Цахиурын карбидын консолын сэлүүр (SiC консолын сэлүүр)

Товч тайлбар:

Бидэнд имэйл илгээх

Онцлог шинж чанарууд

Дэлгэрэнгүй диаграмм

Бүтээгдэхүүний тойм

Өндөр хүчин чадалтай урвалд холбогдсон цахиурын карбид (RBSiC)-ээр үйлдвэрлэсэн цахиурын карбидын консолын сэлүүр нь хагас дамжуулагч болон фотоволтайк хэрэглээнд зориулсан вафли ачих, зөөвөрлөх системд ашиглагддаг чухал бүрэлдэхүүн хэсэг юм.
Уламжлалт кварц эсвэл бал чулуун сэлүүртэй харьцуулахад SiC консолын сэлүүр нь механик бат бөх чанар, өндөр хатуулаг, дулааны тэлэлт бага, зэврэлтээс хамгаалах чадвар сайтай. Эдгээр нь өндөр температурт бүтцийн маш сайн тогтвортой байдлыг хадгалж, том хэмжээтэй хавтангууд, ашиглалтын хугацааг уртасгах, бохирдол маш бага байх зэрэг хатуу шаардлагыг хангадаг.

Хагас дамжуулагч процессууд том диаметртэй, өндөр хүчин чадалтай, цэвэр боловсруулалтын орчинтой болохын хэрээр SiC консолын сэлүүрүүд нь уламжлалт материалыг аажмаар сольж, диффузийн зуух, LPCVD болон холбогдох өндөр температурт ажилладаг тоног төхөөрөмжийн хамгийн тохиромжтой сонголт болж байна.

Бүтээгдэхүүний онцлогууд

Маш сайн өндөр температурын тогтвортой байдал
- 1000–1300℃ хэмд хэв гажилтгүй найдвартай ажилладаг.
- Үйлчилгээний хамгийн их температур 1380℃ хүртэл.
Өндөр ачаалал даах чадвар
- Гулзайлтын бат бэх нь 250–280 МПа хүртэл, кварцын сэлүүрээс хамаагүй өндөр.
- Том диаметртэй (300 мм ба түүнээс дээш) вафлитай ажиллах чадвартай.
Үйлчилгээний хугацааг уртасгах ба засвар үйлчилгээ багатай
- Дулааны тэлэлтийн коэффициент багатай (4.5 × 10⁻⁶ K⁻¹), LPCVD бүрэх материалтай сайн зохицсон.
- Стрессээс үүдэлтэй хагарал, гуужилтыг багасгаж, цэвэрлэгээ болон засвар үйлчилгээний мөчлөгийг мэдэгдэхүйц уртасгадаг.
Зэврэлтээс хамгаалах чадвар ба цэвэр байдал
- Хүчил ба шүлтлэг орчинд маш сайн тэсвэртэй.
- Нээлттэй нүх сүвтэй <0.1% нягт бичил бүтэцтэй, бөөмсийн үүсэлт болон хольцын ялгаралтыг багасгадаг.
Автоматжуулалтад нийцтэй дизайн
- Өндөр хэмжээст нарийвчлалтай тогтвортой хөндлөн огтлолын геометр.
- Робот вафли ачих, буулгах системтэй жигд нэгтгэгдэж, бүрэн автоматжуулсан үйлдвэрлэлийг бий болгодог.

Физик ба химийн шинж чанарууд

Зүйл	Нэгж	Өгөгдөл
Үйлчилгээний хамгийн их температур	℃	1380 он
Нягтрал	г/см³	3.04 – 3.08
Нээлттэй сүвэрхэг байдал	%	< 0.1
Гулзайлтын бат бэх	МПа	250 (20℃), 280 (1200℃)
Уян хатан чанарын модуль	GPa	330 (20℃), 300 (1200℃)
Дулаан дамжуулалт	Вт/м·К	45 (1200℃)
Дулааны тэлэлтийн коэффициент	K⁻¹×10⁻⁶	4.5
Викерсийн хатуулаг	HV2	≥ 2100
Хүчил/шүлтлэг эсэргүүцэл	-	Маш сайн

Стандарт урт:2378 мм, 2550 мм, 2660 мм
Хүсэлтийн дагуу захиалгат хэмжээсүүд боломжтой

Аппликейшнүүд

Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэл
- LPCVD (Бага даралттай химийн уурын тунадасжуулалт)
- Диффузийн процессууд (фосфор, бор гэх мэт)
- Дулааны исэлдэлт
Фотоволтайкийн үйлдвэрлэл
- Полисиликон ба монокристалл ваферын тархалт ба бүрхүүл
- Өндөр температурт хайлуулах болон идэвхгүйжүүлэх
Бусад салбарууд
- Өндөр температурт идэмхий орчин
- Урт хугацааны ашиглалтын хугацаа, бага бохирдол шаарддаг нарийн ширхэгтэй вафли боловсруулах системүүд

Хэрэглэгчийн ашиг тус

Үйл ажиллагааны зардлыг бууруулсан– Кварц сэлүүртэй харьцуулахад ашиглалтын хугацаа уртсаж, ажиллахгүй байх хугацаа болон солих давтамжийг багасгана.
Өндөр ургац– Бохирдол маш бага тул вафлийн гадаргуугийн цэвэр байдлыг хангаж, согогийн түвшинг бууруулдаг.
Ирээдүйд зориулагдсан– Том хэмжээтэй вафли болон дараагийн үеийн хагас дамжуулагч процессуудтай нийцтэй.
Бүтээмж сайжирсан– Робот автоматжуулалтын системтэй бүрэн нийцтэй, өндөр хэмжээний үйлдвэрлэлийг дэмждэг.

Түгээмэл асуултууд – Цахиурын карбидын консолын сэлүүр

А1: Цахиурын карбидын консолын сэлүүр гэж юу вэ?
А: Энэ нь урвалд холбогдсон цахиурын карбид (RBSiC)-ээр хийсэн ваферын тулгуур ба харьцах бүрэлдэхүүн хэсэг бөгөөд диффузийн зуух, LPCVD болон бусад өндөр температурт хагас дамжуулагч болон фотоэлектрик процессуудад өргөн хэрэглэгддэг.

А2: Яагаад кварцын сэлүүрээс илүү SiC-г сонгох ёстой вэ?
А: Кварцын сэлүүртэй харьцуулахад SiC сэлүүр нь дараахь зүйлийг санал болгодог.

Илүү өндөр механик бат бөх чанар болон ачаалал даах чадвар
1380℃ хүртэлх температурт илүү сайн дулааны тогтвортой байдал
Үйлчилгээний хугацаа хамаагүй урт бөгөөд засвар үйлчилгээний мөчлөг багассан
Бөөмсийн үүсэлт болон бохирдлын эрсдэл бага
Том хэмжээтэй (300 мм ба түүнээс дээш) вафлитай нийцтэй байдал

А3: SiC консолын сэлүүр ямар хэмжээтэй вафлийг дэмжиж чадах вэ?
А: 2378 мм, 2550 мм, 2660 мм-ийн зуухны системд зориулсан стандарт сэлүүрүүд байдаг. 300 мм ба түүнээс дээш хэмжээтэй вафлигуудыг дэмжих зориулалттай захиалгат хэмжээсүүд байдаг.

Бидний тухай

XKH нь тусгай оптик шил болон шинэ болор материалын өндөр технологийн хөгжил, үйлдвэрлэл, борлуулалтад мэргэшсэн. Манай бүтээгдэхүүнүүд нь оптик электроник, хэрэглээний электроник болон цэргийн салбарт үйлчилдэг. Бид Sapphire оптик эд анги, гар утасны линзний бүрхүүл, керамик, LT, цахиурын карбидын SIC, кварц болон хагас дамжуулагч болор хавтанг санал болгодог. Бид чадварлаг туршлага, дэвшилтэт тоног төхөөрөмжөөрөө тэргүүлэгч оптоэлектроник материалын өндөр технологийн аж ахуйн нэгж болох зорилготойгоор стандарт бус бүтээгдэхүүн боловсруулах чиглэлээр тэргүүлэгч юм.