SiC керамик сэрээ гар / төгсгөлийн эффектор - Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн дэвшилтэт нарийвчлалтай боловсруулалт

Товч тайлбар:

SiC керамик сэрээт гар буюу ихэвчлэн керамик төгсгөлийн эффектор гэж нэрлэгддэг энэхүү бүтээгдэхүүн нь өндөр технологийн салбарт, ялангуяа хагас дамжуулагч болон фотоволтайк үйлдвэрлэлд вафли тээвэрлэх, тохируулах, байрлуулахад зориулан тусгайлан боловсруулсан өндөр хүчин чадалтай нарийн боловсруулалтын бүрэлдэхүүн хэсэг юм. Өндөр цэвэршилттэй цахиурын карбидын керамик ашиглан үйлдвэрлэсэн энэхүү бүрэлдэхүүн хэсэг нь онцгой механик бат бөх чанар, хэт бага дулааны тэлэлт, дулааны цохилт болон зэврэлтэд тэсвэртэй байдлыг хослуулсан.

Бидэнд имэйл илгээх

Онцлог шинж чанарууд

Дэлгэрэнгүй диаграмм

Бүтээгдэхүүний тойм

Хөнгөн цагаан, зэвэрдэггүй ган, тэр ч байтугай кварцаар хийсэн уламжлалт төгсгөлийн эффекторуудаас ялгаатай нь SiC керамик төгсгөлийн эффекторууд нь вакуум камер, цэвэр өрөө, хатуу ширүүн боловсруулалтын орчинд харьцуулшгүй гүйцэтгэлийг санал болгодог тул дараагийн үеийн вафли боловсруулах роботуудын гол хэсэг болгодог. Бохирдолгүй үйлдвэрлэлийн эрэлт хэрэгцээ нэмэгдэж, чип үйлдвэрлэхэд хүлцэл улам чангарсан тул керамик төгсгөлийн эффекторыг ашиглах нь салбарын стандарт болж байна.

Үйлдвэрлэлийн зарчим

ҮйлдвэрлэлSiC керамик төгсгөлийн эффекторуудГүйцэтгэл болон бат бөх чанарыг хангах өндөр нарийвчлалтай, өндөр цэвэршилттэй хэд хэдэн процессыг хамардаг. Ихэвчлэн хоёр үндсэн процессыг ашигладаг:

Урвалд холбогдсон цахиурын карбид (RB-SiC)

Энэ процесст цахиурын карбидын нунтаг болон холбогчоор хийсэн урьдчилсан хэлбэрийг өндөр температурт (~1500°C) хайлсан цахиураар нэвчиж, үлдэгдэл нүүрстөрөгчтэй урвалд орж нягт, хатуу SiC-Si нийлмэл үүсгэдэг. Энэ арга нь маш сайн хэмжээст хяналтыг санал болгодог бөгөөд томоохон хэмжээний үйлдвэрлэлд өртөг хэмнэлттэй байдаг.

Даралтгүй шатаасан цахиурын карбид (SSiC)

SSiC нь хэт нарийн, өндөр цэвэршилттэй SiC нунтагыг нэмэлт бодис эсвэл холбох үе шат ашиглахгүйгээр маш өндөр температурт (>2000°C) шатаах замаар үйлдвэрлэдэг. Үүний үр дүнд бараг 100% нягтралтай, SiC материалын дунд хамгийн өндөр механик болон дулааны шинж чанартай бүтээгдэхүүн гардаг. Энэ нь хэт чухал вафли боловсруулах хэрэглээнд тохиромжтой.

Боловсруулалтын дараах

Нарийвчлалтай CNC МашинистӨндөр тэгш байдал болон параллелизмыг бий болгодог.
Гадаргуугийн өнгөлгөөАлмазан өнгөлгөө нь гадаргуугийн барзгар байдлыг <0.02 µm хүртэл бууруулдаг.
ШалгалтХэсэг бүрийг баталгаажуулахын тулд оптик интерферометр, CMM болон үл эвдэх туршилтыг ашигладаг.

Эдгээр алхамууд нь дараахыг баталгаажуулдагSiC төгсгөлийн эффектортууштай вафлийн байршлын нарийвчлал, маш сайн хавтгай байдал, хамгийн бага бөөмс үүсэх боломжийг олгодог.

Гол онцлог ба давуу талууд

Онцлог	Тайлбар
Хэт өндөр хатуулаг	Викерсийн хатуулаг > 2500 HV, элэгдэл болон хагаралд тэсвэртэй.
Дулааны бага тэлэлт	CTE ~4.5×10⁻⁶/K нь дулааны мөчлөгт хэмжээст тогтвортой байдлыг хангадаг.
Химийн идэвхгүй байдал	HF, HCl, плазмын хий болон бусад идэмхий бодисуудад тэсвэртэй.
Дулааны цохилтын маш сайн эсэргүүцэл	Вакуум болон зуухны системд хурдан халаах/хөргөхөд тохиромжтой.
Өндөр хатуулаг ба бат бөх чанар	Хазайлтгүйгээр урт консолтой сэрээтэй гарыг дэмждэг.
Бага хий ялгаруулалттай	Хэт өндөр вакуум (UHV) орчинд тохиромжтой.
ISO 1 ангиллын цэвэр өрөөний бэлэн байдал	Бөөмгүй ажиллагаа нь вафлийн бүрэн бүтэн байдлыг хангадаг.

Аппликейшнүүд

SiC керамик сэрээ гар / төгсгөлийн эффекторыг маш нарийн нямбай байдал, цэвэр байдал, химийн бодист тэсвэртэй байдал шаарддаг салбарт өргөн ашигладаг. Хэрэглээний гол хувилбаруудад дараахь зүйлс орно.

Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэл

Тунадас (CVD, PVD), сийлбэр (RIE, DRIE) болон цэвэрлэх системд вафли ачих/буулгах.
FOUP, кассет болон боловсруулах хэрэгслүүдийн хооронд робот вафлийн тээвэрлэлт.
Дулааны боловсруулалт эсвэл ариутгалын үед өндөр температурт боловсруулалт хийх.

Фотоволтайк эсийн үйлдвэрлэл

Автоматжуулсан шугамд эмзэг цахиурын хавтангууд эсвэл нарны суурь материалыг нарийн тээвэрлэх.

Хавтгай самбарын дэлгэц (FPD) үйлдвэрлэл

OLED/LCD үйлдвэрлэлийн орчинд том шилэн хавтан эсвэл субстратыг зөөх.

Нийлмэл хагас дамжуулагч / MEMS

Бохирдлын хяналт болон байршлын нарийвчлал чухал ач холбогдолтой GaN, SiC, болон MEMS үйлдвэрлэлийн шугамуудад ашиглагддаг.

Үүний эцсийн эффекторын үүрэг нь мэдрэмтгий үйл ажиллагааны үед согоггүй, тогтвортой жолоодлогыг хангахад онцгой чухал юм.

Тохируулгын чадварууд

Бид янз бүрийн тоног төхөөрөмж, үйл явцын шаардлагыг хангахын тулд өргөн хүрээтэй тохируулгыг санал болгодог:

Сэрээний загварХоёр шүдтэй, олон хуруутай эсвэл хуваасан түвшний зохион байгуулалт.
Вафлийн хэмжээтэй нийцтэй байдал: 2 инчээс 12 инч хүртэлх вафли.
Суурилуулах интерфэйсүүд: OEM робот гартай нийцдэг.
Зузаан ба гадаргуугийн хүлцэлМикрон түвшний тэгш байдал болон ирмэгийг бөөрөнхийлөх боломжтой.
Гулсахаас хамгаалах онцлогууд: Вафлийг найдвартай барихын тулд гадаргуугийн бүтэц эсвэл бүрээсийг нэмэлтээр сонгож болно.

Тус бүркерамик төгсгөлийн эффекторбагаж хэрэгслийн өөрчлөлтийг хамгийн бага байлгахын тулд үйлчлүүлэгчидтэй хамтран зохион бүтээсэн.

Түгээмэл асуултууд (Түгээмэл асуултууд)

А1: Эцсийн эффекторын хэрэглээнд SiC нь кварцаас юугаараа илүү сайн вэ?
А1:Кварцыг цэвэр ариун байдлын үүднээс түгээмэл ашигладаг боловч механик бат бөх чанаргүй бөгөөд ачаалал эсвэл температурын цочролын үед эвдрэх хандлагатай байдаг. SiC нь илүү сайн бат бөх, элэгдэлд тэсвэртэй, дулааны тогтвортой байдлыг хангадаг тул ажиллахгүй байх болон хавтангийн эвдрэлийн эрсдлийг эрс бууруулдаг.

А2: Энэхүү керамик сэрээний гар нь бүх робот вафли баригчтай нийцдэг үү?
А2:Тийм ээ, манай керамик төгсгөлийн эффекторууд нь ихэнх томоохон вафли боловсруулах системүүдтэй нийцдэг бөгөөд нарийн инженерийн зураглалтайгаар таны тодорхой робот загварт тохируулан өөрчилж болно.

А3: Энэ нь 300 мм-ийн вафлиг гажуудалгүйгээр зохицуулж чадах уу?
А3:Мэдээж. SiC-ийн өндөр хатуулаг нь нимгэн, урт сэрээтэй гарт ч гэсэн 300 мм-ийн вафлиг хөдөлгөөний үед унжих эсвэл хазайхгүйгээр найдвартай барих боломжийг олгодог.

А4: SiC керамик төгсгөлийн эффекторын ердийн ашиглалтын хугацаа хэд вэ?
А4:Зөв хэрэглэвэл SiC төгсгөлийн эффектор нь дулааны болон механик стрессд маш сайн тэсвэртэй тул уламжлалт кварц эсвэл хөнгөн цагаан загваруудаас 5-10 дахин удаан ажиллах боломжтой.

А5: Та орлуулах эсвэл хурдан туршилтын үйлчилгээ санал болгодог уу?
А5:Тийм ээ, бид дээжийн хурдан үйлдвэрлэлийг дэмжиж, CAD зураг дээр үндэслэн солих үйлчилгээ эсвэл одоо байгаа тоног төхөөрөмжийн урвуу инженерчлэлийн эд ангиудыг санал болгодог.

Бидний тухай

XKH нь тусгай оптик шил болон шинэ болор материалын өндөр технологийн хөгжил, үйлдвэрлэл, борлуулалтад мэргэшсэн. Манай бүтээгдэхүүнүүд нь оптик электроник, хэрэглээний электроник болон цэргийн салбарт үйлчилдэг. Бид Sapphire оптик эд анги, гар утасны линзний бүрхүүл, керамик, LT, цахиурын карбидын SIC, кварц болон хагас дамжуулагч болор хавтанг санал болгодог. Бид чадварлаг туршлага, дэвшилтэт тоног төхөөрөмжөөрөө тэргүүлэгч оптоэлектроник материалын өндөр технологийн аж ахуйн нэгж болох зорилготойгоор стандарт бус бүтээгдэхүүн боловсруулах чиглэлээр тэргүүлэгч юм.