Тоног төхөөрөмжийн CVD SiC бүрээстэй SiC керамик тавиур хавтан бал чулуу

Цахиурын карбидын керамик нь зөвхөн эпитакси эсвэл MOCVD гэх мэт нимгэн хальсан тунадасжилтын үе шатанд ашиглагддаггүй, эсвэл MOCVD-д зориулсан валют зөөвөрлөгч тавиурууд нь эхлээд тунадасны орчинд өртдөг тул дулаан, зэврэлтэнд маш сайн тэсвэртэй байдаг.

Өндөр температурт металлын органик химийн уурын хуримтлал (MOCVD) боловсруулах зориулалттай цэвэр химийн уурын хуримтлал бүхий цахиурын карбид (CVD SiC) хавтан зөөгч.

Цэвэр CVD SiC өргүүр зөөгч нь энэ процесст хэрэглэгддэг бал чулуу бөгөөд CVD SiC давхаргаар бүрсэн ердийн өргүүр зөөгчөөс хамаагүй давуу юм. Эдгээр бүрсэн бал чулуунд суурилсан зөөвөрлөгчүүд нь өнөөгийн өндөр тод цэнхэр, цагаан гэрлийн GaN хуримтлалд шаардагдах өндөр температурыг (1100-аас 1200 хэм хүртэл) тэсвэрлэх чадваргүй. Өндөр температур нь бүрхүүлд жижиг нүх үүсгэдэг бөгөөд үүгээр дамжуулан химийн бодисууд доорх бал чулууг эвддэг. Дараа нь бал чулууны тоосонцор хагарч, GaN-ийг бохирдуулж, бүрсэн вафель зөөгчийг солиход хүргэдэг.

CVD SiC нь 99.999% ба түүнээс дээш цэвэршилттэй бөгөөд өндөр дулаан дамжуулалт ба дулааны цохилтод тэсвэртэй. Тиймээс энэ нь өндөр гэрэлтэй LED үйлдвэрлэлийн өндөр температур, хатуу ширүүн орчинд тэсвэрлэх чадвартай. Энэ нь онолын нягтралд хүрч, хамгийн бага тоосонцор үүсгэдэг, зэврэлт, элэгдэлд тэсвэртэй маш өндөр чанартай цул цул материал юм. Материал нь металлын хольц оруулахгүйгээр тунгалаг байдал, дамжуулалтыг өөрчлөх боломжтой. Өрөөвч зөөгч нь ихэвчлэн 17 инч диаметртэй байдаг ба 40 хүртэл 2-4 инчийн өргүүрийг багтаах боломжтой.