Кварц индранил BF33 вафли дээр TVG процесс Шилэн вафли цоолох
TGV (Шилэн дамжуулалтаар)-ийн давуу талууд нь голчлон дараахь зүйлд тусгагдсан болно.
1) Маш сайн өндөр давтамжийн цахилгаан шинж чанар. Шилэн материал нь тусгаарлагч материал бөгөөд диэлектрик тогтмол нь цахиурын материалын ердөө 1/3 орчим, алдагдлын коэффициент нь цахиурын материалаас 2-3 дахин бага тул дамжуулсан дохионы бүрэн бүтэн байдлыг хангахын тулд субстратын алдагдал болон шимэгч хорхойн нөлөөллийг эрс бууруулдаг;
(2) Том хэмжээтэй, хэт нимгэн шилэн суурь материалыг авахад хялбар. Бид Sapphire, Quartz, Corning, болон SCHOTT зэрэг шилэн материалыг санал болгож чадна. Бусад шил үйлдвэрлэгчид хэт том хэмжээтэй (>2м × 2м) болон хэт нимгэн (<50µm) хавтан шил болон хэт нимгэн уян хатан шилэн материалыг нийлүүлж чадна.
3) Бага өртөгтэй. Том хэмжээтэй хэт нимгэн хавтангийн шилэнд хялбархан нэвтрэх боломжтой бөгөөд тусгаарлагч давхарга тавих шаардлагагүй, шилэн адаптер хавтангийн үйлдвэрлэлийн өртөг нь цахиур дээр суурилсан адаптер хавтангийн ердөө 1/8 орчим юм.
4) Энгийн үйл явц. TGV-ийн суурь гадаргуу болон дотор хананд (Шилэн замаар) тусгаарлагч давхарга түрхэх шаардлагагүй бөгөөд хэт нимгэн адаптерийн хавтанг сийрэгжүүлэх шаардлагагүй;
(5) Хүчтэй механик тогтвортой байдал. Адаптер хавтангийн зузаан нь 100µm-ээс бага байсан ч гажуудал бага хэвээр байна;
6) Өргөн хүрээний хэрэглээ. Өндөр давтамжийн салбарт сайн хэрэглээний хэтийн төлөвөөс гадна тунгалаг материал болгон ашиглахаас гадна оптоэлектроник системийн интеграцийн салбарт ашиглаж болно, агаар нэвтрэхгүй, зэврэлтээс хамгаалах давуу талууд нь MEMS капсулжуулалтын салбарт шилэн субстратыг асар их боломжтой болгодог.
Одоогийн байдлаар манай компани TGV (Шилэн дамжуулалтаар) нүхээр дамжин өнгөрөх шилний технологийг нийлүүлж, орж ирж буй материалыг боловсруулж, бүтээгдэхүүнийг шууд нийлүүлж байна. Бид Sapphire, Quartz, Corning, SCHOTT, BF33 болон бусад шилийг санал болгож чадна. Хэрэв танд хэрэгцээ гарвал хүссэн үедээ бидэнтэй шууд холбогдож болно! Хүсэлтийг тавтай морилно уу!
Дэлгэрэнгүй диаграмм



