Ti/Cu металлаар бүрсэн цахиурын вафли (титан/зэс)

Товч тайлбар:

БиднийTi/Cu металл бүрээстэй цахиурын вафли...-аар бүрсэн өндөр чанартай цахиур (эсвэл нэмэлт шил/кварц) суурьтайтитан наалдамхай давхаргамөнзэс дамжуулагч давхаргаашиглахстандарт магнетрон цацалтTi давхарга нь наалдац болон процессын тогтвортой байдлыг мэдэгдэхүйц сайжруулдаг бол Cu дээд давхарга нь цахилгаан холболт болон дараагийн бичил үйлдвэрлэлд тохиромжтой бага эсэргүүцэлтэй, жигд гадаргууг санал болгодог.

Бидэнд имэйл илгээх

Онцлог шинж чанарууд

Дэлгэрэнгүй диаграмм

Ti/Cu металл бүрсэн цахиурын вафли (титан/зэс)6

Тойм

Судалгаа болон туршилтын хэмжээний хэрэглээнд зориулагдсан эдгээр хавтангууд нь олон хэмжээ, эсэргүүцлийн хязгаарт байдаг бөгөөд зузаан, суурь төрөл, бүрэх тохиргоонд уян хатан тохируулга хийх боломжтой.

Гол онцлогууд

Хүчтэй наалдамхай ба найдвартай байдалTi холболтын давхарга нь Si/SiO₂-д хальсны наалдацыг нэмэгдүүлж, барьцалдалтын бат бөх чанарыг сайжруулдаг.
Өндөр дамжуулах гадаргууCu бүрхүүл нь контакт болон туршилтын бүтцийн хувьд маш сайн цахилгаан гүйцэтгэлийг хангадаг
Өргөн хүрээний тохируулгын хүрээ: вафлийн хэмжээ, эсэргүүцэл, чиглэл, суурь зузаан, хальсны зузааныг хүсэлтээр авах боломжтой
Процесст бэлэн суурь: нийтлэг лаборатори болон үйлдвэрийн ажлын урсгалтай нийцтэй (литографи, электролизийн бүтэц, хэмжил зүй гэх мэт)
Материалын цуврал боломжтойTi/Cu-ээс гадна бид Au, Pt, Al, Ni, Ag металл бүрээстэй вафли санал болгож байна.

Ердийн бүтэц ба тунадасжилт

Стек: Субстрат + Ti наалдамхай давхарга + Cu бүрэх давхарга
Стандарт үйл явцМагнетрон цацалт
Нэмэлт үйл явцуудДулааны ууршилт / Электролиз (илүү зузаан Cu шаардлагын хувьд)

Кварц шилний механик шинж чанар

Зүйл	Сонголтууд
Ваферын хэмжээ	2", 4", 6", 8"; 10×10 мм; захиалгаар хэрчих хэмжээ
Цахилгаан дамжуулах чанарын төрөл	P-төрөл / N-төрөл / Дотоод өндөр эсэргүүцэл (Un)
Чиглэл	<100>, <111> гэх мэт
Эсэргүүцэл	<0.0015 Ом·см; 1-10 Ом·см; >1000–10000 Ом·см
Зузаан (µm)	2": 200/280/400/500; 4": 450/500/525; 6": 625/650/675; 8": 650/700/725/775; захиалгат
Субстрат материал	Цахиур; нэмэлт кварц, BF33 шил гэх мэт.
Кино зузаан	10 нм / 50 нм / 100 нм / 150 нм / 300 нм / 500 нм / 1 µм (тохируулж болно)
Металл хальсны сонголтууд	Ti/Cu; мөн Au, Pt, Al, Ni, Ag боломжтой

Ti/Cu металл бүрсэн цахиурын вафли (титан/зэс)4

Аппликейшнүүд

Ом холбоо барих ба дамжуулагч суурьтөхөөрөмжийн судалгаа, хөгжүүлэлт болон цахилгааны туршилтад зориулагдсан
Электролизийн үрийн давхарга(RDL, MEMS бүтэц, зузаан Cu хуримтлал)
Сол-гель болон наноматериалын өсөлтийн субстратууднано болон нимгэн хальсан судалгаанд зориулагдсан
Микроскоп ба гадаргуугийн хэмжил зүй(SEM/AFM/SPM дээж бэлтгэх болон хэмжих)
Био/химийн гадаргууэсийн өсгөврийн платформууд, уураг/ДНХ-ийн микроаррай, рефлектометрийн субстрат гэх мэт

Түгээмэл асуултууд (Ti/Cu металлаар бүрсэн цахиур хавтан)

А1: Яагаад Cu бүрхүүлийн доор Ti давхаргыг ашигладаг вэ?
А: Титан нь дараах байдлаар ажилладагнаалдамхай (холбоо) давхарга, зэсийг суурьтай бэхлэх чадварыг сайжруулж, гадаргуугийн тогтвортой байдлыг сайжруулснаар боловсруулалт болон боловсруулалтын явцад хальслах эсвэл хальслахыг багасгахад тусалдаг.

А2: Ti/Cu-ийн ердийн зузааны тохиргоо юу вэ?
А: Нийтлэг хослолууд нь дараахь зүйлийг агуулдаг.Ti: хэдэн арван нм (жишээ нь, 10–50 нм)мөнCu: 50–300 нмцацагдсан хальсны хувьд. Илүү зузаан Cu давхаргыг (µm-түвшин) ихэвчлэн дараах байдлаар хийдэгцацагдсан Cu үрийн давхарга дээр электролиз хийх, таны програмаас хамаарна.

А3: Та вафлийн хоёр талыг бүрж болох уу?
А: Тийм ээ.Нэг талт эсвэл хоёр талт бүрхүүлхүсэлтийн дагуу авах боломжтой. Захиалга өгөхдөө өөрийн шаардлагыг тодорхой зааж өгнө үү.

Бидний тухай

XKH нь тусгай оптик шил болон шинэ болор материалын өндөр технологийн хөгжил, үйлдвэрлэл, борлуулалтад мэргэшсэн. Манай бүтээгдэхүүнүүд нь оптик электроник, хэрэглээний электроник болон цэргийн салбарт үйлчилдэг. Бид Sapphire оптик эд анги, гар утасны линзний бүрхүүл, керамик, LT, цахиурын карбидын SIC, кварц болон хагас дамжуулагч болор хавтанг санал болгодог. Бид чадварлаг туршлага, дэвшилтэт тоног төхөөрөмжөөрөө тэргүүлэгч оптоэлектроник материалын өндөр технологийн аж ахуйн нэгж болох зорилготойгоор стандарт бус бүтээгдэхүүн боловсруулах чиглэлээр тэргүүлэгч юм.