156мм 159мм 6 инчийн индранил хавтан C-Plane DSP TTV

Товч тодорхойлолт:

156мм/159мм диаметртэй, 6″ Al2O3 хоёр талт өнгөлсөн (DSP) индранил хавтан, зөөгч хавтанд зориулсан 3 микроноос бага хэмжээтэй TTV-тэй.Нэмэлт 8″ / 6″ / 5″ / 2″ / 3″ / 4″ / 5″ С тэнхлэг, А тэнхлэг, R тэнхлэг, М тэнхлэгтэй өргүүр.С хэлбэрийн индранил хавтан нь 6 инч (6"/6 инч) хүртэлх диаметртэй, нэг талдаа өнгөлсөн (SSP) эсвэл хоёр талт өнгөлсөн (DSP) гадаргуутай, 650 микрон эсвэл 1000 микрон зузаантай.

Бидэн рүү имэйл илгээнэ үү

Бүтээгдэхүүний дэлгэрэнгүй

Бүтээгдэхүүний шошго

Тодорхойлолт

Зүйл	6 инчийн C-онгоц (0001) индранил өргүүр
Кристал материал	99,999%, Өндөр цэвэршилттэй, монокристал Al2O3
Зэрэг	Prime, Epi-Ready
Гадаргуугийн чиг баримжаа	C-онгоц(0001)
	С-хавтгай М-тэнхлэг рүү 0.2 +/- 0.1 °
Диаметр	100.0 мм +/- 0.1 мм
Зузаан	650 мкм +/- 25 мкм
Анхан шатны хавтгай чиг баримжаа	С-хавтгай(00-01) +/- 0.2°
Нэг тал нь өнгөлсөн	Урд гадаргуу	Эпи-өнгөлсөн, Ra < 0.2 нм (AFM)
(SSP)	Арын гадаргуу	Нарийн газар, Ra = 0.8 μм-ээс 1.2 μм хүртэл
Давхар тал өнгөлсөн	Урд гадаргуу	Эпи-өнгөлсөн, Ra < 0.2 нм (AFM)
(DSP)	Арын гадаргуу	Эпи-өнгөлсөн, Ra < 0.2 нм (AFM)
TTV	< 20 мкм
НУМ	< 20 мкм
WARP	< 20 мкм
Цэвэрлэгээ / Сав баглаа боодол	100-р ангиллын цэвэр өрөөний цэвэрлэгээ, вакуум савлагаа,
	25 ширхэгийг нэг кассет савлагаа эсвэл нэг ширхэг савлагаатай.

Килопулосын аргыг (KY арга) одоогоор Хятадад олон компаниуд электроник, оптикийн салбарт ашиглах индранил болор үйлдвэрлэхэд ашигладаг.

Энэ процесст өндөр цэвэршилттэй хөнгөн цагаан ислийг 2100 хэмээс дээш температурт тигелд хайлуулдаг.Ихэвчлэн тигель нь вольфрам эсвэл молибденээр хийгдсэн байдаг.Нарийн чиглэсэн үрийн талстыг хайлсан хөнгөн цагааны исэлд дүрнэ.Үрийн талстыг аажмаар дээш татах ба нэгэн зэрэг эргүүлэх боломжтой.Температурын градиент, татах хурд, хөргөлтийн хурдыг нарийн хянах замаар хайлмалаас том, нэг талст, бараг цилиндр хэлбэртэй ембүү гаргаж авах боломжтой.

Ганц талст индранил гулдмайг ургуулсаны дараа цилиндр саваагаар өрөмдөж, цонхны хүссэн зузаан хүртэл зүсэж, хүссэн гадаргууг өнгөлнө.