Сапфир SiC Si-д зориулсан ионы цацраг өнгөлгөөний машин

Товч тайлбар:

Ионы цацрагийн дүрслэл ба өнгөлгөөний машин нь ионы цацалтын зарчим дээр суурилдаг. Өндөр вакуум камер дотор ионы эх үүсвэр нь плазм үүсгэдэг бөгөөд энэ нь өндөр энергитэй ионы цацраг болж хурдасдаг. Энэхүү цацраг нь оптик бүрэлдэхүүн хэсгийн гадаргууг бөмбөгдөж, хэт нарийвчлалтай гадаргуугийн залруулга, өнгөлгөөг хийхийн тулд атомын хэмжээнд материалыг зайлуулдаг.

Бидэнд имэйл илгээх

Онцлог шинж чанарууд

Дэлгэрэнгүй диаграмм

Ионы цацраг өнгөлгөөний машины бүтээгдэхүүний тойм

Холбоо барихгүй процессын хувьд ионы цацраг өнгөлгөө нь механик стрессийг арилгаж, газрын доорх гэмтлээс зайлсхийдэг тул одон орон, сансар судлал, хагас дамжуулагч болон дэвшилтэт судалгааны хэрэглээнд ашигладаг өндөр нарийвчлалтай оптик үйлдвэрлэхэд тохиромжтой.

Ионы цацраг өнгөлгөөний машины ажиллах зарчим

Ионы үүсэлт
Инерт хий (жишээ нь, аргон)-ийг вакуум камерт оруулж, цахилгаан цэнэг алдалтаар ионжуулж, плазм үүсгэдэг.

Хурдатгал ба цацрагийн үүсэл
Ионууд хэдэн зуун эсвэл мянган электрон вольт (эВ) хүртэл хурдасгагдаж, тогтвортой, төвлөрсөн цацрагийн цэг болж хувирдаг.

Материал зайлуулах
Ионы цацраг нь химийн урвал эхлүүлэхгүйгээр атомуудыг гадаргуугаас физик байдлаар цацдаг.

Алдаа илрүүлэх ба замын төлөвлөлт
Гадаргуугийн хэлбэрийн хазайлтыг интерферометрийн аргаар хэмждэг. Хэвтээ хугацааг тодорхойлж, оновчтой багажийн замыг бий болгохын тулд зайлуулах функцийг ашигладаг.

Хаалттай гогцооны залруулга
Боловсруулалт болон хэмжилтийн давталтын мөчлөгүүд нь RMS/PV нарийвчлалын зорилтот түвшинд хүрэх хүртэл үргэлжилнэ.

Ионы цацраг өнгөлгөөний машины гол онцлогууд

Бүх нийтийн гадаргуугийн нийцтэй байдал– Хавтгай, бөмбөрцөг хэлбэртэй, бөмбөрцөг хэлбэртэй болон чөлөөт хэлбэрийн гадаргууг боловсруулдаг

Хэт тогтвортой зайлуулах хурд– Нанометрээс доогуур зургийн залруулгыг идэвхжүүлнэ

Гэмтэлгүй боловсруулалт– Гадаргуугийн согог эсвэл бүтцийн өөрчлөлт байхгүй

Тогтвортой гүйцэтгэл- Янз бүрийн хатуулагтай материал дээр адилхан сайн ажилладаг

Бага/Дунд давтамжийн залруулга– Дунд/өндөр давтамжийн алдаа үүсгэхгүйгээр алдааг арилгана

Засвар үйлчилгээний шаардлага багатай– Хамгийн бага зогсолттой, удаан хугацааны тасралтгүй ажиллагаатай

Ионы цацраг өнгөлгөөний машины үндсэн техникийн үзүүлэлтүүд

Зүйл	Тодорхойлолт
Боловсруулах арга	Өндөр вакуум орчинд ионы цацалт
Боловсруулалтын төрөл	Холбоо барихгүй гадаргуугийн хэлбэржүүлэлт ба өнгөлгөө
Ажлын хэсгийн хамгийн их хэмжээ	Φ4000 мм
Хөдөлгөөний тэнхлэгүүд	3 тэнхлэг / 5 тэнхлэг
Авах тогтвортой байдал	≥95%
Гадаргуугийн нарийвчлал	PV < 10 нм; RMS ≤ 0.5 нм (ердийн RMS < 1 нм; PV < 15 нм)
Давтамжийн залруулгын чадвар	Дунд/өндөр давтамжийн алдааг оруулахгүйгээр бага-дунд давтамжийн алдааг арилгана
Тасралтгүй ажиллагаа	Вакуум засвар үйлчилгээгүйгээр 3-5 долоо хоног
Засвар үйлчилгээний зардал	Бага

Ионы цацраг өнгөлгөөний машины боловсруулах чадвар

Дэмжигдсэн гадаргуугийн төрлүүд

Энгийн: Хавтгай, бөмбөрцөг хэлбэртэй, призмтэй

Цогцолбор: Тэгш хэмтэй/тэгш бус асфер, тэнхлэгээс гадуурх асфер, цилиндр хэлбэртэй

Тусгай: Хэт нимгэн оптик, хавтгай оптик, хагас бөмбөрцөг оптик, конформ оптик, фазын хавтан, чөлөөт хэлбэрийн гадаргуу

Дэмжигдсэн материалууд

Оптик шил: Кварц, микрокристалл, K9 гэх мэт.

Хэт улаан туяаны материал: цахиур, германий гэх мэт.

Металлууд: Хөнгөн цагаан, зэвэрдэггүй ган, титаны хайлш гэх мэт.

Кристалууд: YAG, дан талст цахиурын карбид гэх мэт.

Хатуу/хэврэг материал: Цахиурын карбид гэх мэт.

Гадаргуугийн чанар / Нарийвчлал

PV < 10 нм

RMS ≤ 0.5 нм

Ионы цацраг өнгөлгөөний машины боловсруулалтын тохиолдлын судалгаа

Тохиолдол 1 – Стандарт хавтгай толь

Ажлын хэсэг: D630 мм кварц хавтгай

Үр дүн: PV 46.4 нм; RMS 4.63 нм

Тохиолдол 2 – Рентген туяаны тусгал толь

Ажлын хэсэг: 150 × 30 мм хэмжээтэй силикон хавтгай

Үр дүн: PV 8.3 нм; RMS 0.379 нм; Налуу 0.13 мкрад

Тохиолдол 3 – Тэнхлэгээс гадуурх толь

Ажлын хэсэг: D326 мм-ийн тэнхлэгээс гадуурх газрын толь

Үр дүн: PV 35.9 нм; RMS 3.9 нм

Кварцын шилний талаар байнга асуудаг асуултууд

Түгээмэл асуултууд – Ионы цацраг өнгөлгөөний машин

А1: Ионы цацраг өнгөлгөө гэж юу вэ?
А1:Ионы цацраг өнгөлгөө нь ажлын хэсгийн гадаргуугаас материалыг зайлуулахын тулд ионуудын (жишээлбэл, аргон ионууд) фокуслагдсан цацрагийг ашигладаг холбоо барихгүй процесс юм. Ионууд хурдасч, гадаргуу руу чиглүүлэгдэж, атомын түвшний материалыг зайлуулж, улмаар хэт жигд өнгөлгөөг бий болгодог. Энэ процесс нь механик стресс болон гадаргуугийн эвдрэлийг арилгадаг тул нарийн оптик эд ангиудад тохиромжтой.

А2: Ионы цацраг өнгөлгөөний машин ямар төрлийн гадаргууг боловсруулж чадах вэ?
А2:ньИоны цацраг өнгөлгөөний машингэх мэт энгийн оптик бүрэлдэхүүн хэсгүүдийг оролцуулан янз бүрийн гадаргууг боловсруулж чаднахавтгай, бөмбөрцөг болон призмүүд, түүнчлэн нарийн төвөгтэй геометрүүд гэх мэтасфер, тэнхлэгээс гадуурх асфер, бачөлөөт хэлбэрийн гадаргууЭнэ нь ялангуяа оптик шил, хэт улаан туяаны оптик, металл болон хатуу/хэврэг материал зэрэг материалуудад үр дүнтэй.

А3: Ионы цацраг өнгөлгөөний машин ямар материалаар ажиллах боломжтой вэ?
А3:ньИоны цацраг өнгөлгөөний машиндараахь зүйлийг багтаасан олон төрлийн материалыг өнгөлж болно.

Оптик шил: Кварц, бичил талст, K9 гэх мэт
Хэт улаан туяаны материалууд: Цахиур, германий гэх мэт
Металлууд: Хөнгөн цагаан, зэвэрдэггүй ган, титаны хайлш гэх мэт.
Кристал материалуудYAG, дан талст цахиурын карбид гэх мэт.
Бусад хатуу/хэврэг материалууд: Цахиурын карбид гэх мэт

Бидний тухай

XKH нь тусгай оптик шил болон шинэ болор материалын өндөр технологийн хөгжил, үйлдвэрлэл, борлуулалтад мэргэшсэн. Манай бүтээгдэхүүнүүд нь оптик электроник, хэрэглээний электроник болон цэргийн салбарт үйлчилдэг. Бид Sapphire оптик эд анги, гар утасны линзний бүрхүүл, керамик, LT, цахиурын карбидын SIC, кварц болон хагас дамжуулагч болор хавтанг санал болгодог. Бид чадварлаг туршлага, дэвшилтэт тоног төхөөрөмжөөрөө тэргүүлэгч оптоэлектроник материалын өндөр технологийн аж ахуйн нэгж болох зорилготойгоор стандарт бус бүтээгдэхүүн боловсруулах чиглэлээр тэргүүлэгч юм.