Цахиурын карбидын алмазан утас хайчлах машин 4/6/8/12 инчийн SiC ембүү боловсруулах

Богино тайлбар:

Цахиурын карбидын Diamond Wire хайчлах машин нь Diamond Wire Saw технологийг ашиглан өндөр хурдтай хөдөлдөг алмазан утсаар (шугамын диаметр 0.1 ~ 0.3 мм) SiC ембүү олон утас хайчлах замаар цахиурын карбидын (SiC) ембүү зүсэлтэнд зориулагдсан өндөр нарийвчлалтай боловсруулах төхөөрөмж юм. Энэхүү төхөөрөмж нь SiC хагас дамжуулагч (MOSFET/SBD), радио давтамжийн төхөөрөмж (GaN-on-SiC) болон оптоэлектроник төхөөрөмжийн субстрат боловсруулалтад өргөн хэрэглэгддэг бөгөөд SiC үйлдвэрлэлийн гинжин хэлхээний гол төхөөрөмж юм.

Бидэн рүү имэйл илгээнэ үү

Бүтээгдэхүүний дэлгэрэнгүй

Бүтээгдэхүүний шошго

Ажлын зарчим:

1. Эмбүү бэхэлгээ: SiC ембүү (4H/6H-SiC) нь байрлалын нарийвчлалыг (±0.02мм) баталгаажуулахын тулд бэхэлгээний тусламжтайгаар зүсэх тавцан дээр бэхлэгдсэн байна.

2. Алмазан шугамын хөдөлгөөн: алмазан шугам (гадаргуу дээрх цахилгаанаар бүрхэгдсэн алмаазан хэсгүүд) нь өндөр хурдны эргэлтэнд (шугамын хурд 10~30м/с) чиглүүлэх дугуйны системээр хөдөлдөг.

3. Зүсэх тэжээл: ембүү нь тогтоосон чиглэлийн дагуу тэжээгдэж, алмаазан шугамыг хэд хэдэн зэрэгцээ шугамтай (100 ~ 500 шугам) зэрэг зүсэж, олон өрөм үүсгэнэ.

4. Хөргөх, чипс арилгах: Халуун гэмтлийг багасгаж, чипс арилгахын тулд зүсэх хэсэгт хөргөлтийн бодис (ионгүйжүүлсэн ус + нэмэлт) цацна.

Гол параметрүүд:

1. Зүсэх хурд: 0.2~1.0мм/мин (болор чиглэл болон SiC-ийн зузаанаас хамаарна).

2. Шугамын хурцадмал байдал: 20~50N (хэт өндөр шугамыг таслахад хялбар, хэт бага нь зүсэлтийн нарийвчлалд нөлөөлдөг).

3.Вафель зузаан: стандарт 350~500μm, вафер 100μm хүрч болно.

Гол онцлогууд:

(1) Таслах нарийвчлал
Зузаан хүлцэл: ±5μm (@350μm өрмөнцөр), ердийн зуурмаг зүсэлтээс (±20μm) илүү сайн.

Гадаргуугийн барзгар байдал: Ra<0.5μm (дараагийн боловсруулалтын хэмжээг багасгахын тулд нэмэлт нунтаглах шаардлагагүй).

Warpage: <10μm (дараагийн өнгөлгөөний хүндрэлийг багасгах).

(2) Боловсруулалтын үр ашиг
Олон шугамтай зүсэлт: нэг удаад 100~500 ширхэг зүсэх, үйлдвэрлэлийн хүчин чадлыг 3~5 дахин нэмэгдүүлэх (Нэг шугамын зүсэлттэй харьцуулахад).

Шугамын ашиглалтын хугацаа: Алмазан шугам нь 100 ~ 300 км SiC бууруулах боломжтой (эмбүүгийн хатуулаг ба процессын оновчтой байдлаас хамаарна).

(3) Гэмтлийн боловсруулалт бага
Ирмэгийн хугарал: <15μm (уламжлалт зүсэлт >50μm), вафельний гарцыг сайжруулна.

Газрын доорхи гэмтлийн давхарга: <5μм (өнгөлгөөний арилалтыг багасгах).

(4) Байгаль орчныг хамгаалах, эдийн засаг
Зуурмагийн бохирдол байхгүй: Зуурмаг зүсэхтэй харьцуулахад хаягдал шингэнийг зайлуулах зардлыг бууруулсан.

Материалын ашиглалт: Таслагчийн алдагдал <100μm/ таслагч, SiC түүхий эдийг хэмнэдэг.

Таслах нөлөө:

1. Өрөөний чанар: гадаргуу дээр макроскопийн хагарал байхгүй, цөөн тооны микроскопийн согог (хянах боломжтой мултрах өргөтгөл). Барзгар өнгөлгөөний холбоос руу шууд орж, процессын урсгалыг богиносгож болно.

2. Тууштай байдал: багц дахь вафельний зузаанын хазайлт нь автоматжуулсан үйлдвэрлэлд тохиромжтой <±3% байна.

3.Хэрэглэх чадвар: 4H/6H-SiC ембүү хайчлах, дамжуулагч/хагас тусгаарлагдсан төрөлд нийцэх.

Техникийн тодорхойлолт:

Тодорхойлолт	Дэлгэрэнгүй мэдээлэл
Хэмжээ (L × W × H)	2500x2300x2500 эсвэл өөрчлөх
Боловсруулах материалын хэмжээсийн хүрээ	4, 6, 8, 10, 12 инч цахиурын карбид
Гадаргуугийн барзгар байдал	Ra≤0.3u
Дундаж зүсэх хурд	0.3мм/мин
Жин	5.5 тонн
Таслах процессыг тохируулах алхамууд	≤30 алхам
Тоног төхөөрөмжийн дуу чимээ	≤80 дБ
Ган утасны хурцадмал байдал	0~110N(0.25 утасны хүчдэл 45Н)
Ган утасны хурд	0~30м/С
Нийт хүч	50 кВт
Алмазан утасны диаметр	≥0.18мм
Төгсгөлийн тэгш байдал	≤0.05мм
Зүсэх, таслах хурд	≤1% (хүний шалтгаан, цахиурын материал, шугам, засвар үйлчилгээ болон бусад шалтгаанаас бусад)

XKH үйлчилгээ:

XKH нь цахиурын карбидын алмаазан утас хайчлах машины бүх үйл явцын үйлчилгээг үзүүлдэг бөгөөд үүнд тоног төхөөрөмжийн сонголт (утасны диаметр/утасны хурдыг тохируулах), процесс боловсруулах (таслах параметрийн оновчлол), хэрэглээний материалын нийлүүлэлт (алмазын утас, чиглүүлэгч дугуй) болон борлуулалтын дараах дэмжлэг (тоног төхөөрөмжийн засвар үйлчилгээ, зүсэлтийн чанарын шинжилгээ) зэрэг үйлчилгээ үзүүлдэг. Энэ нь мөн 4-8 долоо хоногийн хугацаатай өөрчилсөн шинэчлэлтүүдийг (хэт нимгэн зүсэх, автоматаар ачих, буулгах гэх мэт) санал болгодог.