4 инчийн хагас зэврэлттэй SiC вафли HPSI SiC суурьтай үндсэн үйлдвэрлэлийн зэрэг
Бүтээгдэхүүний тодорхойлолт
Цахиурын карбид (SiC) нь нүүрстөрөгч болон цахиурын элементүүдээс бүрдсэн нийлмэл хагас дамжуулагч материал бөгөөд өндөр температурт, өндөр давтамжтай, өндөр хүчин чадалтай, өндөр хүчдэлийн төхөөрөмж хийхэд тохиромжтой материалуудын нэг юм. Уламжлалт цахиурын материал (Si)-тай харьцуулахад цахиурын карбидын хориглосон зурвасын өргөн нь цахиурынхаас гурав дахин, дулаан дамжуулалт нь цахиурынхаас 4-5 дахин, эвдрэлийн хүчдэл нь цахиурынхаас 8-10 дахин, электрон ханалтын зөрүүний хурд нь цахиурынхаас 2-3 дахин их бөгөөд энэ нь орчин үеийн салбарын өндөр хүчин чадалтай, өндөр хүчдэлтэй, өндөр давтамжийн хэрэгцээг хангаж байгаа бөгөөд голчлон өндөр хурдтай, өндөр давтамжтай, өндөр хүчин чадалтай, гэрэл ялгаруулдаг электрон эд анги үйлдвэрлэхэд ашиглагддаг бөгөөд түүний хэрэглээний чиглэлд ухаалаг сүлжээ, шинэ эрчим хүчний тээврийн хэрэгсэл, фотоэлектрик салхин эрчим хүч, 5G холбоо гэх мэт орно. Цахилгаан төхөөрөмжийн салбарт цахиурын карбидын диод болон MOSFET-ийг арилжааны зорилгоор ашиглаж эхэлсэн.
SiC вафли/SiC субстратын давуу талууд
Өндөр температурт тэсвэртэй байдал. Цахиурын карбидын хориглосон зурвасын өргөн нь цахиурынхаас 2-3 дахин их тул электронууд өндөр температурт үсрэх магадлал багатай бөгөөд өндөр ажиллагааны температурыг тэсвэрлэх чадвартай бөгөөд цахиурын карбидын дулаан дамжуулалт нь цахиурынхаас 4-5 дахин их тул төхөөрөмжөөс дулааныг ялгаруулж, өндөр хязгаарлагдмал ажиллагааны температурыг бий болгох боломжийг олгодог. Өндөр температурын шинж чанарууд нь чадлын нягтралыг мэдэгдэхүйц нэмэгдүүлэхийн зэрэгцээ дулаан сарниулах системийн шаардлагыг бууруулж, терминалыг илүү хөнгөн, жижигрүүлсэн болгодог.
Өндөр хүчдэлийн эсэргүүцэл. Цахиурын карбидын задралын талбайн хүч нь цахиурынхаас 10 дахин их тул өндөр хүчдэлийг тэсвэрлэх боломжийг олгодог тул өндөр хүчдэлийн төхөөрөмжүүдэд илүү тохиромжтой.
Өндөр давтамжийн эсэргүүцэл. Цахиурын карбид нь цахиураас хоёр дахин их ханалтын электроны шилжилтийн хурдтай тул төхөөрөмж унтрах процесст одоогийн чирэлтийн үзэгдэл байхгүй бөгөөд төхөөрөмжийн шилжих давтамжийг үр дүнтэй сайжруулж, төхөөрөмжийн жижигрүүлэлтийг бий болгодог.
Эрчим хүчний алдагдал бага. Цахиурын карбид нь цахиурын материалтай харьцуулахад маш бага эсэргүүцэлтэй, дамжуулалтын алдагдал багатай; үүний зэрэгцээ цахиурын карбидын өндөр зурвасын өргөн нь алдагдлын гүйдэл, цахилгаан алдагдлыг мэдэгдэхүйц бууруулдаг; үүнээс гадна цахиурын карбидын төхөөрөмж унтрах явцад гүйдлийн чирэлтийн үзэгдэл байдаггүй бөгөөд шилжих алдагдал бага байдаг.
Дэлгэрэнгүй диаграмм
