C-Plane DSP TTV зөөгчинд зориулсан 156мм 159мм 6 инчийн Sapphire Wafer

C-Plane DSP TTV зөөгчинд зориулсан 156мм 159мм 6 инчийн индранил өнгийн вафер Онцлох зураг

Товч тайлбар:

156мм/159мм диаметртэй, 6″ Al2O3 хоёр талт өнгөлсөн (DSP) индранил хавтангууд нь зөөгч хавтангуудад зориулсан 3 микроноос бага TTV хэмжээтэй. Нэмэлт 8″ / 6″ / 5″ / 2″ / 3″ / 4″ / 5″ C тэнхлэг, А тэнхлэг, R тэнхлэг, M тэнхлэгийн вафлиуд. 6 инч (6″/6 инч) хүртэл диаметртэй, нэг талт өнгөлсөн (SSP) эсвэл хоёр талт өнгөлсөн (DSP) гадаргуутай, 650 микрон эсвэл 1000 микрон зузаантай C хавтгай индранил хавтангууд.

Бидэнд имэйл илгээх

Онцлог шинж чанарууд

Тодорхойлолт

Зүйл	6 инчийн C хэлбэрийн хавтгай (0001) Саффир вафли
Кристал материалууд	99,999%, Өндөр цэвэршилттэй, Монокристалл Al2O3
Зэрэг	Прайм, Эпи-Рейди
Гадаргуугийн чиглэл	C-хавтгай (0001)
	С хавтгай нь М тэнхлэг рүү чиглэсэн өнцөг 0.2 +/- 0.1° байна
Диаметр	100.0 мм +/- 0.1 мм
Зузаан	650 мкм +/- 25 мкм
Анхдагч Хавтгай Чиглэл	C-хавтгай(00-01) +/- 0.2°
Нэг талын өнгөлгөөтэй	Урд гадаргуу	Эпи-өнгөлсөн, Ra < 0.2 нм (AFM-ээр)
(SSP)	Арын гадаргуу	Нарийн өнгөлгөө, Ra = 0.8 μm - 1.2 μm
Давхар тал өнгөлсөн	Урд гадаргуу	Эпи-өнгөлсөн, Ra < 0.2 нм (AFM-ээр)
(DSP)	Арын гадаргуу	Эпи-өнгөлсөн, Ra < 0.2 нм (AFM-ээр)
TTV	< 20 мкм
БУМ	< 20 мкм
WARP	< 20 мкм
Цэвэрлэгээ / Сав баглаа боодол	100-р зэрэглэлийн цэвэр өрөөний цэвэрлэгээ болон вакуум сав баглаа боодол,
	Нэг кассет савлагаанд эсвэл нэг ширхэг савлагаанд 25 ширхэг.

Килопулос аргыг (KY арга) одоогоор Хятадын олон компани электроник болон оптикийн салбарт ашиглах индранил талст үйлдвэрлэхэд ашиглаж байна.

Энэ процесст өндөр цэвэршилттэй хөнгөн цагааны ислийг 2100 хэмээс дээш температурт тигельд хайлуулдаг. Ихэвчлэн тигель нь вольфрам эсвэл молибденээр хийгдсэн байдаг. Нарийн чиглэсэн үрийн талстыг хайлсан хөнгөн цагааны исэлд дүрдэг. Үрийн талстыг аажмаар дээш татаж, нэгэн зэрэг эргүүлж болно. Температурын градиент, татах хурд болон хөргөлтийн хурдыг нарийн хянаснаар хайлмалаас том, дан талст, бараг цилиндр хэлбэртэй гулдмай гаргаж авах боломжтой.

Ганц талст индранил гулдмайг ургуулсны дараа тэдгээрийг цилиндр хэлбэртэй саваа болгон өрөмдөж, хүссэн цонхны зузаан хүртэл зүсэж, эцэст нь хүссэн гадаргуугийн өнгөлгөө хүртэл өнгөлдөг.