4H-N/6H-N SiC Wafer Reasearch үйлдвэрлэл Дамми зэрэглэлийн Dia150mm Цахиурын карбидын субстрат

Богино тайлбар:

Бид өндөр температурт хэт дамжуулагч нимгэн хальсан дэвсгэр, соронзон нимгэн хальс ба төмөр цахилгаан нимгэн хальсан дэвсгэр, хагас дамжуулагч болор, оптик болор, лазер болор материалаар хангаж, нэгэн зэрэг чиг баримжаа олгох, болор хайчлах, нунтаглах, өнгөлөх болон бусад боловсруулалтын үйлчилгээг үзүүлэх боломжтой. Манай SiC субстратыг Хятад дахь Tankeblue үйлдвэрээс гаргаж авдаг.

Бидэн рүү имэйл илгээнэ үү

Бүтээгдэхүүний дэлгэрэнгүй

Бүтээгдэхүүний шошго

6 инчийн диаметртэй цахиурын карбидын (SiC) субстратын үзүүлэлт

Зэрэг	Тэг MPD	Үйлдвэрлэл	Судалгааны зэрэг	Дамми зэрэглэл
Диаметр	150.0мм±0.25мм
Зузаан	4H-N	350um±25um
	4H-SI	500um±25um
Ваферын чиг баримжаа	Тэнхлэг дээр:<0001>4H-SI-ийн хувьд ±0.5° Унтраах тэнхлэг: 4H-N-ийн хувьд 4.0°<1120>±0.5°
Анхдагч байр	{10-10}±5.0°
Үндсэн хавтгай урт	47.5мм±2.5мм
Ирмэгийг хасах	3мм
TTV/Num/Warp	≤15um/≤40um/≤60um
Микро хоолойн нягтрал	≤1см-2	≤5см-2	≤15см-2	≤50см-2
Эсэргүүцэл 4H-N 4H-SI	0.015~0.028Ω!см
	≥1E5Ω!см
Барзгар байдал	Польшийн Ra ≤1nm CMP Ra≤0.5nm
#Өндөр эрчимтэй гэрлээр хагарах	Байхгүй		1 зөвшөөрөгдсөн ≤2мм	Хуримтлагдсан урт ≤10мм, нэг урт≤2мм
*Өндөр эрчимтэй гэрлээр зургаан өнцөгт хавтангууд	Хуримтлагдсан талбай ≤1%		Хуримтлагдсан талбай ≤ 2%	Хуримтлагдсан талбай ≤ 5%
*Өндөр эрчимтэй гэрлээр политип талбайнууд	Байхгүй		Хуримтлагдсан талбай ≤ 2%	Хуримтлагдсан талбай ≤ 5%
*&Өндөр эрчимтэй гэрэлд зураас	1 х өрмөнцөрийн диаметрийн хуримтлагдсан урт хүртэл 3 зураас		5 зураас 1 х өрмөнцөр диаметр хуримтлагдсан урт	5 зураас 1 х өрмөнцөр диаметр хуримтлагдсан урт
Ирмэгийн чип	Байхгүй		3 зөвшөөрөгдөх, ≤0.5мм тус бүр	5 зөвшөөрөгдөх, ≤1мм тус бүр
Өндөр эрчимтэй гэрлээр бохирдох	Байхгүй

Борлуулалт ба хэрэглэгчийн үйлчилгээ

Материалын худалдан авалт

Материал худалдан авах хэлтэс нь таны бүтээгдэхүүнийг үйлдвэрлэхэд шаардлагатай бүх түүхий эдийг цуглуулах үүрэгтэй. Бүх бүтээгдэхүүн, материал, түүний дотор химийн болон физикийн шинжилгээг бүрэн хянах боломжтой.

Чанартай

Таны бүтээгдэхүүнийг үйлдвэрлэх, боловсруулах явцад болон дараа нь чанарын хяналтын хэлтэс нь бүх материал, хүлцэл нь таны техникийн шаардлагад нийцэж байгаа эсэхийг шалгахад оролцдог.

Үйлчилгээ

Бид хагас дамжуулагчийн салбарт 5-аас дээш жил ажилласан борлуулалтын инженерийн ажилтнуудтай гэдгээрээ бахархдаг. Тэд техникийн асуултуудад хариулах, мөн таны хэрэгцээнд тохирсон үнийн саналыг цаг тухайд нь өгөхөөр бэлтгэгдсэн.

Бид танд ямар ч асуудал тулгарсан үед таны талд байж, 10 цагийн дотор шийдвэрлэх болно.