SiC үрийн бүрхүүл-холбох-шахах нэгдсэн шийдэл

SiC Үрийн Бүрэлт-Бандалт-Шилжилтийн Нэгдсэн Шийдэл Онцлох Зураг

Товч тайлбар:

SiC үрийн холболтыг оператороос хамааралтай ажлаас давтагдах боломжтой, параметрээр удирддаг процесс болгон хувиргах: хяналттай наалдамхай давхаргын зузаан, ослын дэр дарах замаар төвийн тэгшлэлт, вакуум хөөс арилгах, температур/даралтыг тохируулах боломжтой нүүрстөрөгчжүүлэлтийг нэгтгэх. 6/8/12 инчийн үйлдвэрлэлийн хувилбаруудад зориулагдсан.

Бидэнд имэйл илгээх

Онцлог шинж чанарууд

Дэлгэрэнгүй диаграмм

SiC 晶体生长炉 SiC болор ургуулах зуух SiC үр бүрэх – холбох – агнуурын нэгдсэн шийдэл

SiC 喷胶机 SiC Coating Machine SiC Үрийн бүрхүүл–Бондинг–Шилжилтийн нэгдсэн шийдэл

Нарийвчлалтай шүршигч бүрхүүл • Төвийг тэгшлэх наалт • Вакуум хөөс арилгах • Нүүрсжүүлэлт/Шилжилтийн нэгтгэл

Бүтээгдэхүүний тойм

Энэ юу вэ

Энэхүү нэгдсэн шийдэл нь үр/ваферийг бал чулуун цаас/бал чулуун хавтан (болон холбогдох интерфэйсүүд)-тэй холбосон SiC талстын өсөлтийн дээд шатанд зориулагдсан. Энэ нь дараах үйл явцын гогцоог хаадаг:

Бүрхүүл (цавуу цавуу цавуу) → Наалдамхай бодис (тэгшитгэл + шахалт + вакуум хөөс арилгах) → Шатах/Нүүрстөрөгчжүүлэх (баяжуулах ба хатууруулах)

Цавуу үүсэх, бөмбөлөг арилгах, эцсийн нэгтгэх үйл явцыг нэг гинжин хэлхээ болгон хянаснаар шийдэл нь тогтвортой байдал, үйлдвэрлэлийн боломж болон өргөтгөх чадварыг сайжруулдаг.

SiC Үрийн Бүрэлт-Бандалт-Шилжилтийн Нэгдсэн Шийдэл 1

Тохиргооны сонголтууд

А. Хагас автомат шугам
SiC шүршигч бүрэх машин → SiC холбогч машин → SiC хайлуулах зуух

B. Бүрэн автомат шугам
Автомат шүршигч бүрэх ба наалдуулах машин → SiC хайлуулах зуух
Нэмэлт интеграцчилал: робот удирдлага, тохируулга/тохируулалт, ID уншилт, бөмбөлөг илрүүлэлт

SiC Үрийн Бүрэлт-Болдолт-Шилжилтийн Нэгдсэн Шийдэл 2

Гол давуу талууд

• Дахин давтагдах чадварыг сайжруулахын тулд наалдамхай давхаргын зузаан болон бүрхүүлийг хянасан
• Тогтвортой холбоо барих болон даралтын хуваарилалтыг хангахын тулд төвийн байрлал болон аюулгүйн дэрийг дарах
• Наалдамхай давхаргын доторх хөөс/хоосон зайг багасгахын тулд вакуум хөөсрөлтийг арилгах
• Эцсийн холболтыг тогтворжуулахын тулд температур/даралтын тохируулгатай нүүрстөрөгчжүүлэлтийг нэгтгэх
• Тогтвортой мөчлөгийн хугацаа, мөрдөх боломж, шугаман чанарын хяналтыг автоматжуулах сонголтууд

Зарчим

Уламжлалт аргууд яагаад хэцүү байдаг вэ?
Үрийн холболтын гүйцэтгэл нь ихэвчлэн гурван холбогдсон хувьсагчаар хязгаарлагддаг:

Наалдамхай давхаргын нягтрал (зузаан ба жигд байдал)
Хөөс/хоосон зайны хяналт (наалдамхай давхаргад агаар хуримтлагдсан)
Хатуурсны/нүүрсжүүлэлтийн дараах холбооны дараах тогтвортой байдал

Гараар бүрэх нь зузааны тогтворгүй байдал, хөөсийг арилгахад хэцүү, дотоод хоосон зай үүсэх эрсдэл өндөр, бал чулуун гадаргууг зурж гэмтээх, массын үйлдвэрлэлд өргөтгөх чадвар муу зэрэгт хүргэдэг.

Ээрэх бүрхүүл нь наалдамхай урсгалын шинж чанар, гадаргуугийн таталт болон төвөөс зугтах хүчний улмаас тогтворгүй зузаан үүсгэж болзошгүй. Энэ нь мөн бал чулуун цаас/хавтан дээр хажуугийн бохирдол болон бэхэлгээний хязгаарлалттай тулгарч болзошгүй бөгөөд хатуу агууламжтай наалдамхай бодисыг жигд бүрхэхэд хэцүү байж болно.

SiC Үрийн Бүрэлт-Бандалт-Шилжилтийн Нэгдсэн Шийдэл 3

Нэгдсэн арга барил хэрхэн ажилладаг вэ

Бүрхүүл: Шүршигч бүрхүүл нь бай гадаргуу (үр/хавтан, бал чулуун цаас/хавтан) дээр илүү хяналттай наалдамхай давхаргын зузаан болон бүрхүүл үүсгэдэг.

Наалдамхай холболт: Төвийн байрлал + аюулгүйн дэр дарах нь тогтвортой холбоо барихыг дэмждэг; вакуум хөөс арилгах нь наалдамхай давхарга дахь агаар, бөмбөлөг, хоосон зайг бууруулдаг.

Шахмалжуулах/Нүүрсжүүлэлт: Тохируулж болох температур болон даралтын тусламжтайгаар өндөр температурт нэгтгэх нь эцсийн холболтын интерфэйсийг тогтворжуулж, бөмбөлөггүй, жигд шахалтын үр дүнд хүргэдэг.

Лавлагааны гүйцэтгэлийн мэдэгдэл
Нүүрсжүүлэлтийн холболтын гарц 90%+ хүрч болно (үйл явцын лавлагаа). Ердийн холболтын гарцын лавлагааг Сонгодог тохиолдлууд хэсэгт жагсаасан болно.

Процесс

А. Хагас автомат ажлын урсгал

1-р алхам — Шүршигч бүрхүүл (бүрхүүл)
Тогтвортой зузаан, жигд бүрхүүл бий болгохын тулд цавууг шүршигч бүрхүүлээр зорилтот гадаргуу дээр түрхэнэ.

2-р алхам — Зэрэгцүүлэх ба холбох (Бондлох)
Төвийн байрлалыг гүйцэтгэж, ослын дэр дарж, вакуум хөөсрөлт ашиглан наалдамхай давхаргад хуримтлагдсан агаарыг зайлуулна.

3-р алхам — Нүүрсжүүлэлтийг нэгтгэх (Гал агрегатлах/Нүүрсжүүлэлт)
Наалдсан эд ангиудыг шатаах зууханд шилжүүлж, эцсийн холболтыг тогтворжуулахын тулд тохируулж болох температур болон даралттай өндөр температурт нүүрстөрөгчжүүлэлтийг нэгтгэнэ.

B. Бүрэн автомат ажлын урсгал

Автомат шүршигч бүрэх болон холбох машин нь бүрэх болон холбох үйлдлийг нэгтгэдэг бөгөөд роботоор зохицуулах, тохируулах ажлыг багтааж болно. Шугаман сонголтуудад мөрдөх чадвар болон чанарын хяналтыг хангахын тулд ID унших, бөмбөлөг илрүүлэх зэрэг багтаж болно. Дараа нь эд ангиудыг нүүрстөрөгчжүүлэлтийг нэгтгэх зорилгоор шатаах зууханд шилжүүлдэг.

Процессын маршрутын уян хатан байдал
Интерфэйсийн материал болон илүүд үзсэн практикаас хамааран систем нь ижил зорилгыг хадгалахын зэрэгцээ өөр өөр бүрэх дараалал болон нэг тал эсвэл хоёр талын шүрших замыг дэмжиж чадна: тогтвортой наалдамхай давхарга → үр дүнтэй хөөс арилгах → жигд нягтрал.

SiC Үрийн Бүрэлт-Бандалт-Шилжилтийн Нэгдсэн Шийдэл 4

Аппликейшнүүд

Үндсэн хэрэглээ
SiC талстын өсөлт нь урд талын үрийн холболт: үр/ваферийг бал чулуун цаас/бал чулуун хавтан болон холбогдох интерфэйстэй холбож, дараа нь нүүрсжүүлэлтийн нэгтгэлт хийнэ.

Хэмжээний хувилбарууд
Тохиргооны сонголт болон баталгаажуулсан процессын чиглүүлэлтээр дамжуулан 6/8/12 инчийн холболтын програмуудыг дэмждэг.

Ердийн тохирох үзүүлэлтүүд
• Гараар бүрэх нь зузааны хэлбэлзэл, бөмбөлөг/хоосон зай, зураас, тогтворгүй ургац үүсгэдэг
• Графит цаас/хавтан дээр ээрэх бүрхүүлийн зузаан тогтворгүй эсвэл хэцүү байдаг; хажуугийн бохирдол/бэхэлгээний хязгаарлалт байдаг
• Та давтагдах чадвар сайтай, оператороос бага хамааралтай, өргөтгөх боломжтой үйлдвэрлэл хэрэгтэй
• Та автоматжуулалт, мөрдөх боломжтой байдал болон шугаман чанарын хяналтын сонголтуудыг (ID + бөмбөлөг илрүүлэх) хүсэж байна.

Сонгодог тохиолдлууд (Ердийн үр дүн)

Тэмдэглэл: Дараах нь ердийн лавлагаа өгөгдөл / процессын лавлагаа юм. Бодит гүйцэтгэл нь наалдамхай систем, орж ирж буй материалын нөхцөл, баталгаажуулсан процессын цонх, хяналтын стандартаас хамаарна.

Тохиолдол 1 — 6/8 инчийн үрийн наалт (Ургац хураалт ба ургацын лавлагаа)
Бал чулуун хавтангүй: өдөрт 6 ширхэг/нэгж
Бал чулуун хавтантай: өдөрт 2.5 ширхэг/нэгж
Бондын гарц: ≥95%

Тохиолдол 2 — 12 инчийн үрийн наалт (Ургац хураалт ба ургацын лавлагаа)
Бал чулуун хавтангүй: өдөрт 5 ширхэг/нэгж
Бал чулуун хавтантай: өдөрт 2 ширхэг/нэгж
Бондын гарц: ≥95%

Тохиолдол 3 — Нүүрстөрөгчийн нэгтгэлийн гарцын лавлагаа
Нүүрстөрөгчжүүлэлтийн холболтын гарц: 90%+ (үйл явцын лавлагаа)
Зорилтот үр дүн: хөөсгүй, жигд шахалтын үр дүн (баталгаажуулалт болон шалгалтын шалгуураас хамаарна)

SiC Үрийн Бүрэлт-Бандалт-Шилжилтийн Нэгдсэн Шийдэл 5

Түгээмэл асуултууд

А1: Энэ шийдэл нь юуг голчлон авч үзэж байна вэ?
А: Энэ нь наалдамхай материалын зузаан/бүрхүүл, хөөс арилгах гүйцэтгэл, наалдацын дараах нягтралыг хянах замаар үрийн холболтыг тогтворжуулж, ур чадвараас хамааралтай алхмыг давтагдах үйлдвэрлэлийн процесс болгон хувиргадаг.

А2: Гараар бүрэх нь яагаад ихэвчлэн бөмбөлөг/хоосон зай үүсгэдэг вэ?
А: Гар аргаар хийсэн аргууд нь зузааныг тогтвортой байлгахад бэрхшээлтэй тулгардаг бөгөөд энэ нь хөөсийг арилгахад хэцүү болгож, агаарын хуримтлалын эрсдэлийг нэмэгдүүлдэг. Эдгээр нь мөн бал чулуун гадаргууг зурж, эзэлхүүнийг стандартчилахад хэцүү байдаг.

А3: Энэ хэрэглээнд ээрэх бүрхүүл яагаад тогтворгүй байж болох вэ?
А: Зузаан нь наалдамхай урсгалын шинж чанар, гадаргуугийн таталт болон төвөөс зугтах хүчэнд мэдрэмтгий байдаг. Графит цаас/хавтангийн бүрхүүл нь бэхэлгээ болон хажуугийн бохирдлын эрсдэлээр хязгаарлагдаж болох бөгөөд хатуу агууламжтай наалдамхай бодисыг жигд эргүүлэхэд хэцүү байж болно.

Бидний тухай

XKH нь тусгай оптик шил болон шинэ болор материалын өндөр технологийн хөгжил, үйлдвэрлэл, борлуулалтад мэргэшсэн. Манай бүтээгдэхүүнүүд нь оптик электроник, хэрэглээний электроник болон цэргийн салбарт үйлчилдэг. Бид Sapphire оптик эд анги, гар утасны линзний бүрхүүл, керамик, LT, цахиурын карбидын SIC, кварц болон хагас дамжуулагч болор хавтанг санал болгодог. Бид чадварлаг туршлага, дэвшилтэт тоног төхөөрөмжөөрөө тэргүүлэгч оптоэлектроник материалын өндөр технологийн аж ахуйн нэгж болох зорилготойгоор стандарт бус бүтээгдэхүүн боловсруулах чиглэлээр тэргүүлэгч юм.