SiO2 нимгэн хальсан дулааны исэл цахиурын вафли 4 инч 6 инч 8 инч 12 инч

Исэлдүүлсэн цахиурын вафли үйлдвэрлэх үндсэн үйл явц нь ихэвчлэн дараах алхмуудыг агуулдаг: монокристалл цахиурын ургалт, вафли болгон зүсэх, өнгөлөх, цэвэрлэх, исэлдүүлэх.

Монокристалл цахиурын ургалт: Нэгдүгээрт, монокристалл цахиурыг өндөр температурт Чохралскийн арга эсвэл Хөвөгч бүсийн арга гэх мэт аргуудаар ургуулдаг. Энэ арга нь өндөр цэвэршилттэй, торны бүрэн бүтэн байдалтай цахиурын дан талстыг бэлтгэх боломжийг олгодог.

Шоо дөрвөлжин хэрчих: Ургасан монокристалл цахиур нь ихэвчлэн цилиндр хэлбэртэй байдаг бөгөөд вафлийн суурь болгон ашиглахын тулд нимгэн вафли болгон зүсэх шаардлагатай. Зүсэх ажлыг ихэвчлэн алмазан зүсэгчээр хийдэг.

Өнгөлгөө: Зүссэн хавтангийн гадаргуу тэгш бус байж болох бөгөөд гөлгөр гадаргуу авахын тулд химийн-механик өнгөлгөө шаардлагатай.

Цэвэрлэгээ: Өнгөлсөн вафлийг бохирдол болон тоосыг арилгахын тулд цэвэрлэнэ.

Исэлдүүлэх: Эцэст нь цахиурын хавтангуудыг исэлдүүлэх боловсруулалт хийх өндөр температурт зууханд хийж, цахиурын давхар ислийн хамгаалалтын давхарга үүсгэж, цахилгаан шинж чанар, механик бат бөх чанарыг нь сайжруулж, мөн интеграл хэлхээнд тусгаарлагч давхарга болгон ашигладаг.

Исэлдүүлсэн цахиурын хавтангийн гол хэрэглээнд интеграл хэлхээ үйлдвэрлэх, нарны зай үйлдвэрлэх, бусад электрон төхөөрөмж үйлдвэрлэх зэрэг орно. Цахиурын исэл хавтангууд нь маш сайн механик шинж чанар, хэмжээст болон химийн тогтвортой байдал, өндөр температур, өндөр даралтад ажиллах чадвар, мөн сайн тусгаарлагч болон оптик шинж чанартай тул хагас дамжуулагч материалын салбарт өргөн хэрэглэгддэг.

Үүний давуу талууд нь бүрэн талст бүтэц, цэвэр химийн найрлага, нарийн хэмжээс, сайн механик шинж чанар гэх мэт орно. Эдгээр шинж чанарууд нь цахиурын исэл бүхий вафлигуудыг өндөр хүчин чадалтай интеграл хэлхээ болон бусад микроэлектрон төхөөрөмж үйлдвэрлэхэд онцгой тохиромжтой болгодог.