Цахиурын 8 инч ба 6 инчийн SOI (Цахиурт тусгаарлагч) хавтан дээрх SOI хавтанцар тусгаарлагч
Өрөөний хайрцгийн танилцуулга
Дээд цахиурын давхарга, тусгаарлагч ислийн давхарга, доод цахиурын субстратаас бүрдэх гурван давхаргатай SOI хавтан нь микроэлектроник болон RF домэйнд хосгүй давуу талыг санал болгодог. Дээд талын цахиурын давхарга нь өндөр чанарын талст цахиуртай бөгөөд нарийн төвөгтэй электрон эд ангиудыг нарийвчлал, үр ашигтайгаар нэгтгэх боломжийг олгодог. Шимэгчийн багтаамжийг багасгахын тулд нарийн боловсруулсан тусгаарлагч ислийн давхарга нь хүсээгүй цахилгааны хөндлөнгийн оролцоог бууруулж төхөөрөмжийн ажиллагааг сайжруулдаг. Доод талын цахиурын субстрат нь механик дэмжлэг үзүүлж, одоо байгаа цахиур боловсруулах технологитой нийцтэй байдлыг хангадаг.
Микроэлектроникийн хувьд SOI хавтан нь өндөр хурд, эрчим хүчний хэмнэлт, найдвартай байдал бүхий дэвшилтэт нэгдсэн хэлхээг (IC) үйлдвэрлэх үндэс суурь болдог. Түүний гурван давхаргат архитектур нь CMOS (Нэмэлт металл-оксид-хагас дамжуулагч) IC, MEMS (микро-электро-механик систем) болон эрчим хүчний төхөөрөмж зэрэг нарийн төвөгтэй хагас дамжуулагч төхөөрөмжүүдийг хөгжүүлэх боломжийг олгодог.
RF домэйны хувьд SOI өргүүр нь RF төхөөрөмж, системийг зохион бүтээх, хэрэгжүүлэхэд гайхалтай гүйцэтгэлийг харуулдаг. Түүний шимэгчийн багтаамж бага, эвдрэлийн өндөр хүчдэл, маш сайн тусгаарлах шинж чанарууд нь RF унтраалга, өсгөгч, шүүлтүүр болон бусад RF-ийн бүрэлдэхүүн хэсгүүдэд тохиромжтой субстрат болгодог. Нэмж дурдахад, SOI ялтсуудын төрөлхийн цацрагийг тэсвэрлэх чадвар нь түүнийг хатуу ширүүн орчинд найдвартай байх нь чухал байдаг сансар огторгуй, батлан хамгаалах салбарт ашиглахад тохиромжтой болгодог.
Цаашилбал, SOI хавтанцарын олон талт байдал нь фотоник нэгдсэн хэлхээ (PICs) зэрэг шинээр гарч ирж буй технологиудыг хамардаг бөгөөд нэг субстрат дээр оптик болон электрон бүрэлдэхүүн хэсгүүдийг нэгтгэх нь дараагийн үеийн харилцаа холбоо, мэдээлэл холбооны системд амлалт өгөх болно.
Дүгнэж хэлэхэд, гурван давхаргат Цахиурт Тусгаарлагч (SOI) хавтанцар нь микроэлектроник болон RF-ийн хэрэглээнд инновацийн тэргүүн эгнээнд зогсож байна. Түүний өвөрмөц архитектур, онцгой гүйцэтгэлийн шинж чанарууд нь олон төрлийн салбарт ахиц дэвшил гаргах замыг нээж, ахиц дэвшлийг жолоодож, технологийн ирээдүйг бүрдүүлдэг.