Цахиурын карбидын алмазан утас хайчлах машин 4/6/8/12 инчийн SiC ембүү боловсруулах

Цахиурын карбидын алмазан утас зүсэх машин 4/6/8/12 инчийн SiC ембүү боловсруулах Онцлох зураг

Товч тайлбар:

Цахиурын карбид алмазан утсан хэрчих машин нь цахиурын карбид (SiC) ембүүний зүсмэлийг алмазан утсан хөрөөний технологийг ашиглан өндөр хурдтай хөдөлдөг алмазан утсыг (шугамын диаметр 0.1~0.3 мм) SiC ембүүний олон утсан хэрчих хүртэл өндөр нарийвчлалтай, бага гэмтэлтэй вафли бэлтгэхэд зориулагдсан өндөр нарийвчлалтай боловсруулах тоног төхөөрөмж юм. Энэхүү төхөөрөмжийг SiC цахилгаан хагас дамжуулагч (MOSFET/SBD), радио давтамжийн төхөөрөмж (GaN-on-SiC) болон оптоэлектроник төхөөрөмжийн суурь боловсруулалтад өргөн ашигладаг бөгөөд SiC салбарын сүлжээний гол тоног төхөөрөмж юм.

Бидэнд имэйл илгээх

Онцлог шинж чанарууд

Үйл ажиллагааны зарчим:

1. Бөмбөг бэхэлгээ: SiC ембүү (4H/6H-SiC)-ийг бэхэлгээний тусламжтайгаар зүсэх тавцан дээр бэхэлгээ хийж, байрлалын нарийвчлалыг (±0.02 мм) баталгаажуулна.

2. Алмазан шугамын хөдөлгөөн: Алмазан шугам (гадаргуу дээрх цахилгаан бүрсэн алмазан хэсгүүд) нь өндөр хурдны эргэлтийн (шугамын хурд 10~30м/с) хөтөч дугуйны системээр хөдөлдөг.

3. Зүсэх тэжээл: ембүүг тогтоосон чиглэлийн дагуу тэжээж, алмазан шугамыг олон зэрэгцээ шугам (100~500 шугам)-тай нэгэн зэрэг зүсэж, олон вафли үүсгэнэ.

4. Хөргөх болон үрэлтийг арилгах: Дулааны гэмтлийг багасгаж, үрэлтийг арилгахын тулд зүсэх хэсэгт хөргөлтийн шингэн (ионгүйжүүлсэн ус + нэмэлт бодис) шүршинэ.

Гол параметрүүд:

1. Таслах хурд: 0.2~1.0мм/мин (талст чиглэл болон SiC-ийн зузаанаас хамаарна).

2. Шугамын хурцадмал байдал: 20~50N (шугамыг таслахад хялбар, хэт нам байвал зүсэлтийн нарийвчлалд нөлөөлнө).

3. Ваферын зузаан: стандарт 350~500μм, вафер нь 100μм хүрч болно.

Үндсэн онцлогууд:

(1) Зүсэлтийн нарийвчлал
Зузаан хүлцэл: ±5μm (@350μm вафли), уламжлалт зуурмаг зүсэлтээс (±20μm) илүү сайн.

Гадаргуугийн барзгаржилт: Ra <0.5μm (дараагийн боловсруулалтын хэмжээг багасгахын тулд нэмэлт нунтаглах шаардлагагүй).

Гажуудал: <10μm (дараагийн өнгөлгөөний хүндрэлийг бууруулдаг).

(2) Боловсруулалтын үр ашиг
Олон шугаман зүсэлт: нэг удаад 100~500 ширхэгийг зүсэх, үйлдвэрлэлийн хүчин чадлыг 3~5 дахин нэмэгдүүлэх (дан шугаман зүсэлттэй харьцуулахад).

Шугамын ашиглалтын хугацаа: Алмазан шугам нь 100~300 км SiC зүсэх боломжтой (ембүүний хатуулаг болон процессын оновчлолоос хамаарна).

(3) Бага хохирол учруулах боловсруулалт
Ирмэгийн хугарал: <15μm (уламжлалт зүсэлт >50μm), вафлийн гарцыг сайжруулна.

Гадаргуугийн гэмтлийн давхарга: <5μm (өнгөлгөөний арилгалыг багасгах).

(4) Байгаль орчныг хамгаалах болон эдийн засаг
Зуурмагийн бохирдолгүй: Зуурмаг зүсэхтэй харьцуулахад хаягдал шингэнийг зайлуулах зардлыг бууруулсан.

Материалын хэрэглээ: Таслах алдагдал <100μm/ таслагч, SiC түүхий эдийг хэмнэдэг.

Таслах нөлөө:

1. Ваферийн чанар: гадаргуу дээр макроскопийн ан цав байхгүй, микроскопийн цөөн тооны согог (хяналттай мултрал сунгалт). Барзгар өнгөлгөөний холбоос руу шууд орж, процессын урсгалыг богиносгож болно.

2. Тогтвортой байдал: багц дахь вафлийн зузааны хазайлт <±3%, автоматжуулсан үйлдвэрлэлд тохиромжтой.

3. Хэрэглэх боломж: 4H/6H-SiC ембүү огтлохыг дэмждэг, дамжуулагч/хагас дулаалгатай төрөлтэй нийцдэг.

Техникийн үзүүлэлт:

Тодорхойлолт	Дэлгэрэнгүй мэдээлэл
Хэмжээ (Урт × Өргөн × Өндөр)	2500x2300x2500 эсвэл өөрчлөх
Боловсруулах материалын хэмжээний хүрээ	4, 6, 8, 10, 12 инчийн цахиурын карбид
Гадаргуугийн барзгаржилт	Ra≤0.3u
Дундаж огтлох хурд	0.3мм/мин
Жин	5.5т
Зүсэх процессын тохиргооны алхамууд	≤30 алхам
Тоног төхөөрөмжийн чимээ шуугиан	≤80 дБ
Ган утасны таталт	0~110N (0.25 утасны таталт нь 45N)
Ган утасны хурд	0~30м/С
Нийт чадал	50кВт
Алмазан утасны диаметр	≥0.18 мм
Төгсгөлийн тэгш байдал	≤0.05мм
Таслах ба хугарах хурд	≤1% (хүний шалтгаан, цахиурын материал, шугам, засвар үйлчилгээ болон бусад шалтгаанаас бусад)

XXKH үйлчилгээ:

XKH нь цахиурын карбидын алмазан утас зүсэх машины бүхэл бүтэн үйл явцын үйлчилгээг үзүүлдэг бөгөөд үүнд тоног төхөөрөмжийн сонголт (утасны диаметр/утасны хурдыг тохируулах), үйл явцыг хөгжүүлэх (зүсэх параметрийн оновчлол), хэрэглээний материалын хангамж (алмазан утас, чиглүүлэгч дугуй) болон борлуулалтын дараах дэмжлэг (тоног төхөөрөмжийн засвар үйлчилгээ, зүсэх чанарын шинжилгээ) зэрэг багтдаг бөгөөд энэ нь үйлчлүүлэгчдэд өндөр ургац (>95%), хямд өртөгтэй SiC вафлийн массын үйлдвэрлэлд хүрэхэд нь тусалдаг. Мөн 4-8 долоо хоногийн хугацаатай захиалгат шинэчлэлтүүдийг (жишээлбэл, хэт нимгэн зүсэлт, автоматжуулсан ачих, буулгах) санал болгодог.