SiC болор өсөлтийн зуух SiC ембүү ургуулах 4 инч 6 инч 8 инч PTV Lely TSSG LPE өсөлтийн арга
Кристалл өсөлтийн үндсэн аргууд ба тэдгээрийн шинж чанарууд
(1) Физик уур дамжуулах арга (PTV)
Зарчим: Өндөр температурт SiC түүхий эд нь хийн фазад шилжиж, дараа нь үрийн талст дээр дахин талсждаг.
Үндсэн онцлогууд:
Өндөр өсөлтийн температур (2000-2500°C).
Өндөр чанартай, том хэмжээтэй 4H-SiC болон 6H-SiC талстуудыг ургуулж болно.
Өсөлтийн хурд удаан боловч талстын чанар өндөр байна.
Хэрэглээ: Ихэвчлэн цахилгаан хагас дамжуулагч, RF төхөөрөмж болон бусад өндөр зэрэглэлийн салбарт ашигладаг.
(2) Лели арга
Зарчим: Кристалуудыг өндөр температурт SiC нунтагыг аяндаа сублимаци хийх болон дахин талстжуулах замаар ургуулдаг.
Үндсэн онцлогууд:
Өсөлтийн үйл явцад үр шаардагддаггүй бөгөөд талстын хэмжээ бага байдаг.
Кристал чанар өндөр боловч өсөлтийн үр ашиг бага байна.
Лабораторийн судалгаа болон жижиг багц үйлдвэрлэлд тохиромжтой.
Хэрэглээ: Ихэвчлэн жижиг хэмжээтэй SiC талстуудыг шинжлэх ухааны судалгаа, бэлтгэхэд ашигладаг.
(3) Үрийн дээд уусмалын ургалтын арга (TSSG)
Зарчим: Өндөр температурт уусмалд SiC түүхий эд нь үрийн талст дээр уусаж, талсждаг.
Үндсэн онцлогууд:
Өсөлтийн температур бага (1500-1800°C).
Өндөр чанартай, бага согогтой SiC талстуудыг ургуулж болно.
Өсөлтийн хурд удаан боловч талстын жигд байдал сайн байна.
Хэрэглээ: Оптоэлектроник төхөөрөмж гэх мэт өндөр чанартай SiC талстуудыг бэлтгэхэд тохиромжтой.
(4) Шингэн фазын эпитакси (ШФЭ)
Зарчим: Шингэн металлын уусмалд SiC түүхий эдийг суурь дээр эпитаксиаль байдлаар ургуулдаг.
Үндсэн онцлогууд:
Өсөлтийн температур бага (1000-1500°C).
Хурдан өсөлтийн хурд, кино ургалтад тохиромжтой.
Кристал чанар өндөр боловч зузаан нь хязгаарлагдмал.
Хэрэглээ: Мэдрэгч болон оптоэлектроник төхөөрөмж зэрэг SiC хальсны эпитаксиаль өсөлтөд голчлон ашигладаг.
Цахиурын карбидын болор зуухны үндсэн хэрэглээний аргууд
SiC болор зуух нь sic болор бэлтгэх гол тоног төхөөрөмж бөгөөд түүний хэрэглээний үндсэн аргууд нь:
Цахилгаан хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн үйлдвэрлэл: Өндөр чанартай 4H-SiC болон 6H-SiC талстуудыг цахилгаан төхөөрөмжүүдийн (MOSFET, диод гэх мэт) суурь материал болгон ургуулахад ашигладаг.
Хэрэглээ: цахилгаан тээврийн хэрэгсэл, фотоволтайк инвертер, үйлдвэрлэлийн цахилгаан хангамж гэх мэт.
Rf төхөөрөмжийн үйлдвэрлэл: 5G холбоо, радар болон хиймэл дагуулын холбооны өндөр давтамжийн хэрэгцээг хангахын тулд RF төхөөрөмжийн суурь болгон бага согогтой SiC талстуудыг ургуулахад ашигладаг.
Оптоэлектроник төхөөрөмжийн үйлдвэрлэл: LED, хэт ягаан туяаны мэдрэгч болон лазерын суурь материал болгон өндөр чанартай SiC талстуудыг ургуулахад ашигладаг.
Шинжлэх ухааны судалгаа, жижиг багцын үйлдвэрлэл: SiC талст өсөлтийн технологийг инноваци, оновчлолыг дэмжих зорилгоор лабораторийн судалгаа, шинэ материалын хөгжүүлэлтэд зориулагдсан.
Өндөр температурын төхөөрөмж үйлдвэрлэл: Агаарын болон өндөр температурын мэдрэгчийн суурь материал болгон өндөр температурт тэсвэртэй SiC талстуудыг ургуулахад ашигладаг.
Тус компанийн үзүүлж буй SiC зуухны тоног төхөөрөмж болон үйлчилгээ
XKH нь SIC болор зуухны тоног төхөөрөмжийг хөгжүүлэх, үйлдвэрлэх чиглэлээр мэргэшсэн бөгөөд дараах үйлчилгээг үзүүлдэг.
Захиалгат тоног төхөөрөмж: XKH нь хэрэглэгчийн шаардлагын дагуу PTV, TSSG зэрэг янз бүрийн ургалтын аргуудтай захиалгат ургалтын зуухнуудыг нийлүүлдэг.
Техникийн дэмжлэг: XKH нь үйлчлүүлэгчдэд болор ургалтын процессыг оновчтой болгохоос эхлээд тоног төхөөрөмжийн засвар үйлчилгээ хүртэлх бүх үйл явцад техникийн дэмжлэг үзүүлдэг.
Сургалтын үйлчилгээ: XKH нь тоног төхөөрөмжийн үр ашигтай ажиллагааг хангахын тулд үйлчлүүлэгчдэд үйл ажиллагааны сургалт, техникийн зөвлөгөө өгдөг.
Борлуулалтын дараах үйлчилгээ: XKH нь хэрэглэгчийн үйлдвэрлэлийн тасралтгүй байдлыг хангахын тулд хурдан хариу үйлдэл үзүүлэх борлуулалтын дараах үйлчилгээ, тоног төхөөрөмжийн шинэчлэлтийг үзүүлдэг.
Цахиурын карбидын талст ургуулах технологи (PTV, Lely, TSSG, LPE гэх мэт) нь цахилгаан электроник, RF төхөөрөмж болон оптоэлектроникийн салбарт чухал хэрэглээтэй. XKH нь өндөр чанартай SiC талстыг их хэмжээгээр үйлдвэрлэхэд хэрэглэгчдийг дэмжих, хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн хөгжилд туслах зорилгоор дэвшилтэт SiC зуухны тоног төхөөрөмж болон бүрэн хэмжээний үйлчилгээг үзүүлдэг.
Дэлгэрэнгүй диаграмм
