Ion Beam өнгөлгөөний машин индранил SiC Si

Индранил SiC Si-д зориулсан ион цацраг өнгөлөх машин Онцлох зураг

Богино тайлбар:

Ион цацраг дүрслэх, өнгөлөх машин нь зарчим дээр суурилдагион цацах. Өндөр вакуумтай камер дотор ионы эх үүсвэр нь плазм үүсгэдэг бөгөөд энэ нь өндөр энергитэй ионы цацраг болж хурдасдаг. Энэхүү цацраг нь оптик бүрэлдэхүүн хэсгийн гадаргууг бөмбөгдөж, гадаргуугийн маш нарийн засвар, өнгөлгөөг хийхийн тулд атомын хэмжээнд материалыг устгадаг.

Бидэн рүү имэйл илгээнэ үү

Онцлогууд

Нарийвчилсан диаграмм

Ион цацраг өнгөлөх машины бүтээгдэхүүний тойм

Ион цацраг дүрслэх, өнгөлөх машин нь ион цацах зарчим дээр суурилдаг. Өндөр вакуумтай камер дотор ионы эх үүсвэр нь плазм үүсгэдэг бөгөөд энэ нь өндөр энергитэй ионы цацраг болж хурдасдаг. Энэхүү цацраг нь оптик бүрэлдэхүүн хэсгийн гадаргууг бөмбөгдөж, гадаргуугийн маш нарийн засвар, өнгөлгөөг хийхийн тулд атомын хэмжээнд материалыг устгадаг.

Холбоо барихгүй процессын хувьд ионы цацраг өнгөлгөө нь механик стрессийг арилгаж, гүний гэмтлээс зайлсхийж, одон орон судлал, сансар огторгуй, хагас дамжуулагч болон дэвшилтэт судалгааны ажилд ашигладаг өндөр нарийвчлалтай оптик үйлдвэрлэхэд тохиромжтой.

Ион цацраг өнгөлгөөний машины ажиллах зарчим

Ион үүсэх
Инерцийн хий (жишээ нь, аргон) вакуум камерт орж, ионжуулж, плазм үүсгэдэг.

Хурдатгал ба цацраг үүсгэх
Ионуудыг хэдэн зуун эсвэл мянган электрон вольт (eV) хүртэл хурдасгаж, тогтвортой, төвлөрсөн цацрагийн цэг болгон хувиргадаг.

Материалыг зайлуулах
Ионы цацраг нь химийн урвал үүсгэхгүйгээр гадаргуугаас атомуудыг цацдаг.

Алдаа илрүүлэх, зам төлөвлөлт
Гадаргуугийн зургийн хазайлтыг интерферометрээр хэмждэг. Арилгах функцийг ашиглах хугацааг тодорхойлох, багаж хэрэгслийн оновчтой замыг бий болгоход ашигладаг.

Хаалттай давталтын залруулга
RMS/PV нарийвчлалын зорилтод хүрэх хүртэл боловсруулалт ба хэмжилтийн давталтын мөчлөгүүд үргэлжилнэ.

Ион цацраг өнгөлгөөний машины үндсэн шинж чанарууд

Бүх нийтийн гадаргуугийн нийцтэй байдал– Хавтгай, бөмбөрцөг, бөмбөрцөг, чөлөөт хэлбэрийн гадаргууг боловсруулдаг

Хэт тогтвортой арилгах хурд– Дэд нанометрийн дүрсийг засах боломжтой

Гэмтэлгүй боловсруулалт– Газрын хэвлийн доголдол, бүтцийн өөрчлөлт байхгүй

Тогтвортой гүйцэтгэл– Янз бүрийн хатуулагтай материал дээр адилхан сайн ажиллана

Бага/Дунд давтамжийн залруулга– Дунд/өндөр давтамжийн олдвор үүсгэхгүйгээр алдааг арилгана

Засвар үйлчилгээний шаардлага бага– Хамгийн бага сул зогсолттой урт тасралтгүй ажиллагаа

Ион цацраг өнгөлгөөний машины үндсэн техникийн үзүүлэлтүүд

Зүйл	Тодорхойлолт
Боловсруулах арга	Өндөр вакуум орчинд ион цацах
Боловсруулах төрөл	Гадаргууг контактгүй дүрслэх, өнгөлөх
Ажлын хэсгийн хамгийн их хэмжээ	Φ4000 мм
Хөдөлгөөний тэнхлэгүүд	3 тэнхлэг / 5 тэнхлэг
Устгах тогтвортой байдал	≥95%
Гадаргуугийн нарийвчлал	PV < 10 нм; RMS ≤ 0.5 нм (ердийн RMS < 1 нм; PV < 15 нм)
Давтамжийг засах чадвар	Дунд/өндөр давтамжийн алдаа оруулахгүйгээр бага-дунд давтамжийн алдааг арилгана
Тасралтгүй ажиллагаа	Вакуум засвар үйлчилгээгүйгээр 3-5 долоо хоног
Засвар үйлчилгээний зардал	Бага

Ион цацраг өнгөлөх машины боловсруулах чадвар

Дэмжигдсэн гадаргуугийн төрлүүд

Энгийн: Хавтгай, бөмбөрцөг, призм

Цогцолбор: Симметрик/тэгш хэмт бус бөмбөрцөг, тэнхлэгээс гадуурх асфер, цилиндр хэлбэртэй

Тусгай: Хэт нимгэн оптик, налуу оптик, хагас бөмбөрцөг оптик, конформын оптик, фазын хавтан, чөлөөт хэлбэрийн гадаргуу

Дэмждэг материалууд

Оптик шил: кварц, микрокристалл, K9 гэх мэт.

Хэт улаан туяаны материал: Цахиур, германий гэх мэт.

Металл: Хөнгөн цагаан, зэвэрдэггүй ган, титан хайлш гэх мэт.

Кристалууд: YAG, нэг талст цахиурын карбид гэх мэт.

Хатуу/хэврэг материал: Цахиур карбид гэх мэт.

Гадаргуугийн чанар / Нарийвчлал

PV < 10 нм

RMS ≤ 0.5 нм

Ион цацраг өнгөлгөөний машины жишээ судалгааг боловсруулах

Тохиолдол 1 – Стандарт хавтгай толь

Ажлын хэсэг: D630 мм кварц хавтгай

Үр дүн: PV 46.4 нм; RMS 4.63 нм

Тохиолдол 2 – Рентген цацруулагч толь

Ажлын хэсэг: 150 × 30 мм цахиур хавтгай

Үр дүн: PV 8.3 нм; RMS 0.379 нм; Налуу 0.13 мкрад

Тохиолдол 3 – Тэнхлэгээс гадуурх толь

Ажлын хэсэг: D326 мм-ийн тэнхлэгээс гадуур газрын толь

Үр дүн: PV 35.9 нм; RMS 3.9 нм

Кварц шилний тухай түгээмэл асуултууд

FAQ – Ион цацраг өнгөлөх машин

Асуулт 1: Ионы цацраг өнгөлгөө гэж юу вэ?
А1:Ионы цацраг өнгөлгөө нь ажлын хэсгийн гадаргуугаас материалыг зайлуулахын тулд төвлөрсөн ион (аргон ион гэх мэт) цацрагийг ашигладаг контактгүй процесс юм. Ионууд хурдасч, гадаргуу руу чиглүүлж, атомын түвшний материалыг зайлуулж, хэт гөлгөр өнгөлгөөг бий болгодог. Энэ процесс нь механик стресс, гүний эвдрэлийг арилгадаг бөгөөд энэ нь нарийн оптик бүрэлдэхүүн хэсгүүдэд тохиромжтой.

Асуулт 2: Ион цацраг өнгөлөх машин ямар төрлийн гадаргууг боловсруулж чадах вэ?
А2:TheИон цацраг өнгөлөх машинзэрэг энгийн оптик бүрэлдэхүүн хэсгүүдийг багтаасан төрөл бүрийн гадаргууг боловсруулах боломжтойхавтгай, бөмбөрцөг, призм, түүнчлэн нарийн төвөгтэй геометрүүд гэх мэтасфер, тэнхлэгээс гадуурх асфер, бачөлөөт хэлбэрийн гадаргуу. Энэ нь ялангуяа оптик шил, хэт улаан туяаны оптик, металл, хатуу/хэврэг материал зэрэг материалд үр дүнтэй байдаг.

Асуулт 3: Ион цацраг өнгөлөх машин ямар материалаар ажиллах боломжтой вэ?
А3:TheИон цацраг өнгөлөх машинөргөн хүрээний материалыг өнгөлж болно, үүнд:

Оптик шил: Кварц, микрокристалл, K9 гэх мэт.
Хэт улаан туяаны материал: Цахиур, германий гэх мэт.
Металл: Хөнгөн цагаан, зэвэрдэггүй ган, титан хайлш гэх мэт.
Кристал материал: YAG, нэг талст цахиурын карбид гэх мэт.
Бусад хатуу/хэврэг материал: Цахиурын карбид гэх мэт.

Бидний тухай

XKH нь тусгай оптик шил, шинэ болор материалын өндөр технологийн хөгжил, үйлдвэрлэл, борлуулалтаар мэргэшсэн. Манай бүтээгдэхүүнүүд оптик электроник, хэрэглээний цахилгаан хэрэгсэл, цэрэг арми зэрэгт үйлчилдэг. Бид Sapphire оптик эд анги, гар утасны линзний бүрээс, керамик, LT, цахиурын карбид SIC, кварц, хагас дамжуулагч болор хавтан зэргийг санал болгож байна. Чадварлаг туршлага, хамгийн сүүлийн үеийн тоног төхөөрөмжөөр бид стандарт бус бүтээгдэхүүн боловсруулах чиглэлээр тэргүүлж, оптоэлектроник материалын өндөр технологийн тэргүүлэх үйлдвэр байхыг зорьж байна.