FZ CZ Si вафли нь 12 инчийн цахиурын вафли Prime эсвэл Test-д бэлэн байна
Вафли хайрцагны танилцуулга
Өнгөлсөн вафли
Толин гадаргуутай болгохын тулд хоёр талаас нь тусгайлан өнгөлсөн цахиурын вафли. Цэвэр байдал, тэгш байдал зэрэг давуу талууд нь энэхүү вафлийн хамгийн сайн шинж чанарыг тодорхойлдог.
Холигдоогүй цахиурын вафли
Тэдгээрийг мөн дотоод цахиурын вафли гэж нэрлэдэг. Энэхүү хагас дамжуулагч нь вафлины туршид ямар ч хольцгүй цэвэр талст хэлбэртэй цахиур тул төгс бөгөөд төгс хагас дамжуулагч болгодог.
Холигчтой цахиурын вафли
N-type болон P-type нь хоёр төрлийн хольцтой цахиурын вафли юм.
N хэлбэрийн хольцтой цахиурын вафли нь хүнцэл эсвэл фосфор агуулдаг. Үүнийг дэвшилтэт CMOS төхөөрөмж үйлдвэрлэхэд өргөн ашигладаг.
Бор агуулсан P хэлбэрийн цахиурын вафли. Ихэвчлэн хэвлэмэл хэлхээ эсвэл фотолитограф хийхэд ашигладаг.
Эпитаксиал вафли
Эпитаксиал вафли нь гадаргуугийн бүрэн бүтэн байдлыг олж авахад ашигладаг уламжлалт вафли юм. Эпитаксиал вафли нь зузаан, нимгэн вафли хэлбэрээр байдаг.
Олон давхаргат эпитаксиаль вафли болон зузаан эпитаксиаль вафлигуудыг төхөөрөмжүүдийн эрчим хүчний хэрэглээ болон эрчим хүчний хяналтыг зохицуулахад ашигладаг.
Нимгэн эпитаксиаль ваферуудыг дээд зэргийн MOS багаж хэрэгсэлд түгээмэл ашигладаг.
SOI вафли
Эдгээр хавтангуудыг цахиурын хавтангаас бүхэлд нь дан талст цахиурын нарийн давхаргыг цахилгаанаар тусгаарлахад ашигладаг. SOI хавтангуудыг цахиурын фотоник болон өндөр хүчин чадалтай RF хэрэглээнд түгээмэл ашигладаг. SOI хавтангуудыг мөн микроэлектроник төхөөрөмжүүдийн паразит төхөөрөмжийн багтаамжийг бууруулахад ашигладаг бөгөөд энэ нь гүйцэтгэлийг сайжруулахад тусалдаг.
Ванил хавтанг үйлдвэрлэхэд яагаад хэцүү байдаг вэ?
12 инчийн цахиурын вафли нь гарцын хувьд зүсэхэд маш хэцүү байдаг. Цахиур нь хатуу боловч хэврэг байдаг. Хөрмөсөн вафлины ирмэгүүд хугарах хандлагатай байдаг тул барзгар хэсгүүд үүсдэг. Вафлины ирмэгийг тэгшлэх, аливаа эвдрэлийг арилгахын тулд алмазан дискийг ашигладаг. Зүссэний дараа вафли нь одоо хурц ирмэгтэй болсон тул амархан хугардаг. Вафлины ирмэг нь эмзэг, хурц ирмэгийг арилгаж, гулсах магадлалыг багасгах байдлаар хийгдсэн байдаг. Ирмэг үүсгэх үйл ажиллагааны үр дүнд вафлины диаметрийг тохируулж, вафлиг бөөрөнхийлдөг (зүссэний дараа зүсэгдсэн вафли нь зууван хэлбэртэй болдог), мөн ховил эсвэл чиглэлтэй хавтгай хийдэг эсвэл хэмжээтэй болгодог.
Дэлгэрэнгүй диаграмм





