Si/SiC & HBM (Al)-д зориулсан 12 инчийн бүрэн автомат нарийвчлалтай зүсэх хөрөөний тоног төхөөрөмж, вафель зориулалтын зүсэх систем

Si/SiC & HBM (Al)-д зориулсан 12 инчийн бүрэн автомат нарийн шоо зүсэх хөрөөний төхөөрөмж, вафель зориулалтын зүсэх систем.

Богино тайлбар:

Бүрэн автомат нарийн шоо зүсэх төхөөрөмж нь хагас дамжуулагч болон электрон эд ангиудын үйлдвэрлэлд тусгайлан боловсруулсан өндөр нарийвчлалтай зүсэх систем юм. Энэ нь микроны түвшний боловсруулалтын нарийвчлалд хүрэхийн тулд дэвшилтэт хөдөлгөөнийг хянах технологи, ухаалаг харааны байрлалыг агуулсан. Энэхүү төхөөрөмж нь янз бүрийн хатуу, хэврэг материалыг нарийн зүсэхэд тохиромжтой, үүнд:
1.Хагас дамжуулагч материал: Цахиур (Si), цахиурын карбид (SiC), галлийн арсенид (GaAs), литийн танталат/литийн ниобат (LT/LN) субстрат гэх мэт.
2. Савлагааны материал: Керамик субстрат, QFN/DFN хүрээ, BGA савлагааны субстрат.
3.Функциональ төхөөрөмжүүд: Гадаргуугийн акустик долгион (SAW) шүүлтүүр, дулааны цахилгаан хөргөлтийн модулиуд, WLCSP өргүүр.

XKH нь материалын нийцтэй байдлын туршилт, үйл явцыг тохируулах үйлчилгээгээр хангадаг бөгөөд тоног төхөөрөмж нь хэрэглэгчдийн үйлдвэрлэлийн хэрэгцээнд бүрэн нийцэж, R&D дээж болон багц боловсруулалтын аль алинд нь оновчтой шийдлүүдийг санал болгодог.

Бидэн рүү имэйл илгээнэ үү

Онцлогууд

Техникийн параметрүүд

Параметр	Тодорхойлолт
Ажлын хэмжээ	Φ8", Φ12"
Спинд	Хос тэнхлэг 1.2/1.8/2.4/3.0, хамгийн ихдээ 60000 эрг/мин
Хутганы хэмжээ	2" ~ 3"
Y1 / Y2 тэнхлэг	Нэг алхамын өсөлт: 0.0001 мм
	Байршлын нарийвчлал: < 0.002 мм
	Зүсэх хүрээ: 310 мм
X тэнхлэг	Тэжээлийн хурдны хүрээ: 0.1–600 мм/с
Z1 / Z2 тэнхлэг	Нэг алхамын өсөлт: 0.0001 мм
Z1 / Z2 тэнхлэг	Байршлын нарийвчлал: ≤ 0.001 мм
θ тэнхлэг	Байршлын нарийвчлал: ±15"
Цэвэрлэгээний станц	Эргэлтийн хурд: 100-3000 эрг / мин
Цэвэрлэгээний станц	Цэвэрлэх арга: Автоматаар зайлж, эргүүлж хатаах
Ажлын хүчдэл	3 фазын 380V 50Hz
Хэмжээ (W×D×H)	1550 × 1255 × 1880 мм
Жин	2100 кг

Ажлын зарчим

Тоног төхөөрөмж нь дараах технологиор өндөр нарийвчлалтай зүсэлт хийдэг.
1.High-Rigidity Spindle System: 60,000 RPM хүртэл эргэлтийн хурд, янз бүрийн материалын шинж чанарт дасан зохицох алмаазан ир эсвэл лазер зүсэгч толгойгоор тоноглогдсон.

2.Олон тэнхлэгт хөдөлгөөний удирдлага: X/Y/Z-тэнхлэгийн байрлал тогтоох нарийвчлал нь ±1μm, өндөр нарийвчлалтай сараалжтай масштабтай хослуулан огтлох замыг хазайлтгүй болгоно.

3.Ухаалаг харааны тохируулга: Өндөр нарийвчлалтай CCD (5 мегапиксел) нь огтлолцсон гудамжуудыг автоматаар таньж, материалын эвдрэл, буруу байрлалыг нөхдөг.

4.Хөргөх, тоос зайлуулах: Цэвэр усны хөргөлтийн нэгдсэн систем, тоос шороо тоосыг вакуумаар соруулж, дулааны нөлөөлөл болон тоосонцор бохирдлыг багасгах.

Зүсэх горимууд

1.Blade Dicing: Si, GaAs зэрэг уламжлалт хагас дамжуулагч материалд тохиромжтой, 50-100μm өргөнтэй.

2.Stealth Laser Dicing: Хэт нимгэн хавтан (<100μm) эсвэл эмзэг материалд (жишээ нь, LT/LN) ашигладаг бөгөөд стрессгүй тусгаарлах боломжийг олгодог.

Ердийн програмууд

Тохиромжтой материал	Хэрэглээний талбар	Боловсруулалтын шаардлага
Цахиур (Si)	IC, MEMS мэдрэгч	Өндөр нарийвчлалтай зүсэлт, зүсэлт <10μm
Цахиурын карбид (SiC)	Эрчим хүчний төхөөрөмжүүд (MOSFET/диодууд)	Гэмтэл багатай зүсэлт, дулааны менежментийг оновчтой болгох
Галийн арсенид (GaAs)	RF төхөөрөмж, оптоэлектроник чип	Бичил хагарлаас урьдчилан сэргийлэх, цэвэр байдлыг хянах
LT/LN субстрат	SAW шүүлтүүр, оптик модулятор	Стрессгүй зүсэх, пьезоэлектрик шинж чанарыг хадгалах
Керамик субстрат	Эрчим хүчний модулиуд, LED сав баглаа боодол	Өндөр хатуулагтай материалын боловсруулалт, ирмэгийн тэгш байдал
QFN/DFN хүрээ	Нарийвчилсан савлагаа	Олон чиптэй нэгэн зэрэг зүсэх, үр ашгийг оновчтой болгох
WLCSP Wafers	Өрөөн цаасны түвшний савлагаа	Хэт нимгэн нимгэн талст ялтсуудыг гэмтэлгүй зүсэх (50мкм)

Давуу тал

1. Мөргөлдөөнөөс урьдчилан сэргийлэх дохиолол бүхий өндөр хурдны кассет хүрээний сканнер, хурдан шилжүүлгийн байрлал, алдаа засах хүчтэй чадвартай.

2. Хос булны зүсэх горимыг оновчтой болгож, нэг булны системтэй харьцуулахад үр ашгийг ойролцоогоор 80% сайжруулсан.

3. Нарийвчлалтай импортын бөмбөгний эрэг, шугаман хөтөч, Y тэнхлэгийн сараалжтай масштабын хаалттай хүрд хяналт нь өндөр нарийвчлалтай боловсруулалтын урт хугацааны тогтвортой байдлыг хангадаг.

4. Бүрэн автоматжуулсан ачих/буулгах, шилжүүлгийн байрлал тогтоох, шугамын зүсэлт, цооногийг шалгах нь операторын (OP) ачааллыг эрс багасгадаг.

5. Гантри хэлбэрийн булны бэхэлгээний бүтэц, хамгийн багадаа 24 мм-ийн хос ир хоорондын зай нь хос булны зүсэх процесст илүү өргөн дасан зохицох боломжийг олгодог.

Онцлогууд

1. Өндөр нарийвчлалтай контактгүй өндрийн хэмжилт.

2.Нэг тавиур дээр олон ширхэгтэй хос иртэй зүсэлт.

3. Автомат шалгалт тохируулга, эрф шалгах, ирний хугарлыг илрүүлэх систем.

4. Сонгох боломжтой автомат тохируулгын алгоритм бүхий олон төрлийн процессуудыг дэмждэг.

5.Алдааг өөрөө засах функц, бодит цагийн олон байрлалын хяналт.

6.Анхны зүсэлтийн дараах шалгалтын чадвар.

7.Үйлдвэрийн автоматжуулалтын модулиуд болон бусад нэмэлт функцуудыг өөрчлөх боломжтой.

Тохиромжтой материал

Тоног төхөөрөмжийн үйлчилгээ

Бид тоног төхөөрөмжийн сонголтоос эхлээд урт хугацааны засвар үйлчилгээ хүртэл цогц дэмжлэг үзүүлдэг.

(1) Захиалгат хөгжүүлэлт
· Материалын шинж чанарт (жишээ нь, SiC хатуулаг, GaAs хэврэгшил) тулгуурласан ир/лазер зүсэх шийдлийг санал болгох.

· Зүсэлтийн чанарыг шалгахын тулд дээжийн туршилтыг үнэ төлбөргүй санал болгох (хууралт, ирмэгийн өргөн, гадаргуугийн тэгш бус байдал гэх мэт).

(2) Техникийн сургалт
· Үндсэн сургалт: Тоног төхөөрөмжийн ажиллагаа, параметрийн тохируулга, урсгал засвар.
· Ахисан түвшний сургалтууд: Нарийн төвөгтэй материалын үйл явцыг оновчтой болгох (жишээ нь, LT субстратын стрессгүй зүсэлт).

(3) Борлуулалтын дараах дэмжлэг
· 24/7 хариу арга хэмжээ: Алсын зайнаас оношлох эсвэл газар дээр нь туслах.
· Сэлбэг хэрэгслийн хангамж: Шуурхай солих зориулалттай шпинд, ир, оптик эд ангиуд.
· Урьдчилан сэргийлэх засвар үйлчилгээ: Нарийвчлалыг хадгалах, үйлчилгээний хугацааг уртасгахын тулд тогтмол тохируулга хийх.

Бидний давуу тал

✔ Аж үйлдвэрийн туршлага: Дэлхийн 300 гаруй хагас дамжуулагч, электроникийн үйлдвэрлэгчдэд үйлчилдэг.
✔ Хамгийн сүүлийн үеийн технологи: Нарийвчилсан шугаман хөтөч ба серво системүүд нь салбартаа тэргүүлэгч тогтвортой байдлыг хангадаг.
✔ Глобал үйлчилгээний сүлжээ: Ази, Европ, Хойд Америкт орон нутгийн дэмжлэг авах боломжтой.
Туршилт эсвэл лавлагаа авах бол бидэнтэй холбоо барина уу!