4H-N/6H-N SiC вафлийн дахин судалгааны үйлдвэрлэл Хуурамч зэрэглэлийн диаметр 150мм цахиурын карбидын суурь
6 инчийн диаметртэй цахиурын карбид (SiC) субстратын үзүүлэлт
| Зэрэг | Тэг MPD | Үйлдвэрлэл | Судалгааны зэрэг | Хуурамч зэрэглэл |
| Диаметр | 150.0мм±0.25мм | |||
| Зузаан | 4H-N | 350мм±25мм | ||
| 4H-SI | 500мм±25мм | |||
| Ваферын чиглэл | Тэнхлэг дээр: <0001> 4H-SI-ийн хувьд ±0.5° | |||
| Үндсэн орон сууц | {10-10}±5.0° | |||
| Анхдагч хавтгай урт | 47.5мм±2.5мм | |||
| Ирмэгийн хасалт | 3мм | |||
| TTV/Bow/Warp | ≤15мм/≤40мм/≤60мм | |||
| Микро хоолойн нягтрал | ≤1см-2 | ≤5см-2 | ≤15см-2 | ≤50см-2 |
| Эсэргүүцэл 4H-N 4H-SI | 0.015~0.028Ω!см | |||
| ≥1E5Ω!см | ||||
| Барзгар байдал | Польшийн Ra ≤1nm CMP Ra≤0.5nm | |||
| #Өндөр эрчимтэй гэрлийн нөлөөгөөр хагарал үүсдэг | Байхгүй | 1 зөвшөөрөгдсөн, ≤2мм | Хуримтлагдсан урт ≤10мм, дан урт ≤2мм | |
| *Өндөр эрчимтэй гэрлээр зургаан өнцөгт хавтангууд | Хуримтлагдсан талбай ≤1% | Хуримтлагдсан талбай ≤ 2% | Хуримтлагдсан талбай ≤ 5% | |
| *Өндөр эрчимтэй гэрлээр политипийн хэсгүүд | Байхгүй | Хуримтлагдсан талбай ≤ 2% | Хуримтлагдсан талбай ≤ 5% | |
| *&Өндөр эрчимтэй гэрлийн нөлөөгөөр зурагдана | 1 x вафлийн диаметрийн хуримтлагдсан урт хүртэл 3 зураас | 1 x вафлийн диаметрийн хуримтлагдсан урт хүртэл 5 зураас | 1 x вафлийн диаметрийн хуримтлагдсан урт хүртэл 5 зураас | |
| Ирмэгийн чип | Байхгүй | 3 зөвшөөрөгдсөн, тус бүр ≤0.5мм | 5 зөвшөөрөгдсөн, тус бүр ≤1мм | |
| Өндөр эрчимтэй гэрлийн бохирдол | Байхгүй
| |||
Борлуулалт ба Харилцагчийн үйлчилгээ
Материал худалдан авах
Материал худалдан авах хэлтэс нь танай бүтээгдэхүүнийг үйлдвэрлэхэд шаардлагатай бүх түүхий эдийг цуглуулах үүрэгтэй. Химийн болон физик шинжилгээ зэрэг бүх бүтээгдэхүүн, материалын бүрэн хяналт шалгалт үргэлж бэлэн байдаг.
Чанар
Бүтээгдэхүүнийг үйлдвэрлэх эсвэл боловсруулах явцад болон дараа нь чанарын хяналтын хэлтэс нь бүх материал болон хүлцэл нь таны техникийн шаардлагад нийцэж байгаа эсэхийг баталгаажуулахад оролцдог.
Үйлчилгээ
Бид хагас дамжуулагчийн салбарт 5-аас дээш жилийн туршлагатай борлуулалтын инженерийн ажилтнуудтайгаараа бахархдаг. Тэд техникийн асуултанд хариулахаас гадна таны хэрэгцээнд тохирсон үнийн саналыг цаг тухайд нь өгөх сургалтанд хамрагдсан.
Танд асуудал гарсан үед бид таны хажууд байх бөгөөд 10 цагийн дотор шийдвэрлэх болно.



