Цахиурын карбидын SiC керамик сэрээ гар/гар нь чухал харьцах системд зориулагдсан

Цахиурын карбидын SiC керамик сэрээ гар/гар нь чухал ач холбогдолтой харьцах системд зориулагдсан.

Богино тайлбар:

TheЦахиурын карбидын керамик сэрээ гар/гарнь үйлдвэрлэлийн дэвшилтэт автоматжуулалт, хагас дамжуулагч боловсруулалт, хэт цэвэр орчинд зориулагдсан хамгийн сүүлийн үеийн бүрэлдэхүүн хэсэг юм. Түүний өвөрмөц салаа бүтэц, хэт хавтгай керамик гадаргуу нь цахиур хавтан, шилэн хавтан, оптик төхөөрөмж зэрэг нарийн ширхэгтэй субстратуудыг боловсруулахад тохиромжтой. Нарийвчлалтай инженерчилж, хэт цэвэр цахиурын карбидаар үйлдвэрлэсэнЦахиурын карбидын керамик сэрээ гар/гарМеханик хүч чадал, дулааны найдвартай байдал, бохирдлын хяналтыг санал болгодог.

Бидэн рүү имэйл илгээнэ үү

Онцлогууд

Нарийвчилсан диаграмм

Цахиурын карбидын керамик сэрээ гар/гарыг танилцуулж байна

Ердийн металл эсвэл хуванцар зэвсгээс ялгаатай ньЦахиурын карбидын керамик сэрээ гар/гархэт дулаан, химийн болон вакуум нөхцөлд тогтвортой гүйцэтгэлийг хангадаг. 1-р ангиллын цэвэр өрөөнд эсвэл өндөр вакуумтай плазмын камерт ажиллаж байгаа эсэхээс үл хамааран энэ бүрэлдэхүүн хэсэг нь үнэ цэнэтэй эд ангиудыг аюулгүй, үр ашигтай, үлдэгдэлгүй тээвэрлэх боломжийг олгодог.

Робот гар, өрлөгийн бариул, автомат дамжуулах хэрэгсэлд тохирсон бүтэцтэйЦахиурын карбидын керамик сэрээ гар/гарямар ч өндөр нарийвчлалтай системд зориулсан ухаалаг шинэчлэл юм.

Цахиурын карбидын керамик сэрээ гар/гар үйлдвэрлэх үйл явц

Өндөр гүйцэтгэлтэй бүтээл хийхЦахиурын карбидын керамик сэрээ гар/гарЭнэ нь хатуу хяналттай керамик инженерийн ажлын урсгалыг агуулдаг бөгөөд энэ нь давтагдах чадвар, найдвартай байдал, хэт бага согогийн түвшинг баталгаажуулдаг.

1. Материалын инженерчлэл

Үүнийг үйлдвэрлэхэд зөвхөн хэт өндөр цэвэршилттэй цахиурын карбидын нунтаг ашигладагЦахиурын карбидын керамик сэрээ гар/гар, бага ионы бохирдол, их хэмжээний бат бөх чанарыг хангах. Хамгийн оновчтой нягтралыг бий болгохын тулд нунтаг нь агломерын нэмэлтүүд болон холбогч бодисуудтай нарийн холилдоно.

2. Суурийн бүтцийг бүрдүүлэх

Суурийн геометрсэрээ гар/гарХүйтэн изостатик шахах буюу шахах хэлбэрийг ашиглан үүсдэг бөгөөд энэ нь өндөр ногоон нягтрал, жигд стрессийн тархалтыг баталгаажуулдаг. U хэлбэрийн тохиргоо нь хөшүүн, жингийн харьцаа болон динамик хариу үйлдэл хийхэд оновчтой болсон.

3. Синтерлэх үйл явц

Ногоон бие ньЦахиурын карбидын керамик сэрээ гар/гарөндөр температурт, инертийн хийн зууханд 2000°С-аас дээш температурт шингэлнэ. Энэ алхам нь бодит дулааны ачааллын үед хагарал, эвдрэл, хэмжээсийн хазайлтыг эсэргүүцэх бүрэлдэхүүн хэсгийг үйлдвэрлэж, онолын ойролцоо нягтралыг баталгаажуулдаг.

4. Нарийвчлалтай нунтаглах, боловсруулах

Нарийвчилсан CNC алмазан багажийг эцсийн хэмжээсийг хэлбэржүүлэхэд ашигладагЦахиурын карбидын керамик сэрээ гар/гар. Хатуу хүлцэл (±0.01 мм) ба толин тусгал түвшний гадаргуугийн өнгөлгөө нь тоосонцор ялгарах, механик ачааллыг бууруулдаг.

5. Гадаргууг засах, цэвэрлэх

Гадаргуугийн эцсийн боловсруулалтанд химийн өнгөлгөө, хэт авианы цэвэрлэгээ орносэрээ гар/гархэт цэвэр системд шууд нэгтгэх зориулалттай. Нэмэлт бүрээс (CVD-SiC, цацруулагчийн эсрэг давхаргууд) бас байдаг.

Энэхүү нямбай үйл явц нь тус бүрийг баталгаажуулдагЦахиурын карбидын керамик сэрээ гар/гарSEMI болон ISO-ийн цэвэр өрөөний шаардлага зэрэг үйлдвэрлэлийн хамгийн хатуу стандартуудыг хангасан.

Цахиурын карбидын керамик сэрээ гар/гарын параметр

Зүйл	Туршилтын нөхцөл	Өгөгдөл	Нэгж
Цахиурын карбидын агууламж	/	>99.5	%
Үр тарианы дундаж хэмжээ	/	4-10	микрон
Нягт	/	>3.14	г/см3
Илэрхий нүхжилт	/	<0.5	Эзлэхүүн %
Викерсийн хатуулаг	HV0.5	2800	кг/мм2
Хагарлын модуль (3 оноо)	Туршилтын баарны хэмжээ: 3 x 4 x 40 мм	450	МПа
Шахалтын хүч	20°C	3900	МПа
Уян хатан байдлын модуль	20°C	420	GPA
Хагарлын бат бөх байдал	/	3.5	МПа/м^1/2
Дулаан дамжуулалт	20°C	160	В/(мК)
Цахилгаан эсэргүүцэл	20°C	10⁶-10⁸	Ом см
Дулааны тэлэлтийн коэффициент	20°C-800°C	4.3	K^-110^-6
Макс. Хэрэглээний температур	Оксидын уур амьсгал	1600	°C
Макс. Хэрэглээний температур	Идэвхгүй уур амьсгал	1950	°C

Цахиурын карбидын керамик сэрээ гар/гарын хэрэглээ

TheЦахиурын карбидын керамик сэрээ гар/гарнь өндөр нарийвчлалтай, өндөр эрсдэлтэй, бохирдолд мэдрэмтгий хэрэглээнд зориулагдсан. Энэ нь чухал бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн найдвартай харьцах, дамжуулах, дэмжлэг үзүүлэх боломжийг олгодог.

➤ Хагас дамжуулагчийн үйлдвэр

Урд талын өргүүр дамжуулах болон FOUP станцуудад робот сэрээ болгон ашигладаг.
Плазмын сийлбэр болон PVD/CVD процессуудад зориулсан вакуум камерт нэгтгэсэн.
Хэмжил зүй болон өрөм тэгшлэх хэрэгсэлд зөөгч үүрэг гүйцэтгэдэг.

TheЦахиурын карбидын керамик сэрээ гар/гарцахилгаан статик ялгадас (ESD) эрсдэлийг арилгаж, хэмжээсийн нарийвчлалыг дэмжиж, плазмын зэврэлтийг эсэргүүцдэг.

➤ Фотоник ба оптик

Нарийхан линз, лазер талст, мэдрэгчийг үйлдвэрлэх эсвэл шалгах явцад дэмждэг.
Түүний өндөр хөшүүн чанар нь чичиргээнээс сэргийлдэг бол керамик бие нь оптик гадаргуугийн бохирдлыг эсэргүүцдэг.

➤ Дэлгэц ба самбар үйлдвэрлэл

Нимгэн шил, OLED модуль, LCD субстратыг тээвэрлэх эсвэл шалгах явцад зохицуулдаг.
Хавтгай, химийн хувьд идэвхгүйЦахиурын карбидын керамик сэрээ гар/гарзураас болон химийн сийлбэрээс хамгаална.

➤ Сансрын болон шинжлэх ухааны багаж хэрэгсэл

Хиймэл дагуулын оптик угсралт, вакуум робот, синхротрон цацрагийн шугамын тохиргоонд ашигладаг.
Сансар огторгуйд зориулагдсан цэвэр өрөө, цацрагт өртөмтгий орчинд өөгүй ажиллана.

Талбар бүрт,Цахиурын карбидын керамик сэрээ гар/гарсистемийн үр ашгийг дээшлүүлж, эд ангиудын эвдрэлийг багасгаж, сул зогсолтыг багасгадаг.

Түгээмэл асуултууд - Цахиурын карбидын керамик сэрээ гар/гарын талаар байнга асуудаг асуултууд

Асуулт 1: Цахиурын карбидын керамик сэрээ гар/гар нь метал хувилбараас юугаараа илүү вэ?

TheЦахиурын карбидын керамик сэрээ гар/гарметаллаас илүү хатуулаг, бага нягтралтай, химийн илүү сайн эсэргүүцэлтэй, дулааны тэлэлт нь мэдэгдэхүйц бага байдаг. Мөн цэвэрхэн өрөөнд тохиромжтой, зэврэлт, тоосонцор үүсгэхгүй.

Асуулт 2: Би цахиурын карбидын керамик сэрээ гар/гардаа тусгай хэмжээс хүсч болох уу?

Тиймээ. Бид сэрээний өргөн, зузаан, бэхэлгээний нүх, зүсэлт, гадаргуугийн боловсруулалт зэрэг бүрэн тохируулгыг санал болгож байна. 6", 8", эсвэл 12" өргүүрийн хувьд ч хамаагүй, танысэрээ гар/гартааруулж тохируулах боломжтой.

Асуулт 3: Цахиурын карбидын керамик сэрээ гар/гар нь плазм эсвэл вакуум дор хэр удаан үйлчлэх вэ?

Өндөр нягтралтай SiC материал, идэвхгүй байдлын ачаарсэрээ гар/гарХэдэн мянган процессын мөчлөгийн дараа ч гэсэн ажиллагаатай хэвээр байна. Энэ нь түрэмгий плазм эсвэл вакуум дулааны ачааллын дор хамгийн бага элэгдлийг харуулдаг.

Асуулт 4: Бүтээгдэхүүн нь ISO 1-р ангиллын цэвэр өрөөнд тохиромжтой юу?

Мэдээжийн хэрэг. TheЦахиурын карбидын керамик сэрээ гар/гарISO 1-р ангиллын шаардлагаас доогуур тоосонцортой, гэрчилгээжсэн цэвэр өрөөнд үйлдвэрлэгдэж савлагдсан.

Асуулт 5: Энэ сэрээний гар/гарын ажлын хамгийн их температур хэд вэ?

TheЦахиурын карбидын керамик сэрээ гар/гар1500°C хүртэл температурт тасралтгүй ажиллах чадвартай тул өндөр температурт процессын камер болон дулааны вакуум системд шууд ашиглахад тохиромжтой.

Эдгээр түгээмэл асуултууд нь инженерүүд, лабораторийн менежерүүд, системийн интеграторуудын хамгийн түгээмэл техникийн асуудлуудыг тусгасан болноЦахиурын карбидын керамик сэрээ гар/гар.

Бидний тухай

XKH нь тусгай оптик шил, шинэ болор материалын өндөр технологийн хөгжил, үйлдвэрлэл, борлуулалтаар мэргэшсэн. Манай бүтээгдэхүүнүүд оптик электроник, хэрэглээний цахилгаан хэрэгсэл, цэрэг арми зэрэгт үйлчилдэг. Бид Sapphire оптик эд анги, гар утасны линзний бүрээс, керамик, LT, цахиурын карбид SIC, кварц, хагас дамжуулагч болор хавтан зэргийг санал болгож байна. Чадварлаг туршлага, хамгийн сүүлийн үеийн тоног төхөөрөмжөөр бид стандарт бус бүтээгдэхүүн боловсруулах чиглэлээр тэргүүлж, оптоэлектроник материалын өндөр технологийн тэргүүлэх үйлдвэр байхыг зорьж байна.