Цахиурын карбидын керамик сэрээ гар/гар

Цахиур карбидын керамик сэрээ гар/гар Онцлох зураг

Богино тайлбар:

TheЦахиурын карбидын керамик сэрээ гар/гарнь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэл, сансрын систем, дэвшилтэт робот техник зэрэг эрэлт хэрэгцээтэй орчинд хэрэглэхэд зориулагдсан өндөр нарийвчлалтай, өндөр бат бэх бүрэлдэхүүн хэсэг юм. Хоёрдмол үүрэгтэйгээр—асалаа хэлбэрийн тулгуур бүтэцболон aробот гар шиг төгсгөлийн эффект-энэ бүрэлдэхүүн хэсэг нь эмзэг эсвэл үнэ цэнэтэй эд ангиудыг зохицуулах, дэмжих, шилжүүлэх хосгүй олон талт байдлыг санал болгодог.

Керамик боловсруулах дэвшилтэт техникийг ашиглан үйлдвэрлэсэн SiC сэрээ/гар нь өвөрмөц хослолыг хангадаг.механик хатуу байдал, дулааны тогтвортой байдал, бахимийн эсэргүүцэлЭнэ нь стресс болон эрс тэс нөхцөлд урт хугацааны гүйцэтгэл шаарддаг системд ердийн металл эсвэл полимер гарыг хамгийн тохиромжтой орлуулах болно.

Бидэн рүү имэйл илгээнэ үү

Онцлогууд

Нарийвчилсан диаграмм

Цахиурын карбидын керамик сэрээ гар/гарыг танилцуулж байна

TheЦахиурын карбидын керамик сэрээ гар/гарЭнэ нь өндөр нарийвчлалтай автоматжуулалтын систем, ялангуяа хагас дамжуулагч болон оптикийн үйлдвэрүүдэд зориулагдсан дэвшилтэт зохицуулалтын бүрэлдэхүүн хэсэг юм. Энэхүү бүрэлдэхүүн хэсэг нь байгаль орчны эрс тэс нөхцөлд механик бат бөх байдал, хэмжээсийн нарийвчлалыг хангадаг өрмөнцөртэй харьцахад оновчтой U хэлбэрийн өвөрмөц дизайнтай. Өндөр цэвэршилттэй цахиурын карбидын керамикаар урласансэрээ гар/гаронцгой хатуулаг, дулааны тогтвортой байдал, химийн эсэргүүцлийг хангадаг.

Хагас дамжуулагч төхөөрөмжүүд илүү нарийн геометр, илүү хатуу хүлцэл рүү шилжих тусам бохирдолгүй, дулааны тогтвортой бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн эрэлт хэрэгцээ чухал болж байна. TheЦахиурын карбидын керамик сэрээ гар/гартоосонцор бага үүсгэх, хэт гөлгөр гадаргуу, бат бөх бүтцийн бүрэн бүтэн байдлыг санал болгосноор энэ сорилтыг даван туулж байна. Өргөст цаасны тээвэрлэлт, субстратын байршил эсвэл робот багажны толгойн аль нь ч бай, энэ бүрэлдэхүүн хэсэг нь найдвартай, урт наслахад зориулагдсан.

Үүнийг сонгох гол шалтгаануудЦахиурын карбидын керамик сэрээ гар/гарҮүнд:

Хэмжээний нарийвчлалын хувьд хамгийн бага дулааны тэлэлт
Үйлчилгээний урт удаан хугацаанд өндөр хатуулагтай
Хүчил, шүлт, реактив хийд тэсвэртэй
ISO 1-р ангиллын цэвэр өрөөний орчинд нийцтэй

Цахиурын карбидын керамик сэрээ гар/гарын үйлдвэрлэлийн зарчим

TheЦахиурын карбидын керамик сэрээ гар/гарМатериалын дээд зэргийн шинж чанар, хэмжээст нийцтэй байдлыг хангах зорилготой өндөр хяналттай керамик боловсруулах ажлын урсгалаар үйлдвэрлэгддэг.

1. Нунтаг бэлтгэх

Уг процесс нь хэт нарийн ширхэгтэй цахиурын карбидын нунтаг сонгохоос эхэлдэг. Эдгээр нунтаг нь нягтрал, нягтралыг хөнгөвчлөхийн тулд холбогч бодис, агломерын туслах бодисуудтай холилдоно. Үүний төлөөсэрээ гар/гар, β-SiC эсвэл α-SiC нунтаг нь хатуулаг, бат бөх чанарыг хангахад ашиглагддаг.

2. Хэлбэржүүлэх, урьдчилан бэлтгэх

Нарийн төвөгтэй байдлаас хамаарансэрээ гар/гардизайны хувьд хэсэг нь изостатик шахалт, шахах хэлбэр, эсвэл гулсуур цутгамал ашиглан хэлбэрждэг. Энэ нь нарийн төвөгтэй геометр, нимгэн ханатай бүтцийг бий болгох боломжийг олгодог бөгөөд энэ нь хөнгөн жингийн хувьд чухал ач холбогдолтой юм.Цахиурын карбидын керамик сэрээ гар/гар.

3. Өндөр температурт шингэлэх

Синтеринг нь 2000 ° C-аас дээш температурт вакуум эсвэл аргоны орчинд хийгддэг. Энэ үе шат нь ногоон биеийг бүрэн нягтруулсан керамик бүрэлдэхүүн хэсэг болгон хувиргадаг. нийлсэнсэрээ гар/гаронолын нягтралд хүрч, гайхалтай механик болон дулааны шинж чанарыг хангадаг.

4. Нарийвчилсан боловсруулалт

Аглуулалтын дараах, theЦахиурын карбидын керамик сэрээ гар/гаралмаз нунтаглах, CNC боловсруулах ажил хийдэг. Энэ нь ±0.01 мм-ийн дотор тэгш байдлыг баталгаажуулж, автоматжуулсан системд суурилуулахад чухал ач холбогдолтой холбох нүх, байршлыг тогтоох шинж чанаруудыг оруулах боломжийг олгодог.

5. Гадаргуугийн өнгөлгөө

Өнгөлгөө нь гадаргуугийн барзгаржилтыг (Ra < 0.02 μm) багасгадаг бөгөөд энэ нь тоосонцор үүсэхийг багасгахад зайлшгүй шаардлагатай. Цусны сийвэнгийн эсэргүүцлийг сайжруулах эсвэл статикийн эсрэг үйлдэл гэх мэт функцийг нэмэхийн тулд нэмэлт CVD бүрээсийг хэрэглэж болно.

Энэ үйл явцын туршид чанарын хяналтын протоколыг баталгаажуулахын тулд ашигладагЦахиурын карбидын керамик сэрээ гар/гархамгийн эмзэг хэрэглээнд найдвартай ажилладаг.

Цахиурын карбидын керамик сэрээ гар/гарын параметрүүд

CVD-SIC бүрхүүлийн үндсэн үзүүлэлтүүд
SiC-CVD шинж чанарууд
Кристал бүтэц	FCC β үе шат
Нягт	г/см³	3.21
Хатуу байдал	Викерсийн хатуулаг	2500
Үр тарианы хэмжээ	мкм	2~10
Химийн цэвэр байдал	%	99.99995
Дулааны багтаамж	J·kg-1 ·K-1	640
Сублимацийн температур	℃	2700
Уян эрхтний хүч	МПа (RT 4 оноо)	415
Young's modulus	Gpa (4pt нугалах, 1300℃)	430
Дулааны тэлэлт (CTE)	10-6К-1	4.5
Дулаан дамжилтын илтгэлцүүр	(Вт/мК)	300

Цахиурын карбидын керамик сэрээ гар/гарын хэрэглээ

TheЦахиурын карбидын керамик сэрээ гар/гарӨндөр цэвэршилт, тогтвортой байдал, механик нарийвчлал чухал байдаг салбарт өргөн хэрэглэгддэг. Үүнд:

1. Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл

Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлдЦахиурын карбидын керамик сэрээ гар/гарсиликон ялтсуудыг сийлбэрийн камер, тунгаах систем, хяналтын төхөөрөмж зэрэг технологийн багаж хэрэгслийн дотор тээвэрлэхэд ашигладаг. Түүний дулааны эсэргүүцэл ба хэмжээсийн нарийвчлал нь вафельний буруу байрлал, бохирдлыг багасгахад тохиромжтой.

2. Дэлгэцийн самбар үйлдвэрлэл

OLED болон LCD дэлгэцийн үйлдвэрлэлдсэрээ гар/гарнь хэврэг шилэн дэвсгэртэй харьцдаг сонгох ба байрлуулах системд хэрэглэнэ. Түүний бага масс, өндөр хөшүүн чанар нь чичиргээ, хазайлтгүйгээр хурдан бөгөөд тогтвортой хөдөлгөөнийг бий болгодог.

3. Оптик ба фотоник системүүд

Линз, толь эсвэл фотоник чипүүдийг зэрэгцүүлэх, байрлуулахад зориулагдсанЦахиурын карбидын керамик сэрээ гар/гарлазер боловсруулалт, нарийвчлал хэмжилзүйн хэрэглээнд чухал ач холбогдолтой чичиргээгүй дэмжлэгийг санал болгодог.

4. Агаарын сансрын болон вакуум систем

Сансар огторгуйн оптик систем болон вакуум хэрэгсэлд энэ бүрэлдэхүүн хэсгийн соронзон бус, зэврэлтэнд тэсвэртэй бүтэц нь урт хугацааны тогтвортой байдлыг хангадаг. Theсэрээ гар/гарМөн хэт өндөр вакуумд (UHV) хий гадагшлуулахгүйгээр ажиллах боломжтой.

Эдгээр бүх салбарт,Цахиурын карбидын керамик сэрээ гар/гарнайдвартай байдал, цэвэр байдал, ашиглалтын хугацаа зэргээрээ уламжлалт металл эсвэл полимер хувилбаруудаас давж гардаг.

en_177_d780dae2bf2639e7dd5142ca3d29c41d_зураг

Цахиурын карбидын керамик сэрээ гар/гарын тухай түгээмэл асуултууд

Асуулт 1: Цахиурын карбидын керамик сэрээ гар/гар нь ямар өргүүрийн хэмжээг дэмждэг вэ?

Theсэрээ гар/гар150 мм, 200 мм, 300 мм-ийн ялтсуудыг дэмжихээр тохируулж болно. Сэрээний зай, гарын өргөн, нүхний хэв маягийг автоматжуулалтын тусгай платформд тохируулан тохируулж болно.

Асуулт 2: Цахиурын карбидын керамик сэрээ гар/гар нь вакуум системтэй нийцдэг үү?

Тиймээ. Theсэрээ гар/гарбага вакуум болон хэт өндөр вакуум системд тохиромжтой. Энэ нь хий ялгаруулах хурд багатай, тоосонцор ялгаруулдаггүй тул цэвэр өрөө, вакуум орчинд хэрэглэхэд тохиромжтой.

Асуулт 3: Би салаа гар/гарт өнгөлгөө эсвэл гадаргуугийн өөрчлөлт хийж болох уу?

Мэдээж. TheЦахиурын карбидын керамик сэрээ гар/гарCVD-SiC, нүүрстөрөгч эсвэл ислийн давхаргуудаар бүрж, плазмын эсэргүүцэл, антистатик шинж чанар эсвэл гадаргуугийн хатуулгийг нэмэгдүүлэх боломжтой.

А4: Сэрээ гар/гарын чанарыг хэрхэн баталгаажуулдаг вэ?

Тус бүрЦахиурын карбидын керамик сэрээ гар/гарCMM болон лазер хэмжилзүйн хэрэгслийг ашиглан хэмжээст үзлэгт ордог. Гадаргуугийн чанарыг ISO болон SEMI стандартад нийцүүлэхийн тулд SEM болон контактгүй профилометрээр үнэлдэг.

Асуулт 5: Захиалгат сэрээ гар/гар захиалга өгөх хугацаа хэд вэ?

Хүлээн авах хугацаа нь нарийн төвөгтэй байдал, тоо хэмжээ зэргээс шалтгаалан ихэвчлэн 3-5 долоо хоног байдаг. Яаралтай хүсэлтийн хувьд хурдан загварчлал хийх боломжтой.

Эдгээр түгээмэл асуултууд нь инженерүүд болон худалдан авах ажиллагааны багуудыг сонгохдоо боломж, боломжуудыг ойлгоход туслах зорилготойЦахиурын карбидын керамик сэрээ гар/гар.

Бидний тухай

XKH нь тусгай оптик шил, шинэ болор материалын өндөр технологийн хөгжил, үйлдвэрлэл, борлуулалтаар мэргэшсэн. Манай бүтээгдэхүүнүүд оптик электроник, хэрэглээний цахилгаан хэрэгсэл, цэрэг арми зэрэгт үйлчилдэг. Бид Sapphire оптик эд анги, гар утасны линзний бүрээс, керамик, LT, цахиурын карбид SIC, кварц, хагас дамжуулагч болор хавтан зэргийг санал болгож байна. Чадварлаг туршлага, хамгийн сүүлийн үеийн тоног төхөөрөмжөөр бид стандарт бус бүтээгдэхүүн боловсруулах чиглэлээр тэргүүлж, оптоэлектроник материалын өндөр технологийн тэргүүлэх үйлдвэр байхыг зорьж байна.