Цахиур / Цахиурын карбид (SiC) Вафер Дөрвөн үе шаттай холбосон өнгөлгөөний автоматжуулалтын шугам (Нэгдсэн өнгөлгөөний дараах боловсруулалтын шугам)

Товч тайлбар:

Энэхүү дөрвөн үе шаттай холбосон өнгөлгөөний автоматжуулалтын шугам нь дараах зорилгоор бүтээгдсэн нэгдсэн, шугаман шийдэл юм.өнгөлгөөний дараах / CMP-ийн дараахүйл ажиллагаацахиурмөнцахиурын карбид (SiC)вафли. Эргэн тойронд баригдсанкерамик тээгч (керамик хавтан), систем нь олон дараагийн ажлуудыг нэг зохицуулалттай шугамд нэгтгэдэг бөгөөд энэ нь үйлдвэрүүдэд гар аргаар тээвэрлэлтийг багасгах, барьцалдалтын хугацааг тогтворжуулах, бохирдлын хяналтыг сайжруулахад тусалдаг.

Бидэнд имэйл илгээх

Онцлог шинж чанарууд

Дэлгэрэнгүй диаграмм

Тойм

Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлд,CMP-ийн дараах үр дүнтэй цэвэрлэгээдараагийн процессоос өмнө согогийг бууруулах гол алхам гэж өргөнөөр хүлээн зөвшөөрөгдсөн бөгөөд дэвшилтэт аргууд (үүнд орно)мегасоник цэвэрлэгээ) нь бөөмс зайлуулах гүйцэтгэлийг сайжруулахын тулд түгээмэл хэлэлцэгддэг.

Ялангуяа SiC-ийн хувьд, түүнийөндөр хатуулаг ба химийн идэвхгүй байдалөнгөлгөөг хүндрүүлдэг (ихэвчлэн материалыг зайлуулах хурд бага, гадаргуу/доод гадаргуугийн эвдрэл гэмтэх эрсдэл өндөр байдаг) бөгөөд энэ нь өнгөлгөөний дараах тогтвортой автоматжуулалт болон хяналттай цэвэрлэгээ/зөөвөрлөлтийг онцгой үнэ цэнэтэй болгодог.

Гол давуу талууд

Дараахыг дэмждэг нэг нэгдсэн шугам:

Вафли ялгах ба цуглуулах(өнгөлсний дараа)
Керамик зөөвөрлөгчийг буферлах / хадгалах
Керамик зөөвөрлөгч цэвэрлэх
Керамик зөөгч дээр вафли суурилуулах (наах)
Нэгтгэсэн, нэг шугамын үйл ажиллагаа6–8 инчийн вафли

Техникийн үзүүлэлтүүд (өгөгдсөн мэдээллийн хуудаснаас)

Тоног төхөөрөмжийн хэмжээс (Урт×Өргөн×Өндөр):13643 × 5030 × 2300 мм
Цахилгаан хангамж:Хувьсах гүйдэл 380 В, 50 Гц
Нийт хүчин чадал:119 кВт
Суурилуулалтын цэвэр байдал:0.5 μм < 50 ширхэг; 5 μм < 1 ширхэг
Хавтгай байдлыг суурилуулах:≤ 2 мкм

Гүйцэтгэлийн лавлагаа (Өгөгдсөн өгөгдлийн хуудаснаас)

Тоног төхөөрөмжийн хэмжээс (Урт×Өргөн×Өндөр):13643 × 5030 × 2300 мм
Цахилгаан хангамж:Хувьсах гүйдэл 380 В, 50 Гц
Нийт хүчин чадал:119 кВт
Суурилуулалтын цэвэр байдал:0.5 μм < 50 ширхэг; 5 μм < 1 ширхэг
Хавтгай байдлыг суурилуулах:≤ 2 мкм

Ердийн шугаман урсгал

Дээд урсгалын өнгөлгөөний хэсгээс орох тэжээл / интерфэйс
Вафли ялгах ба цуглуулах
Керамик зөөгчийг буферлэх/хадгалах (такт хугацааны салгах)
Керамик зөөвөрлөгч цэвэрлэх
Вафлийг зөөгч дээр суурилуулах (цэвэр байдал болон тэгш байдлыг хянах боломжтой)
Доод талын процесс эсвэл ложистик руу чиглэсэн урсгал

Түгээмэл асуултууд

А1: Энэ шугам нь голчлон ямар асуудлыг шийддэг вэ?
А: Энэ нь вафли ялгах/цуглуулах, керамик зөөгчийг буферлах, зөөгчийг цэвэрлэх, вафли суурилуулах ажлыг нэг зохицуулалттай автоматжуулалтын шугамд нэгтгэснээр өнгөлгөөний дараах үйл ажиллагааг хялбаршуулдаг бөгөөд энэ нь гараар хүрэх цэгүүдийг багасгаж, үйлдвэрлэлийн хэмнэлийг тогтворжуулдаг.

А2: Ямар вафлийн материал, хэмжээг дэмждэг вэ?
А:Цахиур ба SiC,6–8 инчвафли (өгөгдсөн техникийн шаардлагын дагуу).

А3: Яагаад салбарт CMP-ийн дараах цэвэрлэгээг онцолдог вэ?
А: Дараагийн алхамаас өмнө согогийн нягтралыг бууруулахын тулд CMP-ийн дараах үр дүнтэй цэвэрлэгээний эрэлт хэрэгцээ нэмэгдсэнийг салбарын уран зохиолд онцолсон; мегасоник дээр суурилсан аргуудыг бөөмсийг зайлуулах ажлыг сайжруулах зорилгоор ихэвчлэн судалдаг.

Бидний тухай

XKH нь тусгай оптик шил болон шинэ болор материалын өндөр технологийн хөгжил, үйлдвэрлэл, борлуулалтад мэргэшсэн. Манай бүтээгдэхүүнүүд нь оптик электроник, хэрэглээний электроник болон цэргийн салбарт үйлчилдэг. Бид Sapphire оптик эд анги, гар утасны линзний бүрхүүл, керамик, LT, цахиурын карбидын SIC, кварц болон хагас дамжуулагч болор хавтанг санал болгодог. Бид чадварлаг туршлага, дэвшилтэт тоног төхөөрөмжөөрөө тэргүүлэгч оптоэлектроник материалын өндөр технологийн аж ахуйн нэгж болох зорилготойгоор стандарт бус бүтээгдэхүүн боловсруулах чиглэлээр тэргүүлэгч юм.