Цахиурын карбидын керамик тавиур сорогч Цахиурын карбидын керамик хоолой нийлүүлэх өндөр температурт агломерын гаалийн боловсруулалт
Гол онцлогууд:
1. Цахиурын карбидын керамик тавиур
- Өндөр хатуулаг ба элэгдэлд тэсвэртэй: хатуулаг нь алмазтай ойролцоо бөгөөд өрмөнцөр боловсруулах явцад механик элэгдлийг удаан хугацаанд тэсвэрлэдэг.
- Өндөр дулаан дамжилтын илтгэлцүүр, дулааны тэлэлтийн бага коэффициент: дулааны хурдацтай тархалт ба хэмжээсийн тогтвортой байдал, дулааны стрессээс үүдэлтэй хэв гажилтаас зайлсхийх.
- Өндөр тэгш байдал, гадаргуугийн өнгөлгөө: Гадаргуугийн тэгш байдал нь микроны түвшинд хүрч, хавтан ба дискний хооронд бүрэн холбоо барьж, бохирдол, гэмтлийг багасгана.
Химийн тогтвортой байдал: Хүчтэй зэврэлтэнд тэсвэртэй, хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн нойтон цэвэрлэгээ, сийлбэрийн процесст тохиромжтой.
2. Цахиурын карбидын керамик хоолой
- Өндөр температурт тэсвэртэй: 1600 ° C-аас дээш өндөр температурт удаан хугацаанд ажиллах боломжтой, хагас дамжуулагч өндөр температурт ажиллахад тохиромжтой.
Маш сайн зэврэлтэнд тэсвэртэй: хүчил, шүлт болон төрөл бүрийн химийн уусгагчд тэсвэртэй, хатуу ширүүн үйл явцын орчинд тохиромжтой.
- Өндөр хатуулаг, элэгдэлд тэсвэртэй: бөөмийн элэгдэл, механик элэгдэлд тэсвэртэй, үйлчилгээний хугацааг уртасгана.
- Өндөр дулаан дамжилтын илтгэлцүүр, дулааны тэлэлтийн бага коэффициент: дулааныг хурдан дамжуулах, хэмжээсийн тогтвортой байдал, дулааны стрессээс үүссэн хэв гажилт, хагарлыг багасгах.
Бүтээгдэхүүний параметр:
Цахиурын карбидын керамик тавиурын параметр:
| (материаллаг өмч) | (нэгж) | (ssic) | |
| (SiC контент) | (Wt)% | >99 | |
| (Үр тарианы дундаж хэмжээ) | микрон | 4-10 | |
| (нягтрал) | кг/дм3 | >3.14 | |
| (Илдэг сүвэрхэг) | Vo1% | <0.5 | |
| (Виккерсийн хатуулаг) | HV 0.5 | GPA | 28 |
| *() Гулзайлтын бат бэх* (гурван оноо) | 20ºC | МПа | 450 |
| (Шахалтын хүч) | 20ºC | МПа | 3900 |
| (Уян хатан модуль) | 20ºC | GPA | 420 |
| (Хугарлын хатуулаг) | МПа/м'% | 3.5 | |
| (Дулаан дамжилтын илтгэлцүүр) | 20°С | В/(м*К) | 160 |
| (эсэргүүцэл) | 20°С | Ом.см | 106-108 |
(Дулааны тэлэлтийн коэффициент) | a(RT**...80ºC) | К-1*10-6 | 4.3 |
(Ашиглалтын хамгийн их температур) | oºC | 1700 | |
Цахиурын карбидын керамик хоолойн параметр:
| Эд зүйлс | Индекс |
| α-SIC | 99% мин |
| Илэрхий нүхжилт | 16% дээд тал нь |
| Бөөн нягтрал | 2.7г/см3 мин |
| Өндөр температурт гулзайлтын бат бэх | 100 Мпа мин |
| Дулааны тэлэлтийн коэффициент | К-1 4.7х10 -6 |
| Дулаан дамжилтын илтгэлцүүр (1400ºC) | 24 Вт/мк |
| Макс. Ажлын температур | 1650ºC |
Үндсэн програмууд:
1. Цахиурын карбидын керамик хавтан
- Өрөөвч зүсэх, өнгөлөх: зүсэх, өнгөлөх явцад өндөр нарийвчлал, тогтвортой байдлыг хангахын тулд даацын тавцан болж үйлчилдэг.
- Литографийн үйл явц: Өргөтгөл нь өртөх үед өндөр нарийвчлалтай байрлалыг баталгаажуулахын тулд литографийн машинд бэхлэгдсэн байдаг.
- Химийн механик өнгөлгөө (CMP) : дэвсгэр өнгөлгөөний туслах тавцан болж, жигд даралт, дулаан хуваарилалтыг хангана.
2. Цахиурын карбидын керамик хоолой
- Өндөр температурт зуухны хоолой: өндөр температурт боловсруулалт хийх зориулалттай вафель зөөвөрлөхийн тулд диффузийн зуух, исэлдэлтийн зуух зэрэг өндөр температурт төхөөрөмжид ашигладаг.
- CVD/PVD процесс: Урвалын камерт холхивчийн хоолой болгон, өндөр температур, идэмхий хийд тэсвэртэй.
- Хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн дагалдах хэрэгсэл: дулаан солилцогч, хий дамжуулах хоолой гэх мэт тоног төхөөрөмжийн дулааны удирдлагын үр ашгийг дээшлүүлэх.
XKH нь цахиурын карбидын керамик тавиур, сорох аяга, цахиур карбидын керамик хоолойн захиалгат иж бүрэн үйлчилгээг санал болгож байна. Цахиурын карбидын керамик тавиур, сорох аяга, XKH нь янз бүрийн хэмжээ, хэлбэр, гадаргуугийн барзгар байдлыг хэрэглэгчийн шаардлагын дагуу өөрчилж, тусгай бүрэх боловсруулалтыг дэмжиж, элэгдэлд тэсвэртэй, зэврэлтэнд тэсвэртэй; Цахиур карбидын керамик хоолойн хувьд XKH нь төрөл бүрийн дотоод диаметр, гадна диаметр, урт, нарийн төвөгтэй бүтцийг (хэлбэрийн хоолой эсвэл сүвэрхэг хоолой гэх мэт) тохируулж, өнгөлөх, исэлдэлтийн эсрэг бүрэх болон бусад гадаргуугийн боловсруулалт хийх боломжтой. XKH нь хагас дамжуулагч, LED болон фотоволтайк зэрэг өндөр зэрэглэлийн үйлдвэрлэлийн салбаруудын эрэлт хэрэгцээг хангахын тулд цахиурын карбидын керамик бүтээгдэхүүний гүйцэтгэлийн давуу талыг бүрэн ашиглах боломжийг хэрэглэгчдэд баталгаажуулдаг.
Нарийвчилсан диаграмм
