрийн оновчлолын шийдлүүд

Бидэнд имэйл илгээх

Онцлог шинж чанарууд

Техникийн үзүүлэлтүүд

Параметр	Нэгж	Тодорхойлолт
Ажлын хэсгийн хамгийн их хэмжээ	mm	ø12"
Шпиндель	Тохиргоо	Дан спираль
	Хурд	3,000–60,000 эрг/мин
	Гаралтын чадал	30,000 мин⁻¹ хурдтай үед 1.8 кВт (2.4 сонголттой)
	Макс ир диаграмм.	Ø58 мм
X тэнхлэг	Таслах хүрээ	310 мм
Y тэнхлэг	Таслах хүрээ	310 мм
	Алхамын өсөлт	0.0001 мм
	Байршлын нарийвчлал	≤0.003 мм/310 мм, ≤0.002 мм/5 мм (ганц алдаа)
Z тэнхлэг	Хөдөлгөөний нягтрал	0.00005 мм
Z тэнхлэг	Давтагдах чадвар	0.001 мм
θ-тэнхлэг	Хамгийн их эргэлт	380 градус
Шпинделийн төрөл		Цагираг зүсэх зориулалттай хатуу иртэй дан ээрмэл
Цагираг зүсэх нарийвчлал	мкм	±50
Ваферын байршлын нарийвчлал	мкм	±50
Дан ваферын үр ашиг	мин/вафер	8
Олон талт ваферын үр ашиг		Нэгэн зэрэг 4 хүртэлх вафли боловсруулдаг
Тоног төхөөрөмжийн жин	kg	≈3,200
Тоног төхөөрөмжийн хэмжээс (Өргөн×Дүн×Өндөр)	mm	2,730 × 1,550 × 2,070

Үйл ажиллагааны зарчим

Систем нь эдгээр үндсэн технологиудын тусламжтайгаар онцгой тайрах гүйцэтгэлийг бий болгодог:

1. Ухаалаг хөдөлгөөн хянах систем:
· Өндөр нарийвчлалтай шугаман моторын хөтлөгч (байршлын нарийвчлалыг давтах: ±0.5μm)
· Нарийн төвөгтэй замын төлөвлөлтийг дэмждэг зургаан тэнхлэгтэй синхрон удирдлага
· Тайралтын тогтвортой байдлыг хангах бодит цагийн чичиргээ дарах алгоритмууд

2. Дэвшилтэт илрүүлэлтийн систем:
· Нэгдсэн 3D лазерын өндрийн мэдрэгч (нарийвчлал: 0.1μm)
· Өндөр нягтралтай CCD харааны байрлал (5 мегапиксел)
· Онлайн чанарын хяналтын модуль

3. Бүрэн автоматжуулсан үйл явц:
· Автоматаар ачих/буулгах (FOUP стандарт интерфэйстэй нийцтэй)
· Ухаалаг ялгах систем
· Битүү гогцоотой цэвэрлэгээний төхөөрөмж (цэвэрлэгээ: 10-р зэрэглэл)

Ердийн хэрэглээ

Энэхүү тоног төхөөрөмж нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн хэрэглээнд ихээхэн үнэ цэнийг бий болгодог:

Хэрэглээний талбар	Процессын материалууд	Техникийн давуу талууд
IC үйлдвэрлэл	8/12 инчийн цахиурын вафли	Литографийн тэгш байдлыг сайжруулна
Цахилгаан төхөөрөмжүүд	SiC/GaN вафли	Ирмэгийн согог үүсэхээс сэргийлдэг
MEMS мэдрэгчүүд	SOI вафли	Төхөөрөмжийн найдвартай байдлыг хангадаг
RF төхөөрөмжүүд	GaAs вафли	Өндөр давтамжийн гүйцэтгэлийг сайжруулдаг
Дэвшилтэт сав баглаа боодол	Сэргээн босгосон вафли	Сав баглаа боодлын гарцыг нэмэгдүүлдэг

Онцлог шинж чанарууд

1. Өндөр боловсруулалтын үр ашгийг хангах дөрвөн станцын тохиргоо;
2. TAIKO цагиргийг тогтвортой салгаж, арилгана.
3. Гол хэрэглээний материалуудтай өндөр нийцтэй байх;
4. Олон тэнхлэгтэй синхрон тайрах технологи нь ирмэгийг нарийн зүсэхийг баталгаажуулдаг;
5. Бүрэн автоматжуулсан процессын урсгал нь хөдөлмөрийн зардлыг мэдэгдэхүйц бууруулдаг;
6. Өөрчлөн тохируулсан ажлын ширээний загвар нь тусгай бүтцийг тогтвортой боловсруулах боломжийг олгодог;

Функцууд

1. Цагираг унах илрүүлэх систем;
2. Ажлын ширээний автомат цэвэрлэгээ;
3. Ухаалаг хэт ягаан туяаны холболтыг арилгах систем;
4. Үйл ажиллагааны бүртгэлийн бичлэг;
5. Үйлдвэрийн автоматжуулалтын модулийн интеграци;

Үйлчилгээний амлалт

XKH нь таны үйлдвэрлэлийн аяллын туршид тоног төхөөрөмжийн гүйцэтгэл болон үйл ажиллагааны үр ашгийг дээд зэргээр нэмэгдүүлэх зорилготой цогц, амьдралын мөчлөгийн бүрэн дэмжлэг үзүүлэх үйлчилгээг үзүүлдэг.
1. Өөрчлөлтийн үйлчилгээ
· Тоног төхөөрөмжийн тохируулгын тохиргоо: Манай инженерийн баг нь тодорхой материалын шинж чанар (Si/SiC/GaAs) болон процессын шаардлагад үндэслэн системийн параметрүүдийг (зүсэх хурд, ирний сонголт гэх мэт) оновчтой болгохын тулд үйлчлүүлэгчидтэй нягт хамтран ажилладаг.
· Үйл явцын хөгжүүлэлтийн дэмжлэг: Бид захын барзгаржилтын хэмжилт болон согогийн зураглал зэрэг дэлгэрэнгүй шинжилгээний тайлантай дээж боловсруулах үйлчилгээг санал болгодог.
· Хэрэглээний материалын хамтарсан хөгжүүлэлт: Шинэ материалын (жишээ нь, Ga₂O₃) хувьд бид хэрэглээнд зориулагдсан ир/лазер оптик боловсруулахын тулд тэргүүлэгч хэрэглээний материал үйлдвэрлэгчидтэй хамтран ажилладаг.

2. Мэргэжлийн техникийн дэмжлэг
· Тусгайлан газар дээр нь үзүүлэх дэмжлэг: Мэргэшсэн инженерүүдийг чухал үе шатуудад (ихэвчлэн 2-4 долоо хоног) томилж, дараахь зүйлийг хамарна.
Тоног төхөөрөмжийн тохируулга ба үйл явцыг нарийн тохируулах
Операторын чадамжийн сургалт
ISO 5 ангиллын цэвэр өрөөний интеграцийн удирдамж
· Урьдчилан таамаглах засвар үйлчилгээ: Төлөвлөөгүй зогсолтоос урьдчилан сэргийлэхийн тулд чичиргээний шинжилгээ болон серво моторын оношлогоотой улирал тутам эрүүл мэндийн үзлэг хийдэг.
· Алсын хяналт: Автомат гажигийн сэрэмжлүүлэг бүхий IoT платформ (JCFront Connect®)-аар дамжуулан тоног төхөөрөмжийн гүйцэтгэлийг бодит цагийн хяналт.

3. Нэмүү өртөг шингэсэн үйлчилгээ
· Үйл явцын мэдлэгийн сан: Төрөл бүрийн материалын 300+ баталгаажсан зүсэх жорыг үзэх (улиралд нэг удаа шинэчлэгддэг).
· Технологийн замын зураглалын уялдаа холбоо: Тоног төхөөрөмж/програм хангамжийн шинэчлэлтийн замуудаар (жишээ нь, хиймэл оюун ухаанд суурилсан согог илрүүлэх модуль) хөрөнгө оруулалтаа ирээдүйд найдвартай байлгаарай.
· Яаралтай тусламж: 4 цагийн турш алсаас оношилж, 48 цагийн турш газар дээр нь үзүүлэх үйлчилгээ (дэлхийн хэмжээнд хамрах) баталгаатай.

4. Үйлчилгээний дэд бүтэц
· Гүйцэтгэлийн баталгаа: SLA-ээр баталгаажсан хариу өгөх хугацаатай тоног төхөөрөмжийн ашиглалтын хугацааг ≥98% байлгах гэрээний үүрэг амлалт.

Тасралтгүй сайжруулалт

Бид жилд хоёр удаа хэрэглэгчийн сэтгэл ханамжийн судалгаа явуулж, үйлчилгээний хүргэлтийг сайжруулахын тулд Кайзен санаачилгыг хэрэгжүүлдэг. Манай судалгаа, хөгжүүлэлтийн баг тоног төхөөрөмжийн шинэчлэлд талбайн мэдээллийг хөрвүүлдэг - програм хангамжийн сайжруулалтын 30% нь үйлчлүүлэгчдийн санал хүсэлтээс үүдэлтэй.