Цахиурын давхар ислийн вафли SiO2 зузаан өнгөлсөн, праймер ба туршилтын зэрэг
Вафли хайрцагны танилцуулга
| Бүтээгдэхүүн | Дулааны исэл (Si+SiO2) вафли |
| Үйлдвэрлэлийн арга | LPCVD |
| Гадаргуу өнгөлөх | SSP/DSP |
| Диаметр | 2 инч / 3 инч / 4 инч / 5 инч / 6 инч |
| Төрөл | P төрөл / N төрөл |
| Исэлдэлтийн давхарга зузаардаг | 100нм ~1000нм |
| Чиглэл | <100> <111> |
| Цахилгаан эсэргүүцэл | 0.001-25000(Ω•см) |
| Аппликейшн | Синхротрон цацрагийн дээж зөөгч, PVD/CVD бүрхүүлийг субстрат болгон ашиглах, магнетрон цацалтын өсөлтийн дээж, XRD, SEM,Атомын хүч, хэт улаан туяаны спектроскопи, флуоресценцийн спектроскопи болон бусад шинжилгээний туршилтын суурь, молекулын цацрагийн эпитаксиал өсөлтийн суурь, талст хагас дамжуулагчийн рентген шинжилгээ |
Цахиурын исэлтэй вафли нь агаар мандлын даралтын зуухны хоолойн тоног төхөөрөмжтэй дулааны исэлдэлтийн процессыг ашиглан өндөр температурт (800°C~1150°C) хүчилтөрөгч эсвэл усны уураар цахиурын вафлины гадаргуу дээр ургуулсан цахиурын давхар ислийн хальс юм. Процессын зузаан нь 50 нанометрээс 2 микрон хүртэл, процессын температур нь 1100 хэм хүртэл, ургалтын аргыг "нойтон хүчилтөрөгч" ба "хуурай хүчилтөрөгч" гэсэн хоёр төрөлд хуваадаг. Дулааны исэл нь "ургуулсан" исэл давхарга бөгөөд CVD-ийн хуримтлагдсан исэл давхаргаас илүү жигд, илүү сайн нягтралтай, өндөр диэлектрик бат бэхтэй тул чанар сайтай байдаг.
Хуурай хүчилтөрөгчийн исэлдэлт
Цахиур нь хүчилтөрөгчтэй урвалд ордог бөгөөд исэлдэлтийн давхарга нь суурь давхарга руу байнга хөдөлдөг. Хуурай исэлдэлтийн процессыг 850-1200°C температурт, өсөлтийн хурд багатайгаар гүйцэтгэх шаардлагатай бөгөөд MOS дулаалгатай хаалганы өсөлтөд ашиглаж болно. Өндөр чанартай, хэт нимгэн цахиурын исэлдэлтийн давхарга шаардлагатай үед нойтон исэлдэлтийн оронд хуурай исэлдэлтийн процессыг илүүд үздэг. Хуурай исэлдэлтийн хүчин чадал: 15нм ~ 300нм.
2. Нойтон исэлдэлт
Энэ арга нь усны уурыг ашиглан өндөр температурын нөхцөлд зуухны хоолойд орж исэлдэлтийн давхарга үүсгэдэг. Нойтон хүчилтөрөгчийн исэлдэлтийн нягтрал нь хуурай хүчилтөрөгчийн исэлдэлтээс арай муу боловч хуурай хүчилтөрөгчийн исэлдэлттэй харьцуулахад давуу тал нь 500 нм-ээс дээш хальсан ургалтад тохиромжтой, өндөр өсөлтийн хурдтай байдаг. Нойтон исэлдэлтийн багтаамж: 500 нм ~ 2µm.
AEMD-ийн атмосферийн даралтын исэлдэлтийн зуухны хоолой нь Чехийн хэвтээ зуухны хоолой бөгөөд өндөр процессын тогтвортой байдал, сайн хальсны жигд байдал, маш сайн бөөмсийн хяналтаар тодорхойлогддог. Цахиурын исэл зуухны хоолой нь хоолой бүрт 50 хүртэлх вафли боловсруулж, вафли дотор болон хоорондын маш сайн жигд байдлыг хангадаг.
Дэлгэрэнгүй диаграмм
