SiC керамик эцсийн эффектор өргүүр зөөх зориулалттай гар

SiC керамик эцсийн эффектор баривчлах хавтан зөөвөрлөх гар Онцлох зураг

Богино тайлбар:

LiNbO₃ Вафель нь орчин үеийн оптоэлектроник системд хосгүй гүйцэтгэлийг үзүүлж, нэгдсэн фотоник болон нарийн акустикийн алтан стандартыг төлөөлдөг. Тэргүүлэгч үйлдвэрлэгчийн хувьд бид уурын тээвэрлэлтийн тэнцвэрт байдлын дэвшилтэт техникээр эдгээр инженерчлэгдсэн субстратуудыг үйлдвэрлэх урлагийг төгс төгөлдөр болгож, 50/см²-аас доош согогийн нягтрал бүхий салбартаа тэргүүлэгч талст төгс байдалд хүрсэн.

XKH-ийн үйлдвэрлэлийн хүчин чадал нь 75мм-ээс 150мм хүртэлх диаметртэй, чиг баримжаагаа нарийн хянах (X/Y/Z-тайрах ±0.3°) ба газрын ховор элемент зэрэг тусгай допингийн сонголттой. LiNbO₃ Өрөөнд агуулагдах шинж чанаруудын өвөрмөц хослол, түүний гайхалтай r₃₃ коэффициент (32±2 pm/V), хэт ягаан туяанаас дунд IR хүртэлх өргөн тунгалаг байдал нь тэдгээрийг дараагийн үеийн фотоник хэлхээ болон өндөр давтамжийн акустик төхөөрөмжүүдэд зайлшгүй шаардлагатай болгодог.

Бидэн рүү имэйл илгээнэ үү

Онцлогууд

SiC керамик эцсийн эффектор Хураангуй

SiC (Silicon Carbide) керамик эцсийн эффект нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэл болон дэвшилтэт бичил үйлдвэрлэлийн орчинд ашиглагддаг өндөр нарийвчлалтай вафель боловсруулах системд чухал бүрэлдэхүүн хэсэг юм. Хэт цэвэр, өндөр температур, өндөр тогтвортой орчинд тавигдах шаардлагуудыг хангахаар бүтээгдсэн энэхүү тусгай зориулалтын эцсийн үр нөлөө нь литограф, сийлбэр, тунадас зэрэг үйлдвэрлэлийн үндсэн үе шатуудад ваферийг найдвартай, бохирдолгүй тээвэрлэх боломжийг олгодог.

Силикон карбидын өндөр дулаан дамжуулалт, хэт хатуулаг, маш сайн химийн идэвхгүй байдал, хамгийн бага дулааны тэлэлт гэх мэт материалын дээд зэргийн шинж чанарыг ашиглан SiC керамик эцсийн эффект нь дулааны хурдацтай эргэлт эсвэл зэврэлттэй процессын камерт ч зүйрлэшгүй механик хөшүүн чанар, хэмжээсийн тогтвортой байдлыг санал болгодог. Түүний тоосонцор багатай, плазмын эсэргүүцлийн шинж чанар нь ялтсуудын гадаргуугийн бүрэн бүтэн байдлыг хадгалах, бөөмийн бохирдлыг бууруулах нь хамгийн чухал зүйл болох цэвэр өрөө болон вакуум боловсруулахад тохиромжтой.

SiC керамик эцсийн эффектор Хэрэглээ

1. Хагас дамжуулагч өрөмтэй харьцах

SiC керамик төгсгөлийн эффекторыг хагас дамжуулагчийн үйлдвэрт автоматжуулсан үйлдвэрлэлийн явцад цахиур хавтантай харьцахад өргөн ашигладаг. Эдгээр төгсгөлийн эффекторууд нь ихэвчлэн робот гар эсвэл вакуум дамжуулах системд суурилагдсан бөгөөд 200мм, 300мм гэх мэт янз бүрийн хэмжээтэй ялтсуудыг байрлуулах зориулалттай. Эдгээр нь өндөр температур, вакуум нөхцөл, идэмхий хий нийтлэг байдаг химийн уурын хуримтлал (CVD), физик уурын хуримтлал (PVD), сийлбэр, тархалт зэрэг процессуудад зайлшгүй шаардлагатай. SiC-ийн онцгой дулааны эсэргүүцэл ба химийн тогтвортой байдал нь ийм хатуу ширүүн орчинд эвдрэлгүйгээр тэсвэрлэх хамгийн тохиромжтой материал болгодог.

2. Цэвэр өрөө болон вакуумтай нийцтэй байдал

Цэвэр болон вакуум орчинд тоосонцрын бохирдлыг багасгах шаардлагатай бол SiC керамик нь ихээхэн давуу талтай байдаг. Материалын нягт, гөлгөр гадаргуу нь тоосонцор үүсэхийг эсэргүүцэж, зөөвөрлөх явцад ялтсуудын бүрэн бүтэн байдлыг хадгалахад тусалдаг. Энэ нь SiC төгсгөлийн эффекторуудыг хэт ягаан туяаны литографи (EUV) ба атомын давхаргын хуримтлал (ALD) зэрэг чухал процессуудад маш тохиромжтой болгодог бөгөөд үүнд цэвэр байдал чухал байдаг. Цаашилбал, SiC-ийн хий ялгаруулах бага, плазмын өндөр эсэргүүцэл нь вакуум камерт найдвартай ажиллагааг хангаж, багаж хэрэгслийн ашиглалтын хугацааг уртасгаж, засвар үйлчилгээний давтамжийг бууруулдаг.

3. Өндөр нарийвчлалтай байрлал тогтоох систем

Нарийвчлал, тогтвортой байдал нь өрөмтэй харьцах дэвшилтэт систем, ялангуяа хэмжил зүй, хяналт шалгалт, тэгшлэх төхөөрөмжид амин чухал юм. SiC керамик нь дулааны тэлэлтийн маш бага коэффициент, өндөр хөшүүн чанартай тул эцсийн эффектор нь дулааны эргэлт эсвэл механик ачааллын үед ч бүтцийн нарийвчлалыг хадгалах боломжийг олгодог. Энэ нь 5 нм-ээс доош үйл явцын зангилаанд улам бүр чухал болж буй бичил зураас, буруу тохируулга эсвэл хэмжилтийн алдааны эрсдлийг бууруулж, хавтангуудыг тээвэрлэх явцад нарийн тэгш байлгахыг баталгаажуулдаг.

SiC керамик эцсийн эффектор Properties

1. Механикийн өндөр бат бэх, хатуулаг

SiC керамик нь онцгой механик хүч чадалтай бөгөөд гулзайлтын бат бэх нь ихэвчлэн 400 МПа, Викерсийн хатуулгийн утга 2000 HV-ээс дээш байдаг. Энэ нь тэдгээрийг удаан хугацаагаар ашиглалтын дараа ч механик ачаалал, нөлөөлөл, элэгдэлд тэсвэртэй болгодог. SiC-ийн өндөр хөшүүн чанар нь өндөр хурдны хавтангийн шилжилтийн үед хазайлтыг багасгаж, үнэн зөв, давтагдах байрлалыг баталгаажуулдаг.

2. Маш сайн дулааны тогтвортой байдал

SiC керамикийн хамгийн үнэ цэнэтэй шинж чанаруудын нэг нь механик бүрэн бүтэн байдлыг алдагдуулахгүйгээр хэт өндөр температурыг (ихэвчлэн идэвхгүй орчинд 1600 ° C хүртэл) тэсвэрлэх чадвар юм. Тэдний дулааны тэлэлтийн бага коэффициент (~4.0 x 10⁻⁶ /K) нь дулааны эргэлтийн үед хэмжээсийн тогтвортой байдлыг хангаж, CVD, PVD, өндөр температурт зөөлрүүлэх зэрэг хэрэглээнд тохиромжтой болгодог.

SiC керамик эцсийн эффектор Асуулт хариулт

Асуулт: Өргөсний төгсгөлийн эффекторт ямар материалыг ашигладаг вэ?

А:Өргөст ялтсын төгсгөлийн эффектүүд нь ихэвчлэн өндөр бат бэх, дулааны тогтвортой байдал, тоосонцор бага үүсгэдэг материалаар хийгдсэн байдаг. Эдгээрээс цахиурын карбид (SiC) керамик нь хамгийн дэвшилтэт, илүүд үздэг материалуудын нэг юм. SiC керамик нь маш хатуу, дулааны хувьд тогтвортой, химийн хувьд идэвхгүй, элэгдэлд тэсвэртэй тул цэвэр өрөө, вакуум орчинд нарийн ширхэгтэй цахиур хавтантай харьцахад тохиромжтой. Кварц эсвэл бүрсэн металлуудтай харьцуулахад SiC нь өндөр температурт хэмжээст тогтвортой байдлыг хангадаг бөгөөд тоосонцорыг асгаруулдаггүй тул бохирдлоос сэргийлдэг.