LT Lithium Tantalate (LiTaO3) Crystal 2inch/3inch/4inch/6寸inch Orientaiton Y-42°/36°/108° Зузаан 250-500um

Богино тайлбар:

LiTaO₃ хавтангууд нь пьезоэлектрик болон төмөр цахилгаан материалын чухал системийг төлөөлдөг бөгөөд онцгой пьезоэлектрик коэффициент, дулааны тогтвортой байдал, оптик шинж чанарыг харуулдаг тул гадаргуугийн акустик долгионы шүүлтүүр, бөөн акустик долгионы (BAW) резонатор, оптик модулятор, хэт улаан туяаны мэдрэгч зэрэгт зайлшгүй шаардлагатай болгодог. XKH нь дээд зэргийн Czochralski (CZ) талст өсөлт ба шингэн фазын эпитакси (LPE) процессуудыг ашиглан, 100/см²-ээс бага согогтой нягтрал бүхий дээд зэргийн талст нэгэн төрлийн байдлыг хангахын тулд өндөр чанартай LiTaO₃ вафельний судалгаа, боловсруулалт, үйлдвэрлэлд мэргэшсэн.

XKH нь 3 инч, 4 инч, 6 инчийн LiTaO₃ талстографийн чиг баримжаатай (X-тайрах, Y-тайрах, Z-тайрах), хэрэглээний тусгай шаардлагад нийцүүлэн тохируулсан допинг (Mg, Zn) болон шонгийн эмчилгээг дэмждэг. Материалын диэлектрик тогтмол (ε~40-50), пьезоэлектрик коэффициент (d₃₃~8-10 pC/N), Кюри температур (~600°C) нь LiTaO₃-ийг өндөр давтамжийн шүүлтүүр болон нарийн мэдрэгчийг илүүд үздэг субстрат болгодог.

Манай босоо тэнхлэгт нэгдсэн үйлдвэрлэл нь болор ургах, зүсэх, өнгөлөх, нимгэн хальслах зэрэг үйл ажиллагааг хамардаг бөгөөд сард 3000 гаруй хавтан үйлдвэрлэх хүчин чадалтай бөгөөд 5G харилцаа холбоо, хэрэглээний электроник, фотоник, батлан хамгаалахын салбарт үйлчилдэг. Бид оновчтой LiTaO₃ шийдлүүдийг хүргэхийн тулд техникийн цогц зөвлөгөө өгөх, дээжийн шинж чанар, бага хэмжээний загварчлалын үйлчилгээг үзүүлдэг.

Бидэн рүү имэйл илгээнэ үү

Онцлогууд

Техникийн параметрүүд

Нэр	Оптик зэрэглэлийн LiTaO3	Дууны хүснэгтийн түвшин LiTaO3
Тэнхлэг	Z зүсэлт + / - 0.2 °	36 ° Y зүсэлт / 42 ° Y зүсэлт / X зүсэлт(+ / - 0.2 °)
Диаметр	76.2мм + / - 0.3мм/100±0.2мм	76.2мм + /-0.3мм100мм + /-0.3мм 0r 150±0.5мм
Датумын онгоц	22мм + / - 2мм	22мм + /-2мм32мм + /-2мм
Зузаан	500um + /-5мм1000um + /-5мм	500um + /-20мм350um + /-20мм
TTV	≤ 10um	≤ 10um
Кюри температур	605 °C + / - 0.7 °C (DTAmethod)	605 °C + / -3 °C (DTAmethod
Гадаргуугийн чанар	Хоёр талт өнгөлгөө	Хоёр талт өнгөлгөө
Хагарсан ирмэгүүд	ирмэгийг дугуйлах	ирмэгийг дугуйлах

Гол шинж чанарууд

1.Болор бүтэц ба цахилгааны гүйцэтгэл

· Кристаллографийн тогтвортой байдал: 100% 4H-SiC политипийн давамгайлал, тэг олон талст орц (жишээ нь, 6H/15R), хагас дээд тал нь (FWHM) ≤32.7 нуман секундэд XRD эргэлдэх муруйтай.
· Өндөр зөөвөрлөгчийн хөдөлгөөн: 5,400 см²/V·s (4H-SiC) электроны хөдөлгөөн ба нүхний хөдөлгөөн 380 см²/V·с, өндөр давтамжийн төхөөрөмжийн загвар гаргах боломжтой.
·Цацрагийн хатуулаг: 1×10¹⁵ н/см² шилжилтийн эвдрэлийн босго бүхий 1 МэВ нейтроны цацрагийг тэсвэрлэдэг, сансар огторгуй болон цөмийн хэрэглээнд тохиромжтой.

2.Дулааны болон механик шинж чанарууд

· Онцгой дулаан дамжилтын чанар: 4.9 Вт/см·К (4H-SiC), цахиураас гурав дахин, 200°С-ээс дээш температурт ажиллах боломжтой.
· Дулааны тэлэлтийн бага коэффициент: 4.0×10⁻⁶/K (25–1000°C) CTE, цахиурт суурилсан сав баглаа боодолтой нийцэж, дулааны стрессийг багасгана.

3.Гэмтлийн хяналт ба боловсруулалтын нарийвчлал
.
· Бичил хоолойн нягтрал: <0.3 см⁻² (8 инчийн вафель), мултрах нягтрал <1,000 см⁻² (KOH сийлбэрээр баталгаажуулсан).
· Гадаргуугийн чанар: Ra <0.2 нм хүртэл CMP өнгөлсөн, EUV литографийн түвшний тэгш байдлын шаардлагыг хангасан.

Гол програмууд

домэйн	Хэрэглээний хувилбарууд	Техникийн давуу тал
Оптик харилцаа холбоо	100G/400G лазер, цахиурын фотоникийн эрлийз модулиуд	InP үрийн субстрат нь шууд зурвасын зай (1.34 эВ) ба Si-д суурилсан гетероепитаксиг идэвхжүүлж, оптик холболтын алдагдлыг бууруулдаг.
Эрчим хүчний шинэ машинууд	800В өндөр хүчдэлийн инвертер, самбар дээрх цэнэглэгч (OBC)	4H-SiC субстрат нь >1200 В-ыг тэсвэрлэж, дамжуулалтын алдагдлыг 50%, системийн эзэлхүүнийг 40% бууруулдаг.
5G харилцаа холбоо	Миллиметр долгионы RF төхөөрөмж (PA/LNA), суурь станцын цахилгаан өсгөгч	Хагас тусгаарлагч SiC субстрат (эсэргүүцэл >10⁵ Ω·см) нь өндөр давтамжийн (60 GHz+) идэвхгүй интеграцийг идэвхжүүлдэг.
Аж үйлдвэрийн тоног төхөөрөмж	Өндөр температур мэдрэгч, гүйдлийн трансформатор, цөмийн реакторын монитор	InSb үрийн субстрат (0.17 эВ зурвасын зай) нь 300%@10 T хүртэл соронзон мэдрэмжийг өгдөг.

LiTaO₃ Вафель - Гол шинж чанарууд

1. Дээд зэргийн пьезоэлектрик гүйцэтгэл

· Өндөр пьезоэлектрик коэффициент (d₃₃~8-10 pC/N, K²~0.5%) нь 5G RF шүүлтүүрийн хувьд оруулах алдагдал <1.5дБ өндөр давтамжийн SAW/BAW төхөөрөмжүүдийг идэвхжүүлдэг.

· Маш сайн цахилгаан механик холболт нь 6GHz болон mmWave-аас бага хэмжээний хэрэглээнд зориулагдсан өргөн зурвасын өргөн (≥5%) шүүлтүүрийн загварыг дэмждэг.

2. Оптик шинж чанарууд

· >40GHz зурвасын өргөнтэй цахилгаан оптик модуляторуудад өргөн зурвасын ил тод байдал (400-5000нм-ээс >70% дамжуулалт)

· Хүчтэй шугаман бус оптик мэдрэмтгий байдал (χ⁽²⁾~30pm/V) нь лазерын системд үр ашигтай хоёр дахь гармоник үүсгэх (SHG)-ийг хөнгөвчилдөг.

3. Байгаль орчны тогтвортой байдал

· Кюригийн өндөр температур (600°C) нь автомашины зэрэглэлийн (-40°C-ээс 150°C) орчинд пьезоэлектрик хариу үйлдэл үзүүлдэг.

· Хүчил/шүлтүүдийн эсрэг химийн идэвхгүй байдал (pH1-13) нь үйлдвэрлэлийн мэдрэгчийн хэрэглээнд найдвартай байдлыг хангадаг.

4. Тохируулах чадвар

· Баримтлалын инженерчлэл: Пьезоэлектрик хариу үйлдэл хийхэд зориулагдсан X хэлбэрийн зүсэлт (51°), Y хэлбэрийн зүсэлт (0°), Z хэлбэрийн зүсэлт (36°)

· Допингийн сонголтууд: Mg-ээр баяжуулсан (оптик гэмтлийн эсэргүүцэл), Zn-тэй (сайжруулсан d₃₃)

· Гадаргуугийн өнгөлгөө: Эпитаксиальд бэлэн өнгөлөх (Ra<0.5nm), ITO/Au металлжуулалт

LiTaO₃ Wafers - Анхдагч хэрэглээ

1. RF-ийн урд талын модулиуд

· 5G NR SAW шүүлтүүр (Band n77/n79) давтамжийн температурын коэффициент (TCF) <|-15ppm/°C|

· WiFi 6E/7 (5.925-7.125GHz)-д зориулсан хэт өргөн зурвасын BAW резонаторууд

2. Нэгдсэн фотоник

· Тогтвортой оптик харилцаа холбооны өндөр хурдны Mach-Zehnder модулятор (>100Gbps)

· QWIP хэт улаан туяаны детекторууд нь 3-14μm-ийн хооронд тохируулж болох таслах долгионы урттай

3. Автомашины электроник

· >200кГц давтамжтай хэт авианы зогсоолын мэдрэгч

· -40°C-аас 125°C хүртэл дулааны эргэлтэнд тэсвэртэй TPMS пьезоэлектрик хувиргагч

4. Хамгаалалтын системүүд

· EW хүлээн авагчийн шүүлтүүрүүд >60дБ-аас гадуур зурвасаас татгалздаг

· 3-5μm MWIR цацрагийг дамжуулдаг пуужин хайгчийн IR цонх

5. Шинээр хөгжиж буй технологиуд

· Бичил долгионыг оптик болгон хувиргах оптомеханик квант хувиргагч

· Эмнэлгийн хэт авиан дүрслэлд зориулсан PMUT массив (>20MHz нягтрал)

LiTaO₃ Вафель - XKH үйлчилгээ

1. Нийлүүлэлтийн сүлжээний менежмент

· Стандарт үзүүлэлтүүдийн дагуу 4 долоо хоногийн хугацаатай Boule-to-wafer боловсруулах

· Өрсөлдөгчдөөс 10-15%-ийн үнийн давуу тал бүхий зардлаа оновчтой үйлдвэрлэл

2. Захиалгат шийдэл

· Зориулалтын тусгай зүсэлт: 36°±0.5° Y хэлбэрийн зүсэлт нь Хөрөөний гүйцэтгэлийг оновчтой болгодог.

· Допингийн найрлага: MgO (5 моль%) оптик хэрэглээнд зориулсан допинг

Төмөрлөх үйлчилгээ: Cr/Au (100/1000Å) электродын хэв маяг

3. Техникийн дэмжлэг

· Материалын шинж чанар: XRD эргэлдэх муруй (FWHM<0.01°), AFM гадаргуугийн шинжилгээ

· Төхөөрөмжийн симуляци: SAW шүүлтүүрийн дизайныг оновчтой болгох FEM загварчлал

Дүгнэлт

LiTaO₃ ялтсууд нь RF холбоо, нэгдсэн фотоник, хатуу ширүүн орчны мэдрэгч зэрэг технологийн дэвшлийг идэвхжүүлсээр байна. XKH-ийн материалын туршлага, үйлдвэрлэлийн нарийвчлал, хэрэглээний инженерийн дэмжлэг нь үйлчлүүлэгчдэд дараагийн үеийн электрон системүүдийн дизайны сорилтыг даван туулахад тусалдаг.