4H-N/6H-N SiC вафлийн дахин судалгааны үйлдвэрлэл Хуурамч зэрэглэлийн диаметр 150мм цахиурын карбидын суурь

Товч тайлбар:

Бид өндөр температурт хэт дамжуулагч нимгэн хальсан суурь, соронзон нимгэн хальс болон ферроэлектрик нимгэн хальсан суурь, хагас дамжуулагч болор, оптик болор, лазер болор материалаар хангахын зэрэгцээ чиглүүлэх, болор зүсэх, нунтаглах, өнгөлөх болон бусад боловсруулалтын үйлчилгээг үзүүлэх боломжтой. Манай SiC суурь нь Хятадын Tankeblue үйлдвэрээс гаралтай.


Онцлог шинж чанарууд

6 инчийн диаметртэй цахиурын карбид (SiC) субстратын үзүүлэлт

Зэрэг

Тэг MPD

Үйлдвэрлэл

Судалгааны зэрэг

Хуурамч зэрэглэл

Диаметр

150.0мм±0.25мм

Зузаан

4H-N

350мм±25мм

4H-SI

500мм±25мм

Ваферын чиглэл

Тэнхлэг дээр: <0001> 4H-SI-ийн хувьд ±0.5°
Тэнхлэгээс гадуур: 4H-N-ийн хувьд <1120>±0.5° чиглэлд 4.0°

Үндсэн орон сууц

{10-10}±5.0°

Анхдагч хавтгай урт

47.5мм±2.5мм

Ирмэгийн хасалт

3мм

TTV/Bow/Warp

≤15мм/≤40мм/≤60мм

Микро хоолойн нягтрал

≤1см-2

≤5см-2

≤15см-2

≤50см-2

Эсэргүүцэл 4H-N 4H-SI

0.015~0.028Ω!см

≥1E5Ω!см

Барзгар байдал

Польшийн Ra ≤1nm CMP Ra≤0.5nm

#Өндөр эрчимтэй гэрлийн нөлөөгөөр хагарал үүсдэг

Байхгүй

1 зөвшөөрөгдсөн, ≤2мм

Хуримтлагдсан урт ≤10мм, дан урт ≤2мм

*Өндөр эрчимтэй гэрлээр зургаан өнцөгт хавтангууд

Хуримтлагдсан талбай ≤1%

Хуримтлагдсан талбай ≤ 2%

Хуримтлагдсан талбай ≤ 5%

*Өндөр эрчимтэй гэрлээр политипийн хэсгүүд

Байхгүй

Хуримтлагдсан талбай ≤ 2%

Хуримтлагдсан талбай ≤ 5%

*&Өндөр эрчимтэй гэрлийн нөлөөгөөр зурагдана

1 x вафлийн диаметрийн хуримтлагдсан урт хүртэл 3 зураас

1 x вафлийн диаметрийн хуримтлагдсан урт хүртэл 5 зураас

1 x вафлийн диаметрийн хуримтлагдсан урт хүртэл 5 зураас

Ирмэгийн чип

Байхгүй

3 зөвшөөрөгдсөн, тус бүр ≤0.5мм

5 зөвшөөрөгдсөн, тус бүр ≤1мм

Өндөр эрчимтэй гэрлийн бохирдол

Байхгүй

Борлуулалт ба Харилцагчийн үйлчилгээ

Материал худалдан авах

Материал худалдан авах хэлтэс нь танай бүтээгдэхүүнийг үйлдвэрлэхэд шаардлагатай бүх түүхий эдийг цуглуулах үүрэгтэй. Химийн болон физик шинжилгээ зэрэг бүх бүтээгдэхүүн, материалын бүрэн хяналт шалгалт үргэлж бэлэн байдаг.

Чанар

Бүтээгдэхүүнийг үйлдвэрлэх эсвэл боловсруулах явцад болон дараа нь чанарын хяналтын хэлтэс нь бүх материал болон хүлцэл нь таны техникийн шаардлагад нийцэж байгаа эсэхийг баталгаажуулахад оролцдог.

Үйлчилгээ

Бид хагас дамжуулагчийн салбарт 5-аас дээш жилийн туршлагатай борлуулалтын инженерийн ажилтнуудтайгаараа бахархдаг. Тэд техникийн асуултанд хариулахаас гадна таны хэрэгцээнд тохирсон үнийн саналыг цаг тухайд нь өгөх сургалтанд хамрагдсан.

Танд асуудал гарсан үед бид таны хажууд байх бөгөөд 10 цагийн дотор шийдвэрлэх болно.

Дэлгэрэнгүй диаграмм

Цахиурын карбидын суурь (1)
Цахиурын карбидын суурь (2)

  • Өмнөх:
  • Дараагийнх нь:

  • Зурвасаа энд бичээд бидэнд илгээнэ үү