Цахиурын карбидын керамик сэрээтэй гар/гар

Товч тайлбар:

ньЦахиурын карбидын керамик сэрээтэй гар/гарнь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэл, сансар судлалын систем, дэвшилтэт робот техник зэрэг хүнд нөхцөлд ашиглахад зориулагдсан өндөр нарийвчлалтай, өндөр бат бэхтэй эд анги юм. Энэ нь давхар үүрэг гүйцэтгэдэг -сэрээ хэлбэртэй тулгуур бүтэцмөнробот гар шиг төгсгөлийн эффектор—энэхүү бүрэлдэхүүн хэсэг нь эмзэг эсвэл үнэ цэнэтэй эд ангиудыг зохицуулах, дэмжих эсвэл зөөвөрлөхөд хосгүй олон талт байдлыг санал болгодог.

Дэвшилтэт керамик боловсруулалтын техник ашиглан үйлдвэрлэсэн SiC сэрээтэй гар/гар нь дараах өвөрмөц хослолыг бий болгодогмеханик хатуулаг, дулааны тогтвортой байдал, бахимийн эсэргүүцэл, энэ нь стресс болон онцгой нөхцөлд удаан хугацааны гүйцэтгэл шаарддаг системд уламжлалт металл эсвэл полимер гарыг орлоход тохиромжтой болгодог.

Бидэнд имэйл илгээх

Онцлог шинж чанарууд

Дэлгэрэнгүй диаграмм

Цахиурын карбидын керамик сэрээтэй гар/гарын танилцуулга

ньЦахиурын карбидын керамик сэрээтэй гар/гарнь өндөр нарийвчлалтай автоматжуулалтын системд, ялангуяа хагас дамжуулагч болон оптик үйлдвэрлэлийн салбарт зориулан боловсруулсан дэвшилтэт боловсруулалтын бүрэлдэхүүн хэсэг юм. Энэхүү бүрэлдэхүүн хэсэг нь вафли боловсруулахад оновчтой болгосон өвөрмөц U хэлбэрийн загвартай бөгөөд хэт туйлын орчны нөхцөлд механик бат бөх чанар болон хэмжээст нарийвчлалыг баталгаажуулдаг. Өндөр цэвэршилттэй цахиурын карбидын керамикаар хийгдсэнсэрээтэй гар/гаронцгой хатуулаг, дулааны тогтвортой байдал, химийн бодисын эсэргүүцлийг хангадаг.

Хагас дамжуулагч төхөөрөмжүүд илүү нарийн геометр болон илүү хатуу хүлцэл рүү шилжих тусам бохирдолгүй, дулаанд тэсвэртэй эд ангиудын эрэлт хэрэгцээ чухал болж байна.Цахиурын карбидын керамик сэрээтэй гар/гарбага тоосонцор үүсэх, хэт гөлгөр гадаргуу, бат бөх бүтцийн бүрэн бүтэн байдлыг санал болгосноор энэхүү сорилтыг даван туулдаг. Энэхүү эд анги нь хавтангийн тээвэрлэлт, суурь байрлуулах эсвэл робот багажны толгойн аль алинд нь найдвартай, удаан эдэлгээтэй байхаар бүтээгдсэн.

Үүнийг сонгох гол шалтгаануудЦахиурын карбидын керамик сэрээтэй гар/гарүүнд:

Хэмжээст нарийвчлалын хувьд хамгийн бага дулааны тэлэлт
Урт хугацааны үйлчилгээний хугацаатай өндөр хатуулаг
Хүчил, шүлт болон урвалд ордог хийд тэсвэртэй байдал
ISO 1 ангиллын цэвэр өрөөний орчинтой нийцтэй байдал

Цахиурын карбидын керамик сэрээтэй гар/гарын үйлдвэрлэлийн зарчим

ньЦахиурын карбидын керамик сэрээтэй гар/гарматериалын дээд зэргийн шинж чанар болон хэмжээст тогтвортой байдлыг хангах зорилгоор бүтээгдсэн өндөр хяналттай керамик боловсруулалтын ажлын урсгалаар үйлдвэрлэгддэг.

1. Нунтаг бэлтгэх

Энэ үйл явц нь хэт нарийн ширхэгтэй цахиурын карбидын нунтаг сонгохоос эхэлдэг. Эдгээр нунтагыг нягтруулах, нягтруулах ажлыг хөнгөвчлөхийн тулд холбогч болон шатаах туслах бодисуудтай хольдог. Үүний тулдсэрээтэй гар/гар, β-SiC эсвэл α-SiC нунтагыг хатуулаг болон бат бөх чанарыг хангахын тулд ашигладаг.

2. Хэлбэржүүлэх болон урьдчилан хэлбэржүүлэх

Нарийн төвөгтэй байдлаас хамаарансэрээтэй гар/гарДизайн, эд ангийг изостатик шахалт, шахах хэв, эсвэл гулсах цутгамал ашиглан хэлбэржүүлдэг. Энэ нь нарийн төвөгтэй геометр болон нимгэн ханатай бүтэц бий болгох боломжийг олгодог бөгөөд энэ нь хөнгөн шинж чанартай холбоотой юм.Цахиурын карбидын керамик сэрээтэй гар/гар.

3. Өндөр температурт хайлуулах

Шахмалжуулалтыг вакуум эсвэл аргон агаар мандалд 2000°C-аас дээш температурт гүйцэтгэдэг. Энэ үе шат нь ногоон биеийг бүрэн нягтруулсан керамик бүрэлдэхүүн хэсэг болгон хувиргадаг. Шахмалжуулалтсэрээтэй гар/гаронолын нягтралтай ойролцоо нягтралд хүрч, гайхалтай механик болон дулааны шинж чанарыг хангадаг.

4. Нарийвчлалтай Машинист

Шалгууржуулалтын дараахЦахиурын карбидын керамик сэрээтэй гар/гаралмазан нунтаглах болон CNC боловсруулалтад ордог. Энэ нь ±0.01 мм дотор тэгш байдлыг хангаж, автоматжуулсан системд суурилуулахад чухал ач холбогдолтой бэхэлгээний нүх болон байршлын онцлогуудыг оруулах боломжийг олгодог.

5. Гадаргуугийн өнгөлгөө

Өнгөлгөө нь гадаргуугийн барзгар байдлыг бууруулдаг (Ra < 0.02 μm) бөгөөд энэ нь тоосонцор үүсэхийг бууруулахад зайлшгүй шаардлагатай. Плазмын эсэргүүцлийг сайжруулах эсвэл статик эсрэг шинж чанар зэрэг функцийг нэмэхийн тулд CVD бүрхүүлийг нэмэлтээр хэрэглэж болно.

Энэ үйл явцын туршид чанарын хяналтын протоколуудыг ашиглан баталгаажуулдагЦахиурын карбидын керамик сэрээтэй гар/гархамгийн мэдрэмтгий програмуудад найдвартай ажилладаг.

Цахиурын карбидын керамик сэрээний гар/гарын параметрүүд

CVD-SIC бүрхүүлийн үндсэн үзүүлэлтүүд
SiC-CVD-ийн шинж чанарууд
Кристал бүтэц	FCC β үе шат
Нягтрал	г/см³	3.21
Хатуулаг	Викерсийн хатуулаг	2500
Үр тарианы хэмжээ	мкм	2~10
Химийн цэвэр байдал	%	99.99995
Дулааны багтаамж	J·kg-1 ·K-1	640
Сублимацийн температур	℃	2700
Булчингийн хүч чадал	МПа (RT 4 цэг)	415
Янгийн модуль	Gpa (4pt нугалалт, 1300℃)	430
Дулааны тэлэлт (ДТТ)	10-6K-1	4.5
Дулаан дамжуулалт	(Вт/мК)	300

Цахиурын карбидын керамик сэрээтэй гар/гарын хэрэглээ

ньЦахиурын карбидын керамик сэрээтэй гар/гарөндөр цэвэршилт, тогтвортой байдал, механик нарийвчлал чухал ач холбогдолтой салбаруудад өргөн хэрэглэгддэг. Үүнд:

1. Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэл

Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлдЦахиурын карбидын керамик сэрээтэй гар/гарцахиурын вафлиг сийлбэрийн камер, тунадасжуулалтын систем, хяналтын тоног төхөөрөмж зэрэг процессын багаж хэрэгсэл дотор тээвэрлэхэд ашигладаг. Дулааны эсэргүүцэл болон хэмжээст нарийвчлал нь вафлигийн буруу байрлал болон бохирдлыг багасгахад тохиромжтой.

2. Дэлгэцийн самбар үйлдвэрлэл

OLED болон LCD дэлгэцийн үйлдвэрлэлд,сэрээтэй гар/гархэврэг шилэн суурьтай ажиллахад ашигладаг сонгох ба байрлуулах системд ашигладаг. Бага жинтэй, өндөр хатуулагтай тул чичиргээ болон хазайлтгүйгээр хурдан бөгөөд тогтвортой хөдөлгөөн хийх боломжийг олгодог.

3. Оптик ба Фотоник Системүүд

Линз, толь эсвэл фотоник чипийг тохируулах, байрлуулахын тулдЦахиурын карбидын керамик сэрээтэй гар/гарчичиргээгүй дэмжлэг үзүүлдэг бөгөөд лазер боловсруулалт болон нарийвчлалын хэмжилзүйн хэрэглээнд чухал ач холбогдолтой.

4. Агаарын болон вакуум системүүд

Агаарын сансрын оптик систем болон вакуум багаж хэрэгсэлд энэхүү бүрэлдэхүүн хэсгийн соронзон бус, зэврэлтэнд тэсвэртэй бүтэц нь урт хугацааны тогтвортой байдлыг хангадаг.сэрээтэй гар/гармөн хэт өндөр вакуум (UHV) орчинд хий ялгаруулахгүйгээр ажиллах боломжтой.

Эдгээр бүх салбарт,Цахиурын карбидын керамик сэрээтэй гар/гарнайдвартай байдал, цэвэр байдал, ашиглалтын хугацаандаа уламжлалт металл эсвэл полимер хувилбаруудаас илүү сайн гүйцэтгэлтэй.

en_177_d780dae2bf2639e7dd5142ca3d29c41d_зураг

Цахиурын карбидын керамик сэрээтэй гар/гарын талаар байнга асуудаг асуултууд

А1: Цахиурын карбидын керамик сэрээний гар/гар ямар хэмжээтэй вафлийг дэмждэг вэ?

ньсэрээтэй гар/гар150 мм, 200 мм, 300 мм-ийн вафлигуудыг дэмжихээр өөрчилж болно. Сэрээний урт, гарны өргөн, нүхний хээг таны тодорхой автоматжуулалтын платформд тохируулан өөрчилж болно.

А2: Цахиурын карбидын керамик сэрээний гар/гар нь вакуум системтэй нийцдэг үү?

Тийм ээ.сэрээтэй гар/гарБага вакуум болон хэт өндөр вакуум системд тохиромжтой. Энэ нь хий ялгаруулах түвшин багатай бөгөөд тоосонцор ялгаруулдаггүй тул цэвэр өрөө болон вакуум орчинд тохиромжтой.

А3: Сэрээний гар/гарт бүрхүүл эсвэл гадаргуугийн өөрчлөлт нэмж болох уу?

Мэдээж.Цахиурын карбидын керамик сэрээтэй гар/гарПлазмын эсэргүүцэл, статик эсрэг шинж чанар эсвэл гадаргуугийн хатуулгийг сайжруулахын тулд CVD-SiC, нүүрстөрөгч эсвэл оксидын давхаргаар бүрж болно.

А4: Сэрээний гар/гарын чанарыг хэрхэн баталгаажуулдаг вэ?

Тус бүрЦахиурын карбидын керамик сэрээтэй гар/гарCMM болон лазер хэмжилзүйн багаж хэрэгслийг ашиглан хэмжээст үзлэгт хамрагддаг. Гадаргуугийн чанарыг ISO болон SEMI стандартад нийцүүлэхийн тулд SEM болон холбоо барихгүй профилометрийн аргаар үнэлдэг.

А5: Захиалгат сэрээ гар/гар захиалга хийхэд хүргэх хугацаа хэд вэ?

Хүргэлтийн хугацаа нь нарийн төвөгтэй байдал болон тоо хэмжээнээс хамааран ихэвчлэн 3-5 долоо хоногийн хооронд хэлбэлздэг. Яаралтай хүсэлтийн хувьд хурдан туршилтын загвар гаргах боломжтой.

Эдгээр Түгээмэл Асуултууд нь инженерүүд болон худалдан авалтын багуудад сонгохдоо байгаа боломжууд болон сонголтуудыг ойлгоход нь туслах зорилготой юм.Цахиурын карбидын керамик сэрээтэй гар/гар.

Бидний тухай

XKH нь тусгай оптик шил болон шинэ болор материалын өндөр технологийн хөгжил, үйлдвэрлэл, борлуулалтад мэргэшсэн. Манай бүтээгдэхүүнүүд нь оптик электроник, хэрэглээний электроник болон цэргийн салбарт үйлчилдэг. Бид Sapphire оптик эд анги, гар утасны линзний бүрхүүл, керамик, LT, цахиурын карбидын SIC, кварц болон хагас дамжуулагч болор хавтанг санал болгодог. Бид чадварлаг туршлага, дэвшилтэт тоног төхөөрөмжөөрөө тэргүүлэгч оптоэлектроник материалын өндөр технологийн аж ахуйн нэгж болох зорилготойгоор стандарт бус бүтээгдэхүүн боловсруулах чиглэлээр тэргүүлэгч юм.