Цахиурын карбид (SiC) керамик хавтан
Дэлгэрэнгүй диаграмм
Бүтээгдэхүүний тойм
Цахиурын карбид (SiC) керамик хавтан нь онцгой дулааны тогтвортой байдал, механик бат бөх чанар, химийн эсэргүүцэл шаарддаг орчинд зориулан бүтээгдсэн өндөр бат бэх, өндөр цэвэршилттэй дэвшилтэт керамик эд анги юм. Маш сайн хатуулаг, бага нягтралтай, дээд зэргийн дулаан дамжуулалттай тул SiC хавтанг хагас дамжуулагч боловсруулалт, өндөр температурт зуух, нарийн машин механизм, зэврэлттэй үйлдвэрлэлийн орчинд өргөн ашигладаг.
Эдгээр хавтан нь хэт хүнд нөхцөлд бүтцийн бүрэн бүтэн байдлыг хадгалдаг тул дараагийн үеийн өндөр хүчин чадалтай тоног төхөөрөмжийн хамгийн тохиромжтой материалын шийдэл болдог.
Гол онцлог ба шинж чанарууд
-
Өндөр хатуулаг ба элэгдэлд тэсвэртэй– Алмазтай харьцуулах боломжтой тул удаан эдэлгээтэй.
-
Дулааны тэлэлт багатай– Хурдан халаах эсвэл хөргөх үед деформацийг багасгадаг.
-
Өндөр дулаан дамжуулалт– Дулааны хяналтын системд зориулсан үр ашигтай дулаан ялгаруулалт.
-
Маш сайн химийн тогтвортой байдал– Хүчил, шүлт болон плазмын орчинд тэсвэртэй.
-
Хөнгөн хэрнээ маш бат бөх– Металлтай харьцуулахад бат бэх-жингийн харьцаа өндөр.
-
Маш сайн өндөр температурын гүйцэтгэл– Ажлын температур 1600°C хүртэл (зэрэглэлээс хамаарч).
-
Хүчтэй механик хатуулаг– Нарийн тулгуур болон бүтцийн тогтвортой байдалд тохиромжтой.
Үйлдвэрлэлийн арга
SiC керамик хавтангуудыг ихэвчлэн дараах процессуудын аль нэгээр үйлдвэрлэдэг.
• Урвалд холбогдсон цахиурын карбид (RBSC / RBSiC)
-
Хайлсан цахиурыг сүвэрхэг SiC урьдчилсан хэлбэрт нэвчиж үүсгэсэн
-
Өндөр бат бэх, сайн боловсруулалт, хэмжээст тогтвортой байдалтай
-
Хатуу хавтгай байдлыг хянах шаардлагатай том хавтангуудад тохиромжтой
• Шаталсан цахиурын карбид (SSiC)
-
Өндөр цэвэршилттэй SiC нунтагыг даралтгүй шатаах аргаар үйлдвэрлэсэн
-
Дээд зэргийн цэвэршилт, бат бөх чанар, зэврэлтээс хамгаалах чадварыг санал болгодог
-
Хэт цэвэр нөхцөл шаарддаг хагас дамжуулагч болон химийн хэрэглээнд тохиромжтой
• CVD цахиурын карбид (CVD-SiC)
-
Химийн ууршилтын процесс
-
Хамгийн өндөр цэвэршилттэй, маш нягт, хэт гөлгөр гадаргуутай
-
Хагас дамжуулагч вафер тээвэрлэгч, сусцептор болон вакуум камерын эд ангиудад түгээмэл байдаг
Аппликейшнүүд
SiC керамик хавтангууд нь олон салбарт өргөн хэрэглэгддэг:
Хагас дамжуулагч ба электроник
-
Вафер зөөгч хавтангууд
-
Сассепторууд
-
Диффузийн зуухны бүрэлдэхүүн хэсгүүд
-
Сийлбэр болон тунадасжуулалтын камерын эд ангиуд
Өндөр температурт зуухны эд ангиуд
-
Дэмжлэгийн хавтан
-
Зуухны тавилга
-
Халаалтын системийн дулаалга ба хамгаалалт
Аж үйлдвэрийн тоног төхөөрөмж
-
Механик элэгдлийн хавтан
-
Гулсах дэвсгэрүүд
-
Насос болон хавхлагын эд ангиуд
-
Химийн зэврэлтэнд тэсвэртэй хавтан
Агаарын сансар судлал ба батлан хамгаалах
-
Хөнгөн, өндөр бат бэхтэй бүтцийн хавтан
-
Өндөр температурт хамгаалалтын бүрэлдэхүүн хэсгүүд
Үзүүлэлт ба тохируулга
SiC керамик хавтанг захиалгат зургийн дагуу үйлдвэрлэж болно:
• Хэмжээ:
Зузаан: 0.5–30 мм
Хажуугийн хамгийн их урт: 600 мм хүртэл (үйл явцаас хамаарч өөр өөр байдаг)
• Хүлцэл:
Боловсруулалтын зэргээс хамааран ±0.01–0.05 мм
• Гадаргуугийн өнгөлгөө:
-
Газардсан / давхцуулсан
-
Өнгөлсөн (CVD-SiC-ийн хувьд Ra < 5 нм)
-
Шахмал гадаргуу
• Материалын зэрэглэл:
RBSiC / SSiC / CVD-SiC
• Хэлбэрийн сонголтууд:
Хавтгай хавтан, дөрвөлжин хавтан, дугуй хавтан, үүртэй хавтан, цоолсон хавтан гэх мэт.
Кварцын шилний талаар байнга асуудаг асуултууд
А1: RBSiC болон SSiC хавтангийн хооронд ямар ялгаа байдаг вэ?
A:RBSiC нь механик бат бөх чанар болон өртгийн үзүүлэлт сайтай байдаг бол SSiC нь илүү цэвэршилттэй, зэврэлтэнд тэсвэртэй, илүү бат бөх чанартай байдаг. SSiC нь хагас дамжуулагч болон химийн хэрэглээнд илүү тохиромжтой.
А2: SiC керамик хавтан дулааны цохилтыг тэсвэрлэж чадах уу?
A:Тийм ээ. SiC нь дулааны тэлэлт багатай, дулаан дамжуулалт өндөртэй тул дулааны цочролд маш сайн тэсвэртэй байдаг.
А3: Толин тусгал гадаргуу дээр хэрэглэхийн тулд хавтангуудыг өнгөлж болох уу?
A:Тийм ээ. CVD-SiC болон өндөр цэвэршилттэй SSiC нь оптик эсвэл хагас дамжуулагчийн шаардлагад нийцүүлэн толин тусгал зэрэглэлийн өнгөлгөөг хийж чадна.
А4: Та захиалгат боловсруулалтыг дэмждэг үү?
A:Тийм ээ. Нүх, завсар, хонхорхой болон тусгай хэлбэр зэрэг хавтангуудыг таны зургийн дагуу хийж болно.
Бидний тухай
XKH нь тусгай оптик шил болон шинэ болор материалын өндөр технологийн хөгжил, үйлдвэрлэл, борлуулалтад мэргэшсэн. Манай бүтээгдэхүүнүүд нь оптик электроник, хэрэглээний электроник болон цэргийн салбарт үйлчилдэг. Бид Sapphire оптик эд анги, гар утасны линзний бүрхүүл, керамик, LT, цахиурын карбидын SIC, кварц болон хагас дамжуулагч болор хавтанг санал болгодог. Бид чадварлаг туршлага, дэвшилтэт тоног төхөөрөмжөөрөө тэргүүлэгч оптоэлектроник материалын өндөр технологийн аж ахуйн нэгж болох зорилготойгоор стандарт бус бүтээгдэхүүн боловсруулах чиглэлээр тэргүүлэгч юм.
Холбоотой бүтээгдэхүүнүүд
-
SiC индранилд зориулсан цахиурын карбидын керамик чак ...
-
Аж үйлдвэрийн SiC босоо зуухны хоолой өндөр дулаан ...
-
CVD SiC ко-той SiC керамик тавиур хавтан бал чулуу...
-
Хэт нарийвчлалтай SiC агааржуулагч шат
-
SiC керамик бөмбөлөг Цахиурын карбид Керамик элэгдэл-r ...
-
Цахиурын карбидын консолын сэлүүр (SiC консол...