Цахиурын карбидын керамик тавиур сорогч Цахиурын карбидын керамик хоолой нь өндөр температурт хайлуулах захиалгат боловсруулалт хийдэг
Үндсэн онцлогууд:
1. Цахиурын карбидын керамик тавиур
- Өндөр хатуулаг ба элэгдэлд тэсвэртэй: хатуулаг нь алмаазтай ойролцоо бөгөөд вафли боловсруулах явцад механик элэгдлийг удаан хугацаанд тэсвэрлэх чадвартай.
- Өндөр дулаан дамжуулалт ба бага дулааны тэлэлтийн коэффициент: хурдан дулаан тархалт ба хэмжээст тогтвортой байдал, дулааны стрессээс үүдэлтэй деформациас зайлсхийдэг.
- Өндөр тэгш байдал болон гадаргуугийн өнгөлгөө: Гадаргуугийн тэгш байдал нь микроны түвшинд хүрдэг тул хавтан болон дискний хооронд бүрэн холбоо тогтоож, бохирдол болон эвдрэлийг бууруулдаг.
Химийн тогтвортой байдал: Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлд нойтон цэвэрлэгээ болон сийлбэрийн процесст тохиромжтой, зэврэлтэнд тэсвэртэй.
2. Цахиурын карбидын керамик хоолой
- Өндөр температурт тэсвэртэй: Энэ нь 1600°C-аас дээш өндөр температурт удаан хугацаанд ажиллах боломжтой бөгөөд хагас дамжуулагч өндөр температурын процесст тохиромжтой.
Зэврэлтэнд маш сайн тэсвэртэй: хүчил, шүлт болон янз бүрийн химийн уусгагч бодисуудад тэсвэртэй, хатуу ширүүн орчинд тохиромжтой.
- Өндөр хатуулаг ба элэгдэлд тэсвэртэй: бөөмсийн элэгдэл болон механик элэгдэлд тэсвэртэй, ашиглалтын хугацааг уртасгана.
- Өндөр дулаан дамжуулалт ба дулааны тэлэлтийн бага коэффициент: дулааныг хурдан дамжуулах ба хэмжээст тогтвортой байдал, дулааны стрессээс үүдэлтэй деформаци эсвэл хагарлыг бууруулдаг.
Бүтээгдэхүүний параметрүүд：
Цахиурын карбидын керамик тавиурын параметр:
| (Материаллаг өмч) | (Нэгж) | (ssic) | |
| (SiC агууламж) | (Жин)% | >99 | |
| (Үр тарианы дундаж хэмжээ) | микрон | 4-10 | |
| (Нягтрал) | кг/дм3 | >3.14 | |
| (Ил харагдаж буй сүвэрхэг чанар) | Vo1% | <0.5 | |
| (Викерсийн хатуулаг) | HV 0.5 | GPa | 28 |
| *() Гулзайлтын бат бэх* (гурван оноо) | 20ºC | МПа | 450 |
| (Шахалтын бат бэх) | 20ºC | МПа | 3900 |
| (Уян хатан модуль) | 20ºC | GPa | 420 |
| (Эвдрэлийн бат бөх чанар) | МПа/м'% | 3.5 | |
| (Дулаан дамжуулалт) | 20°ºC | Вт/(м*К) | 160 |
| (Эсэргүүцэл) | 20°ºC | Ом.см | 106-108 |
(Дулааны тэлэлтийн коэффициент) | a(RT**...80ºC) | K-1*10-6 | 4.3 |
(Ажиллах хамгийн их температур) | оºC | 1700 он | |
Цахиурын карбидын керамик хоолойн параметрүүд:
| Зүйлс | Индекс |
| α-SIC | 99% хамгийн бага |
| Илэрхий сүвэрхэг байдал | Дээд тал нь 16% |
| Бөөн нягтрал | 2.7г/см3 мин |
| Өндөр температурт гулзайлтын бат бэх | 100 МПа мин |
| Дулааны тэлэлтийн коэффициент | K-1 4.7x10 -6 |
| Дулаан дамжуулах коэффициент (1400ºC) | 24 Вт/мк |
| Хамгийн их ажлын температур | 1650ºC |
Үндсэн хэрэглээ:
1. Цахиурын карбидын керамик хавтан
- Вафер зүсэх болон өнгөлөх: зүсэх болон өнгөлөх явцад өндөр нарийвчлал, тогтвортой байдлыг хангахын тулд холхивчийн тавцан болж үйлчилдэг.
- Литографийн процесс: Илрүүлэх явцад өндөр нарийвчлалтай байрлалыг хангахын тулд вафлийг литографийн машинд бэхэлсэн.
- Химийн механик өнгөлгөө (ХМӨ): өнгөлгөөний дэвсгэрийг дэмжих тавцан болж, жигд даралт болон дулааны хуваарилалтыг хангана.
2. Цахиурын карбидын керамик хоолой
- Өндөр температурт зуухны хоолой: өндөр температурт боловсруулалт хийх зориулалттай вафли зөөвөрлөх зорилгоор диффузийн зуух, исэлдүүлэх зуух зэрэг өндөр температурт тоног төхөөрөмжид ашигладаг.
- CVD/PVD процесс: Урвалын камерт холхивчийн хоолой болгон ашигладаг, өндөр температур болон идэмхий хийд тэсвэртэй.
- Хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмжийн дагалдах хэрэгсэл: дулаан солилцуур, хийн хоолой гэх мэт тоног төхөөрөмжийн дулааны удирдлагын үр ашгийг дээшлүүлэх зориулалттай.
XKH нь цахиурын карбидын керамик тавиур, сорох аяга болон цахиурын карбидын керамик хоолойд зориулсан бүрэн хэмжээний захиалгат үйлчилгээг санал болгодог. XKH цахиурын карбидын керамик тавиур болон сорох аяга нь янз бүрийн хэмжээ, хэлбэр, гадаргуугийн барзгар байдлыг хэрэглэгчийн шаардлагад нийцүүлэн өөрчилж, тусгай бүрэх боловсруулалтыг дэмжиж, элэгдэлд тэсвэртэй байдал болон зэврэлтээс хамгаалах чадварыг нэмэгдүүлдэг; цахиурын карбидын керамик хоолойн хувьд XKH нь янз бүрийн дотоод диаметр, гадна диаметр, урт, нарийн төвөгтэй бүтэц (хэлбэрийн хоолой эсвэл сүвэрхэг хоолой гэх мэт)-ийг өөрчилж, өнгөлгөө, исэлдэлтийн эсрэг бүрхүүл болон бусад гадаргуугийн боловсруулалтын процессыг хангаж чаддаг. XKH нь хэрэглэгчид хагас дамжуулагч, LED, фотоволтайк зэрэг өндөр зэрэглэлийн үйлдвэрлэлийн салбарын эрэлт хэрэгцээг хангахын тулд цахиурын карбидын керамик бүтээгдэхүүний гүйцэтгэлийн давуу талыг бүрэн ашиглах боломжийг олгодог.
Дэлгэрэнгүй диаграмм
