Хэт нарийвчлалтай SiC агааржуулагч шат

Хэт нарийвчлалтай SiC агааржуулагчтай шат Онцлох зураг

Товч тайлбар:

Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн тасралтгүй хувьсал өөрчлөлтийн хамт боловсруулах болон шалгах тоног төхөөрөмж улам бүр өндөр гүйцэтгэл шаарддаг. Хөдөлгөөнийг хянах болон нанометрийн түвшний байршлын чиглэлээр өргөн хүрээтэй туршлага дээрээ үндэслэн бид хавтгай H хэлбэрийн хос тэнхлэгтэй хэт нарийвчлалтай агаарын тулгууртай үе шатыг боловсруулсан.

Бидэнд имэйл илгээх

Онцлог шинж чанарууд

Дэлгэрэнгүй диаграмм

Тойм

Хязгаарлагдмал элементээр оновчтой болгосон цахиурын карбид (SiC) керамик бүтэц болон нөхөн олговортой агаар нэвтрүүлэх технологиор бүтээгдсэн энэхүү тайз нь гайхалтай нарийвчлал, хатуулаг, динамик хариу үйлдлийг хангадаг. Энэ нь дараах зүйлсэд тохиромжтой:

Хагас дамжуулагч боловсруулалт ба үзлэг
Микро/нано үйлдвэрлэл ба хэмжил зүй
Нанометрийн масштабтай хайчлах болон өнгөлөх
Өндөр хурдны нарийвчлалтай сканнердах

Гол онцлогууд

SiC агаар агуулсан чиглүүлэгч замхэт өндөр хатуулаг болон нарийвчлалын хувьд
Өндөр динамик: хурд нь 1 м/с хүртэл, хурдатгал нь 4 г хүртэл, хурдан тунах
Хос хөтлөгчтэй Y тэнхлэгтэй гантриөндөр ачааллын багтаамж болон тогтвортой байдлыг хангадаг
Кодлогчийн сонголтуудоптик тор эсвэл лазер интерферометр
Байршлын нарийвчлал: ±0.15 μм;давтагдах чадвар: ±75 нм
Кабелийн чиглүүлэлтийг оновчтой болгосонцэвэр дизайн болон урт хугацааны найдвартай байдлын төлөө
Тохируулж болох тохиргоонуудпрограмын онцлог хэрэгцээнд зориулагдсан

Хэт нарийвчлалтай дизайн ба шууд хөтлөгчтэй, холбоо барихгүй архитектур

SiC керамик хүрээХөнгөн цагааны хайлшийн хатуулаг ~5 дахин, дулааны тэлэлт ~5 дахин багассан нь өндөр хурдны тогтвортой байдал болон дулааны бат бөх чанарыг хангана.
Нөхөн олговрын агааржуулагчӨмчийн хийц нь хатуулаг, ачааллын багтаамж болон хөдөлгөөний тогтвортой байдлыг нэмэгдүүлдэг.
Динамик гүйцэтгэл: Өндөр хүчин чадалтай процессуудад тохиромжтой, 1 м/с хурд болон 4 г хурдатгалыг дэмждэг.
Саадгүй интеграциЧичиргээ тусгаарлах систем, эргэлдэгч шат, хазайлтын модуль, вафли харьцах тавцантай нийцтэй.
Кабелийн менежмент: Хяналттай нугаралтын радиус нь ачааллыг багасгаж, ашиглалтын хугацааг уртасгадаг.

Цөмгүй шугаман мотор: Тэг араатай хүчгүйгээр жигд хөдөлгөөн.
Олон хөдөлгүүртэй хөтлөгчАчааллын хавтгайн моторын байрлал нь шулуун байдал, тэгш байдал болон өнцгийн нарийвчлалыг сайжруулдаг.
Дулаан тусгаарлалтМоторууд нь тайзны бүтцээс тусгаарлагдсан; өндөр ачааллын циклд зориулсан агаар эсвэл усан хөргөлтийг сонгох боломжтой.

Үзүүлэлтүүд

Загвар	400-400	500-500	600-600
Тэнхлэгүүд	X (скан) / Y (алхам)	X (скан) / Y (алхам)	X (скан) / Y (алхам)
Аялал (мм)	400 / 400	500 / 500	600 / 600
Нарийвчлал (μм)	±0.15	±0.2	±0.2
Давтагдах чадвар (нм)	±75	±100	±100
Нарийвчлал (нм)	0.3	0.3	0.3
Хамгийн их хурд (м/с)	1	1	1
Хурдатгал (g)	4	4	4
Шулуун байдал (μм)	±0.2	±0.3	±0.4
Тогтвортой байдал (нм)	±5	±5	±5
Хамгийн их ачаалал (кг)	20	20	20
Өнхрөх/Өнхрөх/Хазайлт (нуман-секунд)	±1	±1	±1

Туршилтын нөхцөл:

Агаарын хангамж: цэвэр, хуурай; шүүдрийн цэг ≤ 0°F; бөөмсийн шүүлтүүр ≤ 0.25 μм; эсвэл 99.99% азот.
Нарийвчлалыг 20±1 °C температурт, 40–60% чийгшилтэй үед төвөөс дээш 25 мм-ийн өндөрт хэмжсэн.

Аппликейшнүүд

Хагас дамжуулагч литографи, үзлэг, вафлитай харьцах
Микро/нано үйлдвэрлэл ба нарийвчлалын хэмжил зүй
Өндөр зэрэглэлийн оптик үйлдвэрлэл ба интерферометр
Агаарын орон зай болон дэвшилтэт шинжлэх ухааны судалгаа

Түгээмэл асуултууд – Цахиурын карбидын агааржуулагч шат

1. Агаар агуулсан шат гэж юу вэ?

Агаар агуулсан шат нь шат болон чиглүүлэгч замын хооронд даралттай агаарын нимгэн хальсыг ашигладагҮрэлтгүй, элэгдэлгүй, хэт жигд хөдөлгөөнтэйУламжлалт механик холхивчоос ялгаатай нь энэ нь гулсахаас сэргийлж, нанометрийн түвшний нарийвчлалыг хангаж, урт хугацааны найдвартай байдлыг дэмждэг.

2. Яагаад тайзны бүтцэд цахиурын карбид (SiC) ашиглах ёстой вэ?

Өндөр хөшүүн байдал: Хөнгөн цагааны хайлшаас ~5 дахин их, динамик хөдөлгөөний үед деформацийг хамгийн бага байлгадаг.
Дулааны тэлэлт багатай: Хөнгөн цагаанаас ~5 дахин бага, температурын хэлбэлзлийн үед нарийвчлалыг хадгалдаг.
ХөнгөнГантай харьцуулахад нягтрал багатай тул өндөр хурдтай, өндөр хурдатгалтай ажиллах боломжийг олгодог.
Маш сайн тогтвортой байдал: Хэт нарийвчлалтай байрлал тогтооход зориулсан дээд зэргийн чийгшүүлэгч болон хатуулаг.

3. Тайзыг тослох эсвэл засвар үйлчилгээ хийх шаардлагатай юу?

Уламжлалт тосолгооны материал шаардлагагүй, учир нь тэнд байдагмеханик холбоо барихгүйСанал болгож буй засвар үйлчилгээнд дараахь зүйлс орно.

Нийлүүлэхцэвэр, хуурай шахсан агаар эсвэл азот
Шүүлтүүр болон хатаагчийн үечилсэн үзлэг
Хяналтын кабель болон хөргөлтийн систем

4. Агаарын хангамжийн шаардлага юу вэ?

Шүүдрийн цэг: ≤ 0 °F (≈ –18 °C)
Бөөмийн шүүлтүүр: ≤ 0.25 μм
Цэвэр, хуурай агаар эсвэл 99.99% цэвэр азот
Хамгийн бага хэлбэлзэлтэй тогтвортой даралт

Бидний тухай

XKH нь тусгай оптик шил болон шинэ болор материалын өндөр технологийн хөгжил, үйлдвэрлэл, борлуулалтад мэргэшсэн. Манай бүтээгдэхүүнүүд нь оптик электроник, хэрэглээний электроник болон цэргийн салбарт үйлчилдэг. Бид Sapphire оптик эд анги, гар утасны линзний бүрхүүл, керамик, LT, цахиурын карбидын SIC, кварц болон хагас дамжуулагч болор хавтанг санал болгодог. Бид чадварлаг туршлага, дэвшилтэт тоног төхөөрөмжөөрөө тэргүүлэгч оптоэлектроник материалын өндөр технологийн аж ахуйн нэгж болох зорилготойгоор стандарт бус бүтээгдэхүүн боловсруулах чиглэлээр тэргүүлэгч юм.