Чухал ачаа тээвэрлэлтийн системд зориулсан цахиурын карбидын SiC керамик сэрээтэй гар/гар

Чухал ачаа тээвэрлэлтийн системд зориулсан цахиурын карбид SiC керамик сэрээтэй гар/гар Онцлох зураг

Товч тайлбар:

ньЦахиурын карбидын керамик сэрээтэй гар/гарнь дэвшилтэт үйлдвэрлэлийн автоматжуулалт, хагас дамжуулагч боловсруулалт, хэт цэвэр орчинд зориулан боловсруулсан хамгийн сүүлийн үеийн бүрэлдэхүүн хэсэг юм. Өвөрмөц салаа архитектур болон хэт хавтгай керамик гадаргуу нь цахиурын вафли, шилэн хавтан, оптик төхөөрөмж зэрэг нарийн суурьтай ажиллахад тохиромжтой. Нарийвчлалтайгаар инженерчлэгдсэн бөгөөд хэт цэвэр цахиурын карбидоор үйлдвэрлэсэн.Цахиурын карбидын керамик сэрээтэй гар/гархосгүй механик бат бөх чанар, дулааны найдвартай байдал, бохирдлын хяналтыг санал болгодог.

Бидэнд имэйл илгээх

Онцлог шинж чанарууд

Дэлгэрэнгүй диаграмм

Цахиурын карбидын керамик сэрээтэй гар/гарын танилцуулга

Уламжлалт металл эсвэл хуванцар гарнаас ялгаатай ньЦахиурын карбидын керамик сэрээтэй гар/гарХэт дулааны, химийн болон вакуум нөхцөлд тогтвортой гүйцэтгэлийг хангадаг. 1-р зэрэглэлийн цэвэр өрөөнд эсвэл өндөр вакуумтай плазмын камерт ажиллаж байгаа эсэхээс үл хамааран энэхүү бүрэлдэхүүн хэсэг нь үнэ цэнэтэй эд ангиудыг аюулгүй, үр ашигтай, үлдэгдэлгүй тээвэрлэх боломжийг олгодог.

Робот гар, пластины бариул, автоматжуулсан дамжуулах хэрэгсэлд зориулагдсан бүтэцтэй,Цахиурын карбидын керамик сэрээтэй гар/гарнь өндөр нарийвчлалтай аливаа системд зориулсан ухаалаг шинэчлэлт юм.

Цахиурын карбидын керамик сэрээтэй гар/гарын үйлдвэрлэлийн процесс

Өндөр гүйцэтгэлтэй бүтээхЦахиурын карбидын керамик сэрээтэй гар/гардавтагдах чадвар, найдвартай байдал, хэт бага согогийн түвшинг баталгаажуулдаг хатуу хяналттай керамик инженерчлэлийн ажлын урсгалыг агуулдаг.

1. Материалын инженерчлэл

Үйлдвэрлэлд зөвхөн хэт өндөр цэвэршилттэй цахиурын карбидын нунтаг ашигладаг.Цахиурын карбидын керамик сэрээтэй гар/гар, ионы бохирдол багатай, их хэмжээний бат бөх чанарыг хангана. Нунтаг бодисыг хамгийн оновчтой нягтралд хүрэхийн тулд хайлуулах нэмэлт болон холбогч бодисуудтай нарийн хольсон.

2. Суурийн бүтцийг бүрдүүлэх

Суурийн геометрсэрээтэй гар/гархүйтэн изостатик шахалт эсвэл шахах хэвийг ашиглан үүсгэдэг бөгөөд энэ нь өндөр ногоон нягтрал болон жигд стрессийн тархалтыг баталгаажуулдаг. U хэлбэрийн тохиргоог хатуулаг-жингийн харьцаа болон динамик хариу урвалд оновчтой болгосон.

3. Синтерингийн процесс

Ногоон бие ньЦахиурын карбидын керамик сэрээтэй гар/гар2000°C-аас дээш температурт өндөр температурт, идэвхгүй хийн зууханд шатаадаг. Энэ алхам нь онолын нягтралтай ойролцоо байдлыг хангаж, бодит ертөнцийн дулааны ачааллын дор хагарал, гажуудал, хэмжээст хазайлтыг тэсвэрлэх чадвартай бүрэлдэхүүн хэсгийг үүсгэдэг.

4. Нарийвчлалтай нунтаглах болон боловсруулах

Дэвшилтэт CNC алмазан багаж хэрэгслийг эцсийн хэмжээсийг хэлбэржүүлэхэд ашигладагЦахиурын карбидын керамик сэрээтэй гар/гар. Хатуу хүлцэл (±0.01 мм) болон толин тусгал түвшний гадаргуугийн өнгөлгөө нь тоосонцрын ялгаралт болон механик стрессийг бууруулдаг.

5. Гадаргууг цэвэрлэх болон агааржуулах

Эцсийн гадаргуугийн өнгөлгөөнд химийн өнгөлгөө болон хэт авианы цэвэрлэгээ орносэрээтэй гар/гархэт цэвэр системд шууд нэгтгэх зориулалттай. Нэмэлт бүрээс (CVD-SiC, тусгалгүй давхарга) бас байдаг.

Энэхүү нарийн үйл явц нь тус бүрийг баталгаажуулдагЦахиурын карбидын керамик сэрээтэй гар/гарSEMI болон ISO цэвэр өрөөний шаардлагыг багтаасан хамгийн хатуу үйлдвэрлэлийн стандартыг хангасан.

Цахиурын карбидын керамик сэрээний гар/гарын параметрүүд

Зүйл	Туршилтын нөхцөл	Өгөгдөл	Нэгж
Цахиурын карбидын агууламж	/	>99.5	%
Үр тарианы дундаж хэмжээ	/	4-10	микрон
Нягтрал	/	>3.14	г/см3
Илэрхий сүвэрхэг байдал	/	<0.5	Эзлэхүүний %
Викерсийн хатуулаг	HV0.5	2800	Кг/мм2
Хагарлын модуль (3 оноо)	Туршилтын баарны хэмжээ: 3 x 4 x 40 мм	450	МПа
Шахалтын хүч	20°C	3900	МПа
Уян хатан чанарын модуль	20°C	420	GPa
Хугарлын бат бөх чанар	/	3.5	МПа/м^1/2
Дулаан дамжуулалт	20°C	160	Вт/(мК)
Цахилгаан эсэргүүцэл	20°C	10⁶-10⁸	Ωсм
Дулааны тэлэлтийн коэффициент	20°C-800°C	4.3	K^-110^-6
Хамгийн их хэрэглээний температур	Оксидын агаар мандал	1600 он	°C
Хамгийн их хэрэглээний температур	Идэвхгүй агаар мандал	1950 он	°C

Цахиурын карбидын керамик сэрээтэй гар/гарын хэрэглээ

ньЦахиурын карбидын керамик сэрээтэй гар/гарөндөр нарийвчлалтай, өндөр эрсдэлтэй, бохирдолд мэдрэмтгий хэрэглээнд ашиглахаар бүтээгдсэн. Энэ нь чухал эд ангиудыг ямар ч алдаа гаргахгүйгээр найдвартай харьцах, дамжуулах эсвэл дэмжих боломжийг олгодог.

➤ Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл

Урд талын вафли дамжуулах болон FOUP станцуудад робот сэрээ болгон ашигладаг.
Плазмын сийлбэр болон PVD/CVD процессуудад зориулсан вакуум камерт нэгтгэсэн.
Хэмжил зүй болон хавтангийн тэгшлэх хэрэгсэлд зөөгч гар болгон ашигладаг.

ньЦахиурын карбидын керамик сэрээтэй гар/гарэлектростатик цэнэг алдалтын (ESD) эрсдлийг арилгаж, хэмжээст нарийвчлалыг дэмжиж, плазмын зэврэлтээс хамгаална.

➤ Фотоник ба оптик

Үйлдвэрлэл эсвэл үзлэгийн үед нарийн линз, лазер талст болон мэдрэгчийг дэмждэг.
Түүний өндөр хатуулаг нь чичиргээнээс сэргийлдэг бол керамик бие нь оптик гадаргуугийн бохирдлыг тэсвэрлэдэг.

➤ Дэлгэц болон самбар үйлдвэрлэл

Тээвэрлэлт эсвэл үзлэгийн үед нимгэн шил, OLED модулиуд болон LCD суурьтай харьцдаг.
Хавтгай ба химийн хувьд идэвхгүйЦахиурын карбидын керамик сэрээтэй гар/гарзураас эсвэл химийн бодисоор сийлэхээс хамгаалдаг.

➤ Агаарын болон шинжлэх ухааны багаж хэрэгсэл

Хиймэл дагуулын оптик угсралт, вакуум робот техник, синхротрон цацрагийн шугамын тохиргоонд ашиглагддаг.
Сансрын зэрэглэлийн цэвэр өрөө болон цацраг идэвхт орчинд өө сэвгүй ажилладаг.

Талбар бүрт,Цахиурын карбидын керамик сэрээтэй гар/гарсистемийн үр ашгийг дээшлүүлж, эд ангийн эвдрэлийг бууруулж, зогсолтын хугацааг багасгадаг.

Түгээмэл асуултууд – Цахиурын карбидын керамик сэрээний гар/гарын талаар байнга асуудаг асуултууд

А1: Цахиурын карбидын керамик сэрээтэй гар/гарыг металл хувилбаруудаас юугаараа илүү сайн болгодог вэ?

ньЦахиурын карбидын керамик сэрээтэй гар/гарМеталлаас илүү хатуулаг, бага нягтрал, илүү сайн химийн эсэргүүцэлтэй, дулааны тэлэлт мэдэгдэхүйц багатай. Мөн цэвэр өрөөнд нийцтэй бөгөөд зэврэлт болон тоосонцор үүсэхгүй.

А2: Би цахиурын карбидын керамик сэрээний гар/гарынхаа хэмжээг өөрчлөн захиалж болох уу?

Тийм ээ. Бид сэрээний өргөн, зузаан, бэхэлгээний нүх, зүсэлт болон гадаргуугийн боловсруулалт зэрэг бүрэн тохируулгыг санал болгодог. 6", 8", эсвэл 12" хэмжээтэй вафлины хувьд танысэрээтэй гар/гартохируулан тохируулж болно.

А3: Цахиурын карбидын керамик сэрээтэй гар/гар нь плазм эсвэл вакуум дор хэр удаан ажилладаг вэ?

Өндөр нягтралтай SiC материал болон идэвхгүй шинж чанарын ачаар,сэрээтэй гар/гарМянга мянган процессын мөчлөгийн дараа ч гэсэн үйл ажиллагаагаа хадгалдаг. Энэ нь түрэмгий плазм эсвэл вакуум дулааны ачааллын дор хамгийн бага элэгдэлд ордог.

А4: Бүтээгдэхүүн нь ISO 1 ангиллын цэвэр өрөөнд тохиромжтой юу?

Мэдээж.Цахиурын карбидын керамик сэрээтэй гар/гарбаталгаажсан цэвэр өрөөний байгууламжид үйлдвэрлэж, савласан бөгөөд бөөмсийн түвшин ISO 1-р ангиллын шаардлагаас хамаагүй доогуур байна.

А5: Энэ сэрээний гар/гарын хамгийн их ажиллах температур хэд вэ?

ньЦахиурын карбидын керамик сэрээтэй гар/гар1500°C хүртэл тасралтгүй ажиллах боломжтой тул өндөр температурын процессын камер болон дулааны вакуум системд шууд ашиглахад тохиромжтой.

Эдгээр Түгээмэл Асуултууд нь инженерүүд, лабораторийн менежерүүд болон системийн интеграторуудаас хамгийн түгээмэл тохиолддог техникийн асуудлуудыг тусгасан болно.Цахиурын карбидын керамик сэрээтэй гар/гар.

Бидний тухай

XKH нь тусгай оптик шил болон шинэ болор материалын өндөр технологийн хөгжил, үйлдвэрлэл, борлуулалтад мэргэшсэн. Манай бүтээгдэхүүнүүд нь оптик электроник, хэрэглээний электроник болон цэргийн салбарт үйлчилдэг. Бид Sapphire оптик эд анги, гар утасны линзний бүрхүүл, керамик, LT, цахиурын карбидын SIC, кварц болон хагас дамжуулагч болор хавтанг санал болгодог. Бид чадварлаг туршлага, дэвшилтэт тоног төхөөрөмжөөрөө тэргүүлэгч оптоэлектроник материалын өндөр технологийн аж ахуйн нэгж болох зорилготойгоор стандарт бус бүтээгдэхүүн боловсруулах чиглэлээр тэргүүлэгч юм.