FZ CZ Si 12 инчийн Silicon өрмөнцөр Prime буюу Туршилтанд байна

FZ CZ Si вафер 12 инчийн цахиур хавтан Prime буюу Туршилтын онцлох зураг

Богино тайлбар:

12 инчийн цахиур хавтан нь цахим хэрэглээ болон нэгдсэн хэлхээнд ашиглагддаг нимгэн хагас дамжуулагч материал юм. Цахиур хавтан нь компьютер, зурагт, гар утас зэрэг нийтлэг электрон бүтээгдэхүүний маш чухал бүрэлдэхүүн хэсэг юм. Янз бүрийн төрлийн вафель байдаг бөгөөд тус бүр өөрийн гэсэн онцлог шинж чанартай байдаг. Тодорхой төсөлд хамгийн тохиромжтой цахиур хавтанцарыг ойлгохын тулд бид янз бүрийн төрлийн ялтсууд болон тэдгээрийн тохиромжтой байдлыг ойлгох хэрэгтэй.

Бидэн рүү имэйл илгээнэ үү

Бүтээгдэхүүний дэлгэрэнгүй

Бүтээгдэхүүний шошго

Өрөөний хайрцгийн танилцуулга

Өнгөлсөн вафель

Толин тусгал гадаргууг олж авахын тулд хоёр талдаа тусгайлан өнгөлсөн цахиур хавтан. Цэвэрлэгээ, тэгш байдал зэрэг дээд зэргийн шинж чанарууд нь энэхүү вафельний хамгийн сайн шинж чанарыг тодорхойлдог.

Нэмэлтгүй цахиурын вафель

Тэдгээрийг мөн дотоод цахиур хавтан гэж нэрлэдэг. Энэхүү хагас дамжуулагч нь вафельд ямар ч нэмэлт бодис агуулаагүй цэвэр талст хэлбэрийн цахиур тул түүнийг хамгийн тохиромжтой, төгс хагас дамжуулагч болгодог.

Доптой цахиурын вафель

N-type ба P-type нь хоёр төрлийн доптой цахиур ялтсууд юм.

N төрлийн нэмэлттэй цахиур хавтан нь хүнцэл эсвэл фосфор агуулдаг. Энэ нь дэвшилтэт CMOS төхөөрөмжүүдийг үйлдвэрлэхэд өргөн хэрэглэгддэг.

Борын хольцтой P төрлийн цахиур хавтан. Ихэнхдээ энэ нь хэвлэмэл хэлхээ эсвэл фотолитограф хийхэд ашиглагддаг.

Эпитаксиаль хавтан

Эпитаксиаль хавтангууд нь гадаргуугийн бүрэн бүтэн байдлыг олж авахад ашигладаг ердийн хавтан юм. Эпитаксиаль хавтан нь зузаан, нимгэн ялтсан хэлбэртэй байдаг.

Олон давхаргат эпитаксиаль хавтан ба зузаан эпитаксиаль хавтангуудыг мөн төхөөрөмжийн эрчим хүчний хэрэглээ, тэжээлийн хяналтыг зохицуулахад ашигладаг.

Нимгэн эпитаксиаль ялтсуудыг ихэвчлэн дээд зэргийн MOS хэрэгсэлд ашигладаг.

SOI Wafers

Эдгээр хавтанцар нь нэг талст цахиурын нарийн давхаргыг бүхэлд нь цахиурын хавтангаас цахилгаанаар тусгаарлахад хэрэглэгддэг. SOI хавтанцар нь цахиурын фотоник болон өндөр гүйцэтгэлтэй RF-ийн хэрэглээнд ихэвчлэн ашиглагддаг. SOI хавтанцарыг микроэлектроник төхөөрөмжүүдийн шимэгчийн төхөөрөмжийн багтаамжийг багасгахад ашигладаг бөгөөд энэ нь гүйцэтгэлийг сайжруулахад тусалдаг.

Өргөст цаас үйлдвэрлэхэд яагаад хэцүү байдаг вэ?

12 инчийн цахиур хавтан нь гарцын хувьд зүсэхэд маш хэцүү байдаг. Цахиур нь хатуу боловч хэврэг байдаг. Хөрөөдсөн зүсмэлийн ирмэгүүд эвдрэх хандлагатай байдаг тул барзгар хэсгүүд үүсдэг. Алмазан дискүүд нь өрөвсний ирмэгийг тэгшлэх, гэмтлийг арилгахад ашиглагддаг. Зүссэний дараа вафель нь хурц ирмэгтэй болсон тул амархан хугардаг. Өргөст цаасны ирмэг нь хэврэг, хурц ирмэгийг арилгах, гулсах магадлалыг бууруулах байдлаар хийгдсэн. Ирмэгийг бүрдүүлэх үйл ажиллагааны үр дүнд вафельны диаметрийг тохируулж, өрөмийг бөөрөнхийлж (хэрчсэний дараа зүссэн зүсмэл нь зууван хэлбэртэй), ховил эсвэл чиглэсэн хавтгайг хийж эсвэл хэмжээстэй болгодог.