5G/6G харилцаа холбоонд зориулсан LiTaO3 Өрөөвч 2 инч-8 инч 10х10х0.5 мм 1sp 2sp

5G/6G харилцаа холбоонд зориулсан LiTaO3 2 инч-8 инчийн 10x10x0.5 мм 1sp 2sp Өргөвчний онцлох зураг

Богино тайлбар:

Гурав дахь үеийн хагас дамжуулагч ба оптоэлектроникийн чухал материал болох LiTaO3 Ваффер (литийн танталат хавтан) нь Кюригийн өндөр температур (610°C), тунгалаг байдлын өргөн хүрээ (0.4–5.0 мкм), дээд зэргийн пьезоэлектрик коэффициент (d33 > 1500 pCδN), бага диэлектрикийн алдагдал (pCδN) зэргийг ашигладаг. 5G харилцаа холбоо, фотоник интеграцчлал, квант төхөөрөмжид хувьсгал хийсэн. Физик уурын тээвэрлэлт (PVT) болон химийн уурын хуримтлал (CVD) зэрэг үйлдвэрлэлийн дэвшилтэт технологийг ашиглан XKH нь гадаргуугийн барзгар (Ra) <0.5 нм, микрохоолой <0.1 см-ийн хэмжээтэй X/Y/Z-тайрах, 42°Y-тайчлах, үе үе туйлдах (PPLT) хэлбэрийн 2-8 инчийн форматтай хавтангуудыг хангадаг. Манай үйлчилгээ нь өндөр хүчин чадалтай оптик шүүлтүүр, хэт улаан туяаны детектор, квант гэрлийн эх үүсвэрүүдэд зориулагдсан Fe-ийн допинг, химийн бодисыг бууруулах, Smart-Cut гетероген интеграцийг хамардаг. Энэхүү материал нь жижгэрүүлэх, өндөр давтамжийн ажиллагаа, дулааны тогтвортой байдлын чиглэлээр ололт амжилтуудыг бий болгож, чухал технологид дотоодын орлуулалтыг хурдасгадаг.

Бидэн рүү имэйл илгээнэ үү

Онцлогууд

Техникийн параметрүүд

Нэр	Оптик зэрэглэлийн LiTaO3	Дууны хүснэгтийн түвшин LiTaO3
Тэнхлэг	Z зүсэлт + / - 0.2 °	36 ° Y зүсэлт / 42 ° Y зүсэлт / X зүсэлт (+ / - 0.2 °)
Диаметр	76.2мм + / - 0.3мм/ 100±0.2мм	76.2мм + /-0.3мм 100мм + /-0.3мм 0r 150±0.5мм
Датумын онгоц	22мм + / - 2мм	22мм + /-2мм 32мм + /-2мм
Зузаан	500um + /-5мм 1000um + /-5мм	500um + /-20мм 350um + /-20мм
TTV	≤ 10um	≤ 10um
Кюри температур	605 °C + / - 0.7 °C (DTAmethod)	605 °C + / -3 °C (DTAmethod
Гадаргуугийн чанар	Хоёр талт өнгөлгөө	Хоёр талт өнгөлгөө
Хагарсан ирмэгүүд	ирмэгийг дугуйлах	ирмэгийг дугуйлах

Гол шинж чанарууд

1. Цахилгаан ба оптик гүйцэтгэл
· Цахилгаан-оптик коэффициент: r33 нь 30 pm/V (X-cut) хүрч, LiNbO3-аас 1.5 × өндөр, хэт өргөн зурвасын цахилгаан оптик модуляц (>40 GHz зурвасын өргөн) боломжийг олгодог.
· Өргөн спектрийн хариу үйлдэл: Дамжуулах хүрээ 0.4–5.0 мкм (8 мм зузаан), хэт ягаан туяа шингээх ирмэг нь 280 нм хүртэл бага, хэт ягаан туяаны лазер болон квант цэгийн төхөөрөмжүүдэд тохиромжтой.
· Бага Пироэлектрик коэффициент: dP/dT = 3.5×10⁻⁴ C/(m²·K), өндөр температурт хэт улаан туяаны мэдрэгчүүдийн тогтвортой байдлыг хангана.

2. Дулааны болон механик шинж чанарууд
· Өндөр дулаан дамжуулалт: 4.6 Вт/м·К (X-тайрах), кварцаас 4 дахин их, -200–500°C дулааны эргэлтийг хангадаг.
· Дулааны тэлэлтийн бага коэффициент: CTE = 4.1×10⁻⁶/K (25–1000°C), дулааны стрессийг багасгахын тулд цахиурын савлагаатай нийцдэг.
3. Гэмтлийн хяналт ба боловсруулалтын нарийвчлал
· Бичил хоолойн нягтрал: <0.1 см⁻² (8 инчийн өргүүр), мултрах нягтрал <500 см⁻² (KOH сийлбэрээр баталгаажуулсан).
· Гадаргуугийн чанар: Ra <0.5 нм хүртэл CMP өнгөлсөн, EUV литографийн түвшний тэгш байдлын шаардлагыг хангасан.

Гол програмууд

домэйн	Хэрэглээний хувилбарууд	Техникийн давуу тал
Оптик харилцаа холбоо	100G/400G DWDM лазер, цахиурын фотоник эрлийз модулиуд	LiTaO3 өрлөгийн өргөн хүрээний дамжуулалт ба долгионы хөтлүүрийн алдагдал бага (α <0.1 дБ/см) нь C зурвасын өргөтгөлийг идэвхжүүлдэг.
5G/6G харилцаа холбоо	SAW шүүлтүүр (1.8–3.5 GHz), BAW-SMR шүүлтүүр	42°Y зүсэлттэй вафель нь Kt² >15% хүрч, оруулгын алдагдал бага (<1.5 дБ) ба өндөр өнхрөх (>30 дБ) өгдөг.
Квантын технологиуд	Нэг фотон мэдрэгч, параметрийн доош хувиргах эх үүсвэр	Шугаман бус өндөр коэффициент (χ(2)=40 pm/V) ба харанхуй тооллын бага хурд (<100 тоо/с) нь квант үнэнч байдлыг сайжруулдаг.
Аж үйлдвэрийн мэдрэгч	Өндөр температурын даралт мэдрэгч, гүйдлийн трансформатор	LiTaO3 хавтанцарын пьезоэлектрик хариу үйлдэл (g33 >20 мВ/м) ба өндөр температурт тэсвэрлэх чадвар (>400°C) нь эрс тэс орчинд тохирно.

XKH үйлчилгээ

1. Захиалгат вафель үйлдвэрлэх

· Хэмжээ ба зүсэлт: X/Y/Z зүсэлттэй, 42°Y зүсэлттэй, захиалгат өнцгийн зүсэлттэй (±0.01° хүлцэл) бүхий 2–8 инчийн вафли.

· Допингийн хяналт: Цахилгаан оптик коэффициент болон дулааны тогтвортой байдлыг оновчтой болгохын тулд Czochralski аргаар Fe, Mg допинг (концентрацийн хүрээ 10¹⁶–10¹⁹ см⁻³).

2.Дэвшилтэт үйл явцын технологи
.
· Periodic Poling (PPLT): LTOI өрмөнцөрт зориулсан Smart-Cut технологи нь ±10 нм домайн хугацааны нарийвчлал болон бараг үе шатанд тохирсон (QPM) давтамж хувиргахад хүрдэг.

· Нэг төрлийн бус интеграци: Өндөр давтамжийн SAW шүүлтүүрт зориулсан зузааныг хянах (300–600 нм) ба 8.78 Вт/м·К хүртэлх дулаан дамжуулалт бүхий Si-д суурилсан LiTaO3 нийлмэл хавтан (POI).

3.Чанарын удирдлагын системүүд
.
· Төгсгөлийн туршилт: Раман спектроскопи (политипийн баталгаажуулалт), XRD (талст), AFM (гадаргуугийн морфологи), оптик жигд байдлын туршилт (Δn <5×10⁻⁵).

4.Дэлхийн нийлүүлэлтийн сүлжээг дэмжих
.
· Үйлдвэрлэлийн хүчин чадал: Сард 5,000 ширхэгээс дээш өргүүр (8 инч: 70%), 48 цагийн яаралтай хүргэлттэй.

· Логистикийн сүлжээ: Температурын хяналттай сав баглаа боодол бүхий агаар/далайн тээврээр дамжуулан Европ, Хойд Америк, Ази-Номхон далайн бүс нутгийг хамарна.