Цахиурын карбидын керамик төгсгөлийн эффектор (Сэрээ гар/гарын төрөл)

Цахиурын карбидын керамик төгсгөлийн эффектор (Сэрээтэй гар/гарын төрөл) Онцлох зураг

Товч тайлбар:

Цахиурын карбидын керамик төгсгөлийн эффектор нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэл, фотоник, автоматжуулалтын робот техник, дэвшилтэт материалын боловсруулалтад зориулагдсан өндөр нарийвчлалтай харьцах эд анги юм. Сэрээ гар/гарын тохиргоонд бүтээгдсэн Цахиурын карбидын керамик төгсгөлийн эффектор нь онцгой хэмжээст тогтвортой байдал, хэт өндөр хатуулаг, маш бага бөөмс үүсэх боломжийг олгодог тул мэдрэмтгий вафли болон субстрат дамжуулах үйл ажиллагаанд тохиромжтой.

Бидэнд имэйл илгээх

Онцлог шинж чанарууд

Дэлгэрэнгүй диаграмм

Цахиурын карбидын керамик төгсгөлийн эффектор (Сэрээ гар/гарын төрөл)

Кварцын шилний тойм

ньЦахиурын карбидын керамик төгсгөлийн эффекторнь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэл, фотоник, автоматжуулалтын робот техник, дэвшилтэт материал боловсруулах зориулалттай өндөр нарийвчлалтай боловсруулах эд анги юм. Сэрээ гар/гарын тохиргоонд зохион бүтээгдсэн,Цахиурын карбидын керамик төгсгөлийн эффекторонцгой хэмжээст тогтвортой байдал, хэт өндөр хатуулаг, маш бага бөөмс үүсэх чадварыг хангадаг тул мэдрэмтгий вафли болон субстрат шилжүүлэх үйл ажиллагаанд тохиромжтой.

Уламжлалт металл эсвэл полимер төгсгөлийн багажнаас ялгаатай ньЦахиурын карбидын керамик төгсгөлийн эффекторхэт температур, химийн бодист өртөх, вакуум орчинд хэлбэрийн нарийвчлалыг хадгалах чадвартай. Хэт хавтгай тулгуур гадаргуу нь цахиурын хавтангууд, шилэн суурь, индранил оптик, SiC хавтангууд болон бусад эмзэг материалыг тогтвортой харьцах боломжийг олгодог. Хөнгөн хэрнээ хатуу бүтэцтэй тулЦахиурын карбидын керамик төгсгөлийн эффекторроботын хурдатгалын үед чичиргээг бууруулж, дамжуулах чадварыг нэмэгдүүлж, механик стрессийг багасгадаг.

Бохирдолгүй гүйцэтгэлд зориулагдсан,Цахиурын карбидын керамик төгсгөлийн эффекторFOUP ачааллын портууд, EFEM модулиуд, литографийн систем, вакуум дамжуулах хэрэгсэл, хэмжилзүйн станцуудад өргөн хэрэглэгддэг бөгөөд автоматжуулалтын тоног төхөөрөмж болон үнэ цэнэтэй материалын хооронд найдвартай, өндөр цэвэршилттэй интерфэйсийг бий болгодог.

Үйлдвэрлэлийн зарчим

ньЦахиурын карбидын керамик төгсгөлийн эффекторөндөр цэвэршилт, өндөр нягтрал, урт хугацааны найдвартай байдлыг баталгаажуулдаг тусгай керамик үйлдвэрлэлийн ажлын урсгалаар үйлдвэрлэгддэг. Үйлдвэрлэлийн процессын туршид чанарын хатуу хяналт нь тус бүрийг баталгаажуулдаг.Цахиурын карбидын керамик төгсгөлийн эффекторхагас дамжуулагч ангиллын автоматжуулсан системийн хатуу шаардлагыг хангасан.

1. Материал бэлтгэх

Үйлдвэрлэл нь өндөр цэвэршилттэй SiC нунтаг сонгохоос эхэлдэг. Эдгээр нунтаг нь механик бат бөх, цэвэр байдлыг тодорхойлдог.Цахиурын карбидын керамик төгсгөлийн эффекторТохиромжтой бөөмсийн савлагааг бий болгож, жигд нягтралд хүрэхийн тулд тусгай холбогч болон хайлуулах нэмэлтүүдийг хольдог.

2. Хэлбэржүүлэх ба урьдчилан хэлбэржүүлэх

Ногоон бие ньЦахиурын карбидын керамик төгсгөлийн эффекторизостатик шахалт эсвэл керамик шахах хэвийг ашиглан үүсгэдэг. Энэ нь дотоод согогийг хамгийн бага байлгах стрессийн тэнцвэртэй бүтцийг баталгаажуулдаг. Энэ үе шатанд салаа хэлбэрийн геометрийг вафлийн диаметр болон роботын угсралтын интерфэйстэй тохируулахаар хэлбэржүүлдэг.

3. Өндөр температурт хайлуулах

Хэлбэржүүлсэн эд ангийг 2000°C-аас дээш температурт вакуум эсвэл идэвхгүй агаар мандалд шатаадаг. Энэ үе шатандЦахиурын карбидын керамик төгсгөлийн эффекторонолын нягтралтай ойролцоо түвшинд хүрч, маш сайн хатуулаг, дулааны цохилтод тэсвэртэй байдал, химийн тогтвортой байдлыг хангадаг. Энэ үе шат нь бүрэлдэхүүн хэсгийн механик бүрэн бүтэн байдлыг тодорхойлдог.

4. CNC Нарийвчлалтай Машинист

Шатах процессын дараа алмазан нунтаглах болон олон тэнхлэгтэй CNC боловсруулалт нь геометрийг сайжруулдагЦахиурын карбидын керамик төгсгөлийн эффекторВаферын холбоо барих гадаргуу, бэхэлгээний нүх, тэгшлэх ховил, сэрээний зай зэрэг чухал шинж чанаруудыг ±0.01 мм хүртэлх нягт хүлцэлтэйгээр боловсруулдаг.

5. Гадаргууг өнгөлөх болон цэвэрлэх

Эцэст нь,Цахиурын карбидын керамик төгсгөлийн эффекторхэт нарийн өнгөлгөө болон өндөр цэвэршилттэй хэт авианы цэвэрлэгээнд ордог. Энэ алхам нь гадаргуугийн барзгар байдлыг бууруулж, бичил хэсгүүдийг арилгаж, цэвэр өрөөнд нийцтэй байдлыг хангадаг. Нэмэлт CVD-SiC бүрхүүл эсвэл плазмын тэсвэртэй давхаргууд нь бат бөх чанарыг улам сайжруулж чадна.

Энэхүү нарийн үйлдвэрлэлийн арга барил нь бүх зүйлийг баталгаажуулдагЦахиурын карбидын керамик төгсгөлийн эффекторөндөр нарийвчлалтай автоматжуулалтын орчинд найдвартай ажилладаг.

Аппликейшнүүд

ньЦахиурын карбидын керамик төгсгөлийн эффекторцэвэр байдал, нарийвчлал, найдвартай байдлыг хэлэлцээр хийх боломжгүй салбаруудад зориулагдсан. Сэрээтэй гар/гарын загвар нь робот гар, сонгох болон байрлуулах систем, вакуум дамжуулах хэрэгсэл, дэвшилтэт үзлэгийн платформуудад тохиромжтой.

1. Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэл

Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрүүдэд,Цахиурын карбидын керамик төгсгөлийн эффекторөргөн хэрэглэгддэг:

Вафер ачих/буулгах
FOUP ангилах
Вакуум камерын тээвэрлэлт
Сийлбэр, литографи болон тунадасжуулалтын үйл явц

Хэт цэвэрхэн бас хатууЦахиурын карбидын керамик төгсгөлийн эффектор150 мм-ээс 300 мм-ийн хэмжээтэй хавтангуудыг дэмжиж, вафли гулсах, нугалах, бохирдохоос сэргийлдэг.

2. Фотоник ба оптоэлектроник

Эмзэг линз, оптик төхөөрөмж, GaN суурь болон фотоник чиптэй харьцах зориулалттай,Цахиурын карбидын керамик төгсгөлийн эффекторЧичиргээгүй тогтвортой байдлыг хангадаг. Металл бус шинж чанар нь соронзон хөндлөнгийн оролцоо болон оптик бохирдлоос зайлсхийдэг.

3. Дэлгэц ба самбар үйлдвэрлэл

OLED, QLED, болон LCD хавтангийн үйлдвэрлэлд,Цахиурын карбидын керамик төгсгөлийн эффекторНимгэн шил болон тусгай суурь материалыг аюулгүйгээр зөөвөрлөнө. Химийн хувьд идэвхгүй гадаргуу нь үлдэгдэл болон гадаргуугийн гэмтлээс хамгаална.

4. Агаарын болон вакуум робот техник

Өндөр вакуум камер болон сансрын угсралтын шугамд,Цахиурын карбидын керамик төгсгөлийн эффекторхэмжээст нарийвчлалыг хадгалахын зэрэгцээ өндөр температур, цацраг туяанд өртөх, идэмхий хийд тэсвэртэй.

Эдгээр бүх салбарын хүрээнд,Цахиурын карбидын керамик төгсгөлийн эффекторметалл болон полимер хувилбаруудаас тогтмол илүү сайн гүйцэтгэлтэй.

Түгээмэл асуултууд – Байнга асуудаг асуултууд

А1: Цахиурын карбидын керамик төгсгөлийн эффектор нь захиалгат хэмжээг дэмжиж чадах уу?

Тийм ээ.Цахиурын карбидын керамик төгсгөлийн эффекторямар ч хэмжээтэй хавтангийн хавтангаар хийгдсэн байж болно. Сэрээний зай, зузаан, жин, бэхэлгээний нүхний хээг бүрэн өөрчлөх боломжтой.

А2: Цахиурын карбидын керамик төгсгөлийн эффектор нь вакуум орчинд тохиромжтой юу?

Мэдээж.Цахиурын карбидын керамик төгсгөлийн эффектормаш бага хий ялгаруулдаг бөгөөд металлын бохирдолгүй тул хэт өндөр хүчдэлийн болон цэвэр өрөөний орчинд тохиромжтой.

А3: SiC төгсгөлийн эффектор нь хөнгөн цагаан эсвэл гангаас юугаараа давуу талтай вэ?

A Цахиурын карбидын керамик төгсгөлийн эффекторсанал болгож байна:

Хатуулаг-жингийн харьцаа өндөр
Дулааны тэлэлтийг багасгана
Дээд зэргийн элэгдэлд тэсвэртэй
Плазм болон химийн бодисын эсэргүүцэл сайжирсан
Зэврэлтгүй

Бидний тухай

XKH нь тусгай оптик шил болон шинэ болор материалын өндөр технологийн хөгжил, үйлдвэрлэл, борлуулалтад мэргэшсэн. Манай бүтээгдэхүүнүүд нь оптик электроник, хэрэглээний электроник болон цэргийн салбарт үйлчилдэг. Бид Sapphire оптик эд анги, гар утасны линзний бүрхүүл, керамик, LT, цахиурын карбидын SIC, кварц болон хагас дамжуулагч болор хавтанг санал болгодог. Бид чадварлаг туршлага, дэвшилтэт тоног төхөөрөмжөөрөө тэргүүлэгч оптоэлектроник материалын өндөр технологийн аж ахуйн нэгж болох зорилготойгоор стандарт бус бүтээгдэхүүн боловсруулах чиглэлээр тэргүүлэгч юм.