8 ба 6 инчийн SOI (Цахиур дээр тусгаарлагч) цахиурын вафли дээрх SOI вафли тусгаарлагч

Дээд цахиурын давхарга, тусгаарлагч исэл давхарга, доод цахиурын суурьтай гурван давхаргат SOI вафли нь микроэлектроник болон RF-ийн салбарт хосгүй давуу талыг санал болгодог. Өндөр чанартай талст цахиур агуулсан дээд цахиурын давхарга нь нарийн төвөгтэй электрон эд ангиудыг нарийвчлал, үр ашигтайгаар нэгтгэх боломжийг олгодог. Паразит багтаамжийг багасгахын тулд нарийн зохион бүтээсэн тусгаарлагч исэл давхарга нь хүсээгүй цахилгаан хөндлөнгийн оролцоог бууруулснаар төхөөрөмжийн гүйцэтгэлийг сайжруулдаг. Доод цахиурын суурь нь механик дэмжлэг үзүүлж, одоо байгаа цахиурын боловсруулах технологиудтай нийцтэй байдлыг хангадаг.

Микроэлектроникийн салбарт SOI хавтангууд нь дээд зэргийн хурд, эрчим хүчний хэмнэлт, найдвартай байдал бүхий дэвшилтэт интеграл хэлхээ (IC) үйлдвэрлэх үндэс суурь болдог. Үүний гурван давхаргат архитектур нь CMOS (Нэмэлт металл-исэл-хагас дамжуулагч) IC, MEMS (Бичил цахилгаан-механик систем) болон цахилгаан төхөөрөмжүүд зэрэг нарийн төвөгтэй хагас дамжуулагч төхөөрөмжүүдийг хөгжүүлэх боломжийг олгодог.

RF-ийн хүрээнд SOI вафер нь RF төхөөрөмж болон системийг зохион бүтээх, хэрэгжүүлэхэд гайхалтай гүйцэтгэлийг харуулдаг. Бага паразит багтаамж, өндөр эвдрэлийн хүчдэл, маш сайн тусгаарлах шинж чанарууд нь үүнийг RF унтраалга, өсгөгч, шүүлтүүр болон бусад RF бүрэлдэхүүн хэсгүүдэд тохиромжтой суурь болгодог. Нэмж дурдахад, SOI ваферын төрөлхийн цацрагийн тэсвэрлэлт нь хатуу ширүүн орчинд найдвартай байдал хамгийн чухал байдаг сансар судлал болон батлан ​​​​хамгаалах салбарт ашиглахад тохиромжтой болгодог.

Цаашилбал, SOI хавтангийн олон талт байдал нь фотоникийн интеграл хэлхээ (PIC) зэрэг шинээр гарч ирж буй технологиудад ч хамаатай бөгөөд оптик болон электрон бүрэлдэхүүн хэсгүүдийг нэг суурь дээр нэгтгэх нь дараагийн үеийн цахилгаан холбоо, өгөгдлийн холбооны системд ирээдүйтэй байдаг.

Товчхондоо, гурван давхаргат цахиур-он-тусгаарлагч (SOI) хавтан нь микроэлектроник болон радио давтамжийн хэрэглээний инновацийн тэргүүн эгнээнд зогсож байна. Түүний өвөрмөц архитектур болон онцгой гүйцэтгэлийн шинж чанарууд нь олон төрлийн салбарт дэвшил гаргах замыг нээж, технологийн дэвшлийг хурдасгаж, ирээдүйг бүрдүүлдэг.