Бүрэн автомат вафель цагираг хайчлах төхөөрөмж Ажлын хэмжээ 8 инч/12 инчийн вафель цагираг хайчлах

Бүрэн автомат вафер цагираг хайчлах төхөөрөмж Ажлын хэмжээ 8 инч/12 инчийн вафель цагираг хайчлах Онцлох зураг

Богино тайлбар:

XKH нь урд талын хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн процесст зориулагдсан дэвшилтэт шийдлийг төлөөлсөн бүрэн автомат өргүүрийн ирмэгийг засах системийг бие даан боловсруулсан. Энэхүү тоног төхөөрөмж нь олон тэнхлэгт синхрон удирдлагын шинэлэг технологийг агуулсан бөгөөд өндөр хатуу тэнхлэгийн системтэй (хамгийн их эргэлтийн хурд: 60,000 RPM) ирмэгийг ±5μm хүртэл зүсэх нарийвчлалтайгаар нарийн зүсэх боломжийг олгодог. Систем нь янз бүрийн хагас дамжуулагч субстратуудтай маш сайн нийцтэй байгааг харуулж байна, үүнд:
1.Цахиур хавтан (Si): 8-12 инчийн зүсмэлийн ирмэгийг боловсруулахад тохиромжтой；
2. Нийлмэл хагас дамжуулагч: GaAs, SiC зэрэг гурав дахь үеийн хагас дамжуулагч материалууд；
3. Тусгай субстрат: LT/LN агуулсан пьезоэлектрик материал;

Модульчлагдсан загвар нь алмаазан ир, лазер зүсэгч толгой зэрэг олон төрлийн хэрэглээний материалыг хурдан солих боломжийг олгодог бөгөөд нийцтэй байдал нь салбарын стандартаас давсан байна. Мэргэжлийн үйл явцын шаардлагын хувьд бид дараахь зүйлийг багтаасан цогц шийдлүүдийг санал болгодог.
· Зориулалтын хайчлах материалын хангамж
· Захиалгат боловсруулах үйлчилгээ
· Процессын параметрийг оновчтой болгох шийдлүүд

Бидэн рүү имэйл илгээнэ үү

Онцлогууд

Техникийн параметрүүд

Параметр	Нэгж	Тодорхойлолт
Ажлын хэсгийн хамгийн их хэмжээ	mm	ø12"
Спинд	Тохиргоо	Нэг булны
	Хурд	3,000-60,000 эрг / мин
	Гаралтын хүч	30,000 мин⁻¹-д 1,8 кВт (заавал биш 2,4).
	Макс ирний диаметр.	Ø58 мм
X тэнхлэг	Зүсэх хүрээ	310 мм
Y тэнхлэг	Зүсэх хүрээ	310 мм
	Алхам өсөлт	0.0001 мм
	Байршлын нарийвчлал	≤0.003 мм/310 мм, ≤0.002 мм/5 мм (нэг алдаа)
Z-тэнхлэг	Хөдөлгөөний тогтоол	0.00005 мм
Z-тэнхлэг	Дахин давтагдах чадвар	0.001 мм
θ-тэнхлэг	Хамгийн их эргэлт	380 градус
Спиндлийн төрөл		Бөгжний зүсэлт хийх зориулалттай хатуу ирээр тоноглогдсон нэг ээрэх
Бөгжний зүсэлтийн нарийвчлал	мкм	±50
Ваферын байршлын нарийвчлал	мкм	±50
Нэг вафферын үр ашиг	мин/вафель	8
Олон талт ваферын үр ашиг		4 хүртэлх ширхэгтэй вафель нь нэгэн зэрэг боловсруулагдана
Тоног төхөөрөмжийн жин	kg	≈3,200
Тоног төхөөрөмжийн хэмжээс (W×D×H)	mm	2,730 × 1,550 × 2,070

Үйл ажиллагааны зарчим

Систем нь эдгээр үндсэн технологиудыг ашиглан шүргэх онцгой гүйцэтгэлийг бий болгодог:

1. Ухаалаг хөдөлгөөн хяналтын систем:
· Өндөр нарийвчлалтай шугаман мотор хөтөч (давталтын байрлал тогтоох нарийвчлал: ±0.5μm)
· Зургаан тэнхлэгт синхрон удирдлага, замналын нарийн төлөвлөлтийг дэмждэг
· Бодит цагийн чичиргээ дарах алгоритмууд нь зүсэлтийн тогтвортой байдлыг хангадаг

2. Нарийвчилсан илрүүлэх систем:
· Нэгдсэн 3D лазер өндрийн мэдрэгч (нарийвчлал: 0.1μm)
· Өндөр нарийвчлалтай CCD харааны байрлал тогтоох (5 мегапиксел)
· Онлайн чанарын хяналтын модуль

3. Бүрэн автоматжуулсан үйл явц:
· Автомат ачих/буулгах (FOUP стандарт интерфейстэй нийцтэй)
· Ухаалаг ангилах систем
· Хаалттай цэвэрлэх төхөөрөмж (цэвэр байдал: 10-р анги)

Ердийн програмууд

Энэхүү тоног төхөөрөмж нь хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн хэрэглээнд ихээхэн ач холбогдолтой:

Хэрэглээний талбар	Процессын материал	Техникийн давуу тал
IC үйлдвэрлэл	8/12 "Цахиур хавтан	Литографийн тэгш байдлыг сайжруулна
Эрчим хүчний төхөөрөмжүүд	SiC/GaN вафер	Ирмэгийн гажиг үүсэхээс сэргийлнэ
MEMS мэдрэгч	SOI Wafers	Төхөөрөмжийн найдвартай байдлыг хангана
RF төхөөрөмжүүд	GaAs Wafers	Өндөр давтамжийн гүйцэтгэлийг сайжруулна
Нарийвчилсан савлагаа	Сэргээгдсэн вафель	Сав баглаа боодлын гарцыг нэмэгдүүлнэ

Онцлогууд

1. Өндөр боловсруулалтын үр ашигтай дөрвөн станцын тохиргоо；
2. Тогтвортой TAIKO бөгжийг салгаж, арилгах;
3.Гол хэрэглэгдэхүүнтэй өндөр нийцтэй байх；
4. Олон тэнхлэгт синхрон шүргэх технологи нь ирмэгийн нарийн зүсэлтийг баталгаажуулдаг；
5. Бүрэн автоматжуулсан процессын урсгал нь хөдөлмөрийн зардлыг эрс бууруулдаг；
6. Тохиромжтой ажлын ширээний загвар нь тусгай бүтцийг тогтвортой боловсруулах боломжийг олгодог；

Функцүүд

1. Цагираган уналт илрүүлэх систем；
2. Ажлын ширээг автоматаар цэвэрлэх;
3. Хэт ягаан туяанаас салгах ухаалаг систем；
4. Үйлдлийн бүртгэлийн бүртгэл；
5. Үйлдвэрийн автоматжуулалтын модулийг нэгтгэх;

Үйлчилгээний амлалт

XKH нь таны үйлдвэрлэлийн аялалын туршид тоног төхөөрөмжийн гүйцэтгэл, үйл ажиллагааны үр ашгийг нэмэгдүүлэх зорилготой цогц, бүрэн амьдралын мөчлөгийн тусламж үйлчилгээг үзүүлдэг.
1. Тохируулах үйлчилгээ
· Тохиромжтой тоног төхөөрөмжийн тохиргоо: Манай инженерийн баг нь материалын тодорхой шинж чанар (Si/SiC/GaAs) болон үйл явцын шаардлагад үндэслэн системийн параметрүүдийг (таслах хурд, ир сонгох гэх мэт) оновчтой болгохын тулд үйлчлүүлэгчидтэй нягт хамтран ажилладаг.
· Процесс боловсруулах дэмжлэг: Бид захын тэгш бус байдлын хэмжилт, согогийн зураглал зэрэг нарийвчилсан шинжилгээний тайлан бүхий дээжийн боловсруулалтыг санал болгож байна.
· Хэрэглээний материалын хамтын хөгжил: Бид шинэ материалын хувьд (жишээ нь, Ga₂O₃) хэрэглээний тусгай зориулалтын ир/лазер оптикийг хөгжүүлэхийн тулд хэрэглээний тэргүүлэх үйлдвэрлэгчидтэй хамтран ажилладаг.

2. Мэргэжлийн техникийн дэмжлэг
· Газар дээр нь тусгайлан зориулсан дэмжлэг: Мэргэшсэн инженерүүдийг чухал үе шатуудад (ихэвчлэн 2-4 долоо хоног) томилох, үүнд:
Тоног төхөөрөмжийн шалгалт тохируулга ба процессын нарийн тохируулга
Операторын ур чадварын сургалт
ISO 5-р ангиллын цэвэр өрөөг нэгтгэх заавар
· Урьдчилан тооцоолсон засвар үйлчилгээ: Улирал тутам эрүүл мэндийн үзлэг, чичиргээний шинжилгээ, серво моторын оношлогооны тусламжтайгаар төлөвлөгдөөгүй зогсолтоос сэргийлнэ.
· Зайнаас хянах: Манай IoT платформ (JCFront Connect®) -аар дамжуулан автоматжуулсан гажиг дохиолол бүхий бодит цагийн төхөөрөмжийн гүйцэтгэлийг хянах.

3. Нэмүү өртөг шингэсэн үйлчилгээ
· Процессын мэдлэгийн сан: Төрөл бүрийн материалд зориулсан 300 гаруй баталгаажсан зүсэх жорыг авах боломжтой (улирал бүр шинэчлэгддэг).
· Технологийн замын зураглал: Техник хангамж/програм хангамжийг шинэчлэх замаар (жишээ нь, хиймэл оюун ухаанд суурилсан согог илрүүлэх модуль) ирээдүйд хөрөнгө оруулалтаа баталгаажуулаарай.
· Яаралтай тусламж: 4 цагийн зайнаас оношлох, газар дээр нь 48 цагийн хөндлөнгийн оролцоо (дэлхий даяар хамрах) баталгаатай.

4. Үйлчилгээний дэд бүтэц
· Гүйцэтгэлийн баталгаа: Тоног төхөөрөмжийн ашиглалтын хугацаа ≥98%, SLA-аар баталгаажсан хариу өгөх хугацаатай байх гэрээний үүрэг.

Тасралтгүй сайжруулалт

Бид жил бүр хоёр удаа хэрэглэгчийн сэтгэл ханамжийн судалгааг явуулж, үйлчилгээний хүртээмжийг сайжруулахын тулд Кайзен санаачилгыг хэрэгжүүлдэг. Манай R&D баг хээрийн мэдээллийг тоног төхөөрөмжийн шинэчлэлд хөрвүүлдэг - Програм хангамжийн сайжруулалтын 30% нь үйлчлүүлэгчийн санал хүсэлтээс үүдэлтэй.