Цахиурын карбид SiC ембүү 6 инчийн N төрлийн дамми/праймер зэрэглэлийн зузааныг өөрчилж болно
Үл хөдлөх хөрөнгө
Зэрэглэл: Үйлдвэрлэлийн зэрэг (Хуучин/Дээд зэрэглэлийн)
Хэмжээ: 6 инчийн диаметртэй
Диаметр: 150.25мм ± 0.25мм
Зузаан: >10мм (Хүсэлтийн дагуу тохируулж болох зузаантай)
Гадаргуугийн чиглэл: <11-20> ± 0.2° чиглэлд 4° өнцөгтэй бөгөөд энэ нь төхөөрөмжийн үйлдвэрлэлд өндөр чанартай талст болон нарийвчлалтай тэгшлэлтийг баталгаажуулдаг.
Анхдагч хавтгай чиглэл: <1-100> ± 5°, энэ нь гулдмайг вафли болгон үр ашигтай зүсэх, талстын оновчтой өсөлтийг хангах гол онцлог юм.
Анхдагч хавтгай урт: 47.5мм ± 1.5мм, хялбар харьцах, нарийн зүсэх зориулалттай.
Эсэргүүцэл: 0.015–0.0285 Ω·см, өндөр үр ашигтай цахилгаан төхөөрөмжүүдэд тохиромжтой.
Микро хоолойн нягтрал: <0.5, энэ нь үйлдвэрлэсэн төхөөрөмжийн гүйцэтгэлд нөлөөлж болзошгүй согогийг хамгийн бага байлгахыг баталгаажуулдаг.
BPD (Бор нүхжилтийн нягтрал): <2000, талстын цэвэршилт өндөр, согогийн нягтрал бага байгааг илтгэх бага утга.
TSD (Утастай шураг мултрах нягтрал): <500, өндөр хүчин чадалтай төхөөрөмжүүдийн материалын маш сайн бүрэн бүтэн байдлыг хангана.
Политипийн хэсгүүд: Байхгүй – гулдмай нь политипийн согоггүй тул өндөр зэрэглэлийн хэрэглээнд зориулсан дээд зэргийн материалын чанарыг санал болгодог.
Ирмэгийн хонхорхой: <3, 1мм өргөн ба гүнтэй тул гадаргуугийн гэмтлийг хамгийн бага байлгаж, вафлиг үр дүнтэй зүсэхийн тулд гулдмайн бүрэн бүтэн байдлыг хадгална.
Ирмэгийн хагарал: 3, тус бүр <1мм хэмжээтэй, ирмэгийн гэмтэл багатай тул аюулгүй харьцах болон цаашид боловсруулах боломжийг хангана.
Сав баглаа боодол: Вафер хайрцаг – SiC гулдмайг аюулгүй тээвэрлэх, харьцах боломжийг хангахын тулд вафер хайрцагт найдвартай савласан.
Аппликейшнүүд
Цахилгаан электроник:6 инчийн SiC гулдмайг цахилгаан хувиргах системийн зайлшгүй бүрэлдэхүүн хэсэг болох MOSFET, IGBT, диод зэрэг цахилгаан электрон төхөөрөмж үйлдвэрлэхэд өргөнөөр ашигладаг. Эдгээр төхөөрөмжийг цахилгаан тээврийн хэрэгслийн (EV) инвертер, үйлдвэрлэлийн моторын хөтлөгч, цахилгаан хангамж, эрчим хүчний хадгалах системд өргөнөөр ашигладаг. SiC нь өндөр хүчдэл, өндөр давтамж, хэт өндөр температурт ажиллах чадвар нь уламжлалт цахиур (Si) төхөөрөмжүүд үр ашигтай ажиллахад бэрхшээлтэй байдаг хэрэглээнд тохиромжтой болгодог.
Цахилгаан тээврийн хэрэгсэл (EV):Цахилгаан тээврийн хэрэгсэлд SiC дээр суурилсан эд ангиуд нь инвертер, DC-DC хөрвүүлэгч болон суурин цэнэглэгч дэх цахилгаан модулиудыг хөгжүүлэхэд чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. SiC-ийн дулаан дамжуулалтын өндөр түвшин нь дулааны үүсэлтийг бууруулж, цахилгаан хувиргалтын үр ашгийг дээшлүүлэх боломжийг олгодог бөгөөд энэ нь цахилгаан тээврийн хэрэгслийн гүйцэтгэл болон жолоодлогын хүрээг сайжруулахад чухал үүрэгтэй. Нэмж дурдахад, SiC төхөөрөмжүүд нь жижиг, хөнгөн, илүү найдвартай эд ангиудыг бий болгож, цахилгаан тээврийн хэрэгслийн системийн нийт гүйцэтгэлд хувь нэмэр оруулдаг.
Сэргээгдэх эрчим хүчний системүүд:SiC гулдмай нь нарны инвертер, салхин турбин, эрчим хүч хадгалах шийдлүүд зэрэг сэргээгдэх эрчим хүчний системд ашигладаг эрчим хүч хувиргах төхөөрөмжүүдийг боловсруулахад зайлшгүй шаардлагатай материал юм. SiC-ийн өндөр эрчим хүч зохицуулах чадвар болон үр ашигтай дулааны менежмент нь эдгээр системд эрчим хүч хувиргах үр ашгийг дээшлүүлж, найдвартай байдлыг сайжруулах боломжийг олгодог. Үүнийг сэргээгдэх эрчим хүчэнд ашиглах нь эрчим хүчний тогтвортой байдлыг хангах дэлхийн хүчин чармайлтыг урагшлуулахад тусалдаг.
Цахилгаан холбоо:6 инчийн SiC ембүү нь өндөр хүчин чадалтай RF (радио давтамж) хэрэглээнд ашигладаг эд анги үйлдвэрлэхэд тохиромжтой. Үүнд цахилгаан холбоо болон хиймэл дагуулын холбооны системд ашигладаг өсгөгч, осциллятор, шүүлтүүр орно. SiC нь өндөр давтамж болон өндөр хүчин чадлыг зохицуулах чадвар нь бат бөх гүйцэтгэл, дохионы алдагдал хамгийн бага шаарддаг цахилгаан холбооны төхөөрөмжүүдэд маш сайн материал болгодог.
Агаарын сансар судлал ба батлан хамгаалах:SiC-ийн өндөр эвдрэлийн хүчдэл болон өндөр температурт тэсвэртэй байдал нь сансар судлал болон батлан хамгаалах салбарт ашиглахад тохиромжтой болгодог. SiC гулдмайгаар хийсэн эд ангиудыг радарын систем, хиймэл дагуулын холбоо, нисэх онгоц болон сансрын хөлгийн цахилгаан электроникт ашигладаг. SiC дээр суурилсан материалууд нь сансар судлалын системийг сансар судлал болон өндөрлөг газрын орчинд тулгардаг эрс тэс нөхцөлд ажиллах боломжийг олгодог.
Аж үйлдвэрийн автоматжуулалт:Аж үйлдвэрийн автоматжуулалтад SiC бүрэлдэхүүн хэсгүүдийг хатуу ширүүн орчинд ажиллах шаардлагатай мэдрэгч, идэвхжүүлэгч болон хяналтын системд ашигладаг. SiC дээр суурилсан төхөөрөмжүүдийг өндөр температур болон цахилгааны стрессийг тэсвэрлэх чадвартай, үр ашигтай, удаан эдэлгээтэй бүрэлдэхүүн хэсгүүдийг шаарддаг машин механизмд ашигладаг.
Бүтээгдэхүүний үзүүлэлтийн хүснэгт
| Үл хөдлөх хөрөнгө | Тодорхойлолт |
| Зэрэг | Продакшн (Худалдан авалт/Прайм) |
| Хэмжээ | 6 инч |
| Диаметр | 150.25мм ± 0.25мм |
| Зузаан | >10мм (Өөрчлөх боломжтой) |
| Гадаргуугийн чиглэл | 4° <11-20> ± 0.2° руу |
| Анхдагч Хавтгай Чиглэл | <1-100> ± 5° |
| Анхдагч хавтгай урт | 47.5мм ± 1.5мм |
| Эсэргүүцэл | 0.015–0.0285 Ω·см |
| Микро хоолойн нягтрал | <0.5 |
| Борын нүхжилтийн нягтрал (BPD) | <2000 |
| Урсгалтай боолтын мултрал нягтрал (TSD) | <500 |
| Олон төрлийн бүсүүд | Байхгүй |
| Ирмэгийн догол мөр | <3, 1мм өргөн ба гүн |
| Ирмэгийн хагарал | 3, <1мм/доно |
| Сав баглаа боодол | Ваферийн хайрцаг |
Дүгнэлт
6 инчийн SiC Ingot – N төрлийн Dummy/Prime зэрэглэлийн материал нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн хатуу шаардлагыг хангасан дээд зэрэглэлийн материал юм. Өндөр дулаан дамжуулалт, онцгой эсэргүүцэл, бага согогийн нягтрал нь дэвшилтэт цахилгаан электрон төхөөрөмж, автомашины эд анги, харилцаа холбооны систем, сэргээгдэх эрчим хүчний систем үйлдвэрлэхэд маш сайн сонголт болгодог. Тохируулж болох зузаан болон нарийвчлалын үзүүлэлтүүд нь энэхүү SiC ембүүг олон төрлийн хэрэглээнд тохируулан өөрчлөх боломжийг олгодог бөгөөд энэ нь хүнд нөхцөлд өндөр гүйцэтгэл, найдвартай байдлыг баталгаажуулдаг. Дэлгэрэнгүй мэдээлэл авах эсвэл захиалга өгөхийн тулд манай борлуулалтын багтай холбогдоно уу.
Дэлгэрэнгүй диаграмм
