Титан хольцтой индранил болор лазер саваа гадаргуугийн боловсруулалтын арга

Титан эрдэнийн чулуун талстууд Ti:Al2O3 (холилтын концентраци 0.35 жингийн% Ti2O3), тэдгээрийн болор хоосон зайг одоогийн шинэ бүтээлийн титан эрдэнийн чулуун болор лазер савааны гадаргуугийн боловсруулалтын аргын процессын урсгалын диаграммын дагуу Зураг 1-т үзүүлэв. Одоогийн шинэ бүтээлийн титан эрдэнийн чулуун болор лазер савааны гадаргуугийн боловсруулалтын аргын тодорхой бэлтгэл үе шатууд дараах байдалтай байна.

<1> Чиглэлийн зүсэлт: титан эрдэнийн чулуун болорыг эхлээд чиглүүлж, дараа нь дууссан лазер савааны хэмжээтэй уялдуулан 0.4-0.6 мм-ийн боловсруулалтын зөвшөөрлийг үлдээж, тетрагональ багана хэлбэртэй хоосон зайд зүснэ.

<2>Баганыг барзгар болон нарийн нунтаглах: Баганын хоосон хэсгийг барзгар нунтаглах машин дээр 120~180# цахиурын карбид эсвэл борын карбидын зүлгүүрээр тетрагональ эсвэл цилиндр хэлбэртэй хөндлөн огтлолд нунтаглаж, конус хэлбэртэй, бөөрөнхий бус алдаа нь ±0.01 мм байна.

<3> Төгсгөлийн гадаргууг боловсруулах: титан эрдэнийн чулуун лазерын хоёр төгсгөлийг ган дискэн дээр W40, W20, W10 бор карбидын нунтаглах төгсгөлийн гадаргууг дараалан боловсруулдаг. Нунтаглах процесст төгсгөлийн гадаргуугийн босоо байдлыг хэмжихэд анхаарлаа хандуулах хэрэгтэй.

<4> Химийн-механик өнгөлгөө: химийн-механик өнгөлгөө гэдэг нь өнгөлгөөний дэвсгэр дээр талстыг урьдчилан бэлтгэсэн химийн сийлбэрийн уусмалын дуслаар өнгөлөх үйл явц юм. Ажлын хэсэг болон өнгөлгөөний дэвсгэрийг харьцангуй хөдөлгөөн болон үрэлтийн дагуу өнгөлөх бөгөөд судалгааны зутан дотор химийн сийлбэрийн бодис (өнгөлгөөний шингэн гэж нэрлэдэг) ашиглан өнгөлгөөг бүрэн гүйцэд хийнэ.

<5> Хүчиллэг сийлбэр: Дээр дурдсанчлан өнгөлсний дараа титан эрдэнийн чулуун савааг 100-400°C температурт H2SO4:H3PO4 = 3:1 (v/v) холимогт хийж, 5-30 минутын турш хүчиллэгээр сийлнэ. Үүний зорилго нь лазерын гадаргуу дээрх механик гадаргуугийн гэмтлээс үүссэн өнгөлгөөний процессыг арилгах, янз бүрийн толбыг арилгах бөгөөд ингэснээр цэвэр гадаргуугийн гөлгөр, хавтгай, торны бүрэн бүтэн байдлыг атомын түвшинд хүргэх явдал юм.

<6> ГАДАРГУУГИЙН ДУЛААН БОЛОВСРУУЛАЛТ: Өмнөх процессоос үүдэлтэй гадаргуугийн стресс болон зураасыг цаашид арилгах, атомын түвшинд тэгш гадаргуу авахын тулд хүчиллэг сийлбэр хийсний дараа титан эрдэнийн чулуун савааг ионгүйжүүлсэн усаар 5 минутын турш зайлж, титан эрдэнийн чулуун савааг 1360±20°C температуртай, устөрөгчийн агаар мандалд 1-3 цагийн тогтмол температурт байрлуулж, гадаргуугийн дулааны боловсруулалтад оруулсан.