Цахиурын карбид (SiC) хэвтээ зуухны хоолой

Товч тайлбар:

Цахиурын карбид (SiC) хэвтээ зуухны хоолой нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэл, фотоволтайк үйлдвэрлэл, дэвшилтэт материалын боловсруулалтад ашигладаг өндөр температурт хийн фазын урвал болон дулааны боловсруулалтын гол процессын камер болон даралтын хил хязгаар болж үйлчилдэг.

Бидэнд имэйл илгээх

Онцлог шинж чанарууд

Дэлгэрэнгүй диаграмм

Бүтээгдэхүүний байршил ба үнэ цэнийн санал

Нэмэлтээр үйлдвэрлэсэн нэг ширхэг SiC бүтэцтэй, нягт CVD-SiC хамгаалалтын давхаргатай хослуулсан энэхүү хоолой нь онцгой дулаан дамжуулалт, бохирдол багатай, хүчтэй механик бүрэн бүтэн байдал, химийн бодисын гайхалтай эсэргүүцлийг хангадаг.
Түүний загвар нь температурын жигд байдал, үйлчилгээний хугацааг уртасгах, урт хугацааны тогтвортой ажиллагааг хангадаг.

Гол давуу талууд

Системийн температурын тогтвортой байдал, цэвэр байдал, тоног төхөөрөмжийн нийт үр ашгийг (OEE) нэмэгдүүлдэг.
Цэвэрлэгээний сул зогсолтын хугацааг багасгаж, солих мөчлөгийг уртасгаж, нийт өмчлөлийн зардлыг (TCO) бууруулдаг.
Өндөр температурт исэлдүүлэгч болон хлороор баялаг химийн бодисуудыг эрсдэл багатайгаар зохицуулах чадвартай, удаан эдэлгээтэй камертай.

Холбогдох уур амьсгал ба үйл явцын цонх

Реактив хийнүүдхүчилтөрөгч (O₂) болон бусад исэлдүүлэгч холимог
Тээвэрлэгч/хамгаалалтын хийазот (N₂) ба хэт цэвэр инертийн хийнүүд
Тохиромжтой төрөл зүйлүүдхлор агуулсан хий ул мөр (концентраци ба удаан хадгалах хугацааг жороор хянадаг)

Ердийн үйл явцууд: хуурай/нойтон исэлдэлт, шарах, диффуз, LPCVD/CVD тунадасжуулалт, гадаргуугийн идэвхжүүлэлт, фотоволтайк идэвхгүйжилт, функциональ нимгэн хальсан өсөлт, нүүрстөрөгчжилт, нитриджилт гэх мэт.

Үйл ажиллагааны нөхцөл

Температур: өрөөний температур 1250 °C хүртэл (халаагчийн загвар болон ΔT-ээс хамааран 10-15% аюулгүй байдлын хязгаарыг зөвшөөрнө)
Даралт: бага даралттай/LPCVD вакуум түвшингээс агаар мандлын эерэг даралт хүртэл (худалдан авалтын захиалга бүрийн эцсийн үзүүлэлт)

Материал ба бүтцийн логик

Цул SiC их бие (нэмэлтээр үйлдвэрлэсэн)

Өндөр нягтралтай β-SiC эсвэл олон фазын SiC нь дан бүрэлдэхүүн хэсэг болгон бүтээгдсэн бөгөөд гоожиж эсвэл стрессийн цэг үүсгэж болзошгүй гагнуурын холболт эсвэл оёдолгүй.
Өндөр дулаан дамжуулалт нь хурдан дулааны хариу үйлдэл болон тэнхлэгийн/радиаль температурын жигд байдлыг маш сайн хангадаг.
Дулааны тэлэлтийн бага, тогтвортой коэффициент (CTE) нь өндөр температурт хэмжээст тогтвортой байдал болон найдвартай битүүмжлэлийг баталгаажуулдаг.

CVD SiC функциональ бүрхүүл

Бөөмс үүсэх болон металл ионы ялгаралтыг дарангуйлахын тулд газар дээр нь тунадасжуулсан, хэт цэвэр (гадаргуу/бүрхүүлгийн хольц < 5 ppm)
Исэлдүүлэгч болон хлор агуулсан хийн эсрэг маш сайн химийн идэвхгүй байдал нь хананд халдах эсвэл дахин тунадасжихаас сэргийлдэг.
Зэврэлтээс хамгаалах чадвар болон дулааны хариу урвалыг тэнцвэржүүлэх бүсэд тохирсон зузааны сонголтууд.

Хамтарсан ашиг тусБат бөх SiC их бие нь бүтцийн бат бөх чанар болон дулаан дамжуулалтыг хангадаг бол CVD давхарга нь хамгийн их найдвартай байдал болон дамжуулах чадварыг хангахын тулд цэвэр байдал болон зэврэлтээс хамгаалах чадварыг баталгаажуулдаг.

Гүйцэтгэлийн гол зорилтууд

Тасралтгүй ашиглах температур:≤ 1250 °C
Бөөнөөр нь субстратын хольц:< 300 ppm
CVD-SiC гадаргуугийн хольц:< 5 ppm
Хэмжээст хүлцэл: OD ±0.3–0.5 мм; коаксиал чанар ≤ 0.3 мм/м (илүү нягтаршилтай)
Дотор хананы барзгаржилт: Ra ≤ 0.8–1.6 µm (өнгөлсөн эсвэл толин тусгал шиг өнгөлгөө хийх сонголттой)
Гелийн алдагдлын хурд: ≤ 1 × 10⁻⁹ Па·м³/с
Дулааны цочролд тэсвэртэй: давтан халуун/хүйтний мөчлөгт хагарал, цууралтгүйгээр тэсвэрлэдэг
Цэвэр өрөөний угсралт: Бөөмсний/металл-ионы үлдэгдлийн түвшинг баталгаажуулсан ISO 5–6 ангилал

Тохиргоо ба Сонголтууд

Геометр: 50–400 мм-ийн OD (үнэлгээний дагуу том) урт нэг хэсэг бүтэцтэй; механик бат бэх, жин болон дулааны урсгалд оновчтой ханын зузаан.
Төгсгөлийн загварууд: фланц, хонхны амсар, жад, байршлын цагираг, О хэлбэрийн ховил, захиалгаар шахах эсвэл даралтын портууд.
Функциональ портуудтермопарын тэжээлийн хоолой, харааны шилэн суудал, тойрч гарах хийн оролтууд—бүгдийг нь өндөр температурт, гоожихгүй ажиллах зориулалттайгаар зохион бүтээсэн.
Бүрэх схемүүд: дотор хана (анхдагч), гадна хана, эсвэл бүрэн бүрхүүл; өндөр цохилттой бүс нутгуудад зориулсан зорилтот хамгаалалт эсвэл зэрэглэлийн зузаан.
Гадаргуугийн боловсруулалт ба цэвэр байдал: олон төрлийн барзгаржилтын зэрэг, хэт авианы/DI цэвэрлэгээ, захиалгат жигнэх/хатаах протокол.
Дагалдах хэрэгсэл: бал чулуу/керамик/металл фланц, лац, байршлын бэхэлгээ, барьцалдалтын ханцуй болон хадгалах тавиур.

Гүйцэтгэлийн харьцуулалт

Метрийн	SiC хоолой	Кварц хоолой	Хөнгөн цагаан хоолой	Графит хоолой
Дулаан дамжуулалт	Өндөр, жигд	Бага	Бага	Өндөр
Өндөр температурын бат бэх/мөлхөлт	Маш сайн	Шударга	Сайн	Сайн (исэлдэлтэд мэдрэмтгий)
Дулааны цохилт	Маш сайн	Сул	Дунд зэрэг	Маш сайн
Цэвэр байдал / металл ионууд	Маш сайн (бага)	Дунд зэрэг	Дунд зэрэг	Муу
Исэлдэлт ба Cl-хими	Маш сайн	Шударга	Сайн	Муу (исэлддэг)
Зардал ба үйлчилгээний хугацаа	Дунд / урт наслалт	Бага / богино	Дунд / дунд	Дунд зэрэг / хүрээлэн буй орчин хязгаарлагдмал

Түгээмэл асуултууд (Түгээмэл асуултууд)

А1. Яагаад 3D хэвлэмэл цул SiC их бие сонгох ёстой вэ?
А. Энэ нь гоожиж эсвэл стрессийг төвлөрүүлж болох оёдол болон гагнуурыг арилгаж, нарийн төвөгтэй геометрийг тогтмол хэмжээст нарийвчлалтайгаар дэмждэг.

А2. SiC нь хлор агуулсан хийд тэсвэртэй юу?
А. Тийм. CVD-SiC нь тогтоосон температур болон даралтын хязгаарт маш идэвхгүй байдаг. Өндөр нөлөөлөлтэй хэсэгт орон нутгийн зузаан бүрхүүл болон бат бөх цэвэрлэгээний/яндангийн системийг ашиглахыг зөвлөж байна.

А3. Энэ нь кварц хоолойноос хэрхэн илүү сайн ажилладаг вэ?
A. SiC нь илүү урт хугацааны ашиглалтын хугацаа, илүү сайн температурын жигд байдал, бага тоосонцор/металл-ионы бохирдол, сайжруулсан TCO-г санал болгодог - ялангуяа ~900 °C-аас дээш температурт эсвэл исэлдүүлэгч/хлоржуулсан агаар мандалд.

А4. Хоолой нь хурдан дулааны өсөлтийг тэсвэрлэж чадах уу?
А. Тийм ээ, хамгийн их ΔT болон өгсүүр хурдны удирдамжийг дагаж мөрдсөн тохиолдолд. Өндөр κ SiC биеийг нимгэн CVD давхаргатай хослуулах нь хурдан дулааны шилжилтийг дэмждэг.

А5. Хэзээ солих шаардлагатай вэ?
А. Хэрэв та фланц эсвэл ирмэгийн хагарал, бүрхүүлийн нүх эсвэл толбо, гоожих хэмжээ нэмэгдэх, температурын профайлын мэдэгдэхүйц хэлбэлзэл, эсвэл хэвийн бус бөөмс үүсэхийг анзаарсан бол хоолойг солино уу.

Бидний тухай

XKH нь тусгай оптик шил болон шинэ болор материалын өндөр технологийн хөгжил, үйлдвэрлэл, борлуулалтад мэргэшсэн. Манай бүтээгдэхүүнүүд нь оптик электроник, хэрэглээний электроник болон цэргийн салбарт үйлчилдэг. Бид Sapphire оптик эд анги, гар утасны линзний бүрхүүл, керамик, LT, цахиурын карбидын SIC, кварц болон хагас дамжуулагч болор хавтанг санал болгодог. Бид чадварлаг туршлага, дэвшилтэт тоног төхөөрөмжөөрөө тэргүүлэгч оптоэлектроник материалын өндөр технологийн аж ахуйн нэгж болох зорилготойгоор стандарт бус бүтээгдэхүүн боловсруулах чиглэлээр тэргүүлэгч юм.