SiC керамик сэрээ гар / төгсгөлийн эффект - Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн дэвшилтэт нарийн зохицуулалт

SiC керамик сэрээ гар / төгсгөлийн эффект – Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэхэд зориулсан дэвшилтэт нарийвчлалтай ажиллах Онцлох зураг

Богино тайлбар:

SiC керамик салаа гар нь ихэвчлэн керамик төгсгөлийн эффект гэж нэрлэгддэг бөгөөд өндөр технологийн салбаруудад, ялангуяа хагас дамжуулагч болон фотоволтайкийн үйлдвэрлэлд өрмөнцийг тээвэрлэх, тэгшлэх, байрлуулахад зориулагдсан өндөр гүйцэтгэлтэй нарийвчлалтай харьцах бүрэлдэхүүн хэсэг юм. Өндөр цэвэршилттэй цахиур карбидын керамик эдлэлийг ашиглан үйлдвэрлэсэн энэхүү бүрэлдэхүүн хэсэг нь онцгой механик хүч чадал, хэт бага дулааны тэлэлт, дулааны цочрол, зэврэлтэнд тэсвэртэй байдлыг хослуулсан.

Бидэн рүү имэйл илгээнэ үү

Онцлогууд

Нарийвчилсан диаграмм

Бүтээгдэхүүний тойм

Хөнгөн цагаан, зэвэрдэггүй ган, тэр ч байтугай кварцаар хийсэн уламжлалт төгсгөлийн эффекторуудаас ялгаатай нь SiC керамик төгсгөлийн эффекторууд нь вакуум камер, цэвэр өрөө, хатуу ширүүн боловсруулалтын орчинд хосгүй гүйцэтгэлийг санал болгодог бөгөөд энэ нь тэдгээрийг дараагийн үеийн өрөмтэй харьцах роботуудын гол хэсэг болгодог. Бохирдолгүй үйлдвэрлэлийн эрэлт хэрэгцээ нэмэгдэж, чип үйлдвэрлэхэд хатуу хүлцэл нэмэгдэж байгаа тул керамик эцсийн эффекторыг ашиглах нь салбарын стандарт болж байна.

Үйлдвэрлэлийн зарчим

-ийн үйлдвэрлэлSiC керамик төгсгөлийн эффектүүдгүйцэтгэл, бат бөх чанарыг аль алиныг нь баталгаажуулдаг өндөр нарийвчлалтай, өндөр цэвэршилттэй хэд хэдэн процессыг хамардаг. Хоёр үндсэн процессыг ихэвчлэн ашигладаг:

Урвалын холболттой цахиурын карбид (RB-SiC)

Энэ процесст цахиурын карбидын нунтаг ба холбогчоор хийсэн бэлэн хэлбэрийг өндөр температурт (~1500 ° C) хайлсан цахиураар нэвчиж, үлдэгдэл нүүрстөрөгчтэй урвалд орж нягт, хатуу SiC-Si нийлмэл үүсгэдэг. Энэ арга нь маш сайн хэмжээст хяналтыг санал болгодог бөгөөд том хэмжээний үйлдвэрлэлд хэмнэлттэй байдаг.

Даралтгүй шингэрүүлсэн цахиурын карбид (SSiC)

SSiC нь хэт нарийн, өндөр цэвэршилттэй SiC нунтагыг хэт өндөр температурт (>2000°C) нэмэлт бодис, холбох үе шатгүйгээр шингээх замаар хийдэг. Үүний үр дүнд бараг 100% нягтралтай, SiC материалын дунд хамгийн өндөр механик болон дулааны шинж чанартай бүтээгдэхүүн гарч ирдэг. Энэ нь өрөмтэй харьцах хэт чухал хэрэглээнд тохиромжтой.

Дараах боловсруулалт

Нарийвчилсан CNC боловсруулах: Өндөр тэгш байдал, параллелизмд хүрдэг.
Гадаргуугийн өнгөлгөө: Алмазан өнгөлгөө нь гадаргуугийн барзгар байдлыг <0.02 μм хүртэл бууруулдаг.
Хяналт шалгалт: Хэсэг бүрийг шалгахын тулд оптик интерферометр, CMM, үл эвдэх туршилтыг ашигладаг.

Эдгээр алхамууд ньSiC эцсийн эффекторөрмөнцөр байрлуулах тогтвортой нарийвчлал, маш сайн тэгш байдал, хамгийн бага тоосонцор үүсгэх боломжийг олгодог.

Гол онцлог, ашиг тус

Онцлог	Тодорхойлолт
Хэт өндөр хатуулаг	Vickers хатуулаг > 2500 HV, элэгдэл, эвдрэлийг тэсвэрлэдэг.
Бага дулааны тэлэлт	CTE ~4.5×10⁻⁶/K, дулааны эргэлтэнд хэмжээст тогтвортой байдлыг хангана.
Химийн идэвхгүй байдал	HF, HCl, плазмын хий болон бусад идэмхий бодисуудад тэсвэртэй.
Маш сайн дулааны цохилтын эсэргүүцэл	Вакуум болон зуухны системд хурдан халаах/хөргөхөд тохиромжтой.
Өндөр хатуулаг ба хүч чадал	Урт консолтой салаа гарыг хазайлтгүйгээр дэмжинэ.
Хийн ялгаралт бага	Хэт өндөр вакуум (UHV) орчинд хамгийн тохиромжтой.
ISO 1-р ангиллын цэвэр өрөөнд бэлэн	Бөөмсгүй ажиллагаа нь ялтсуудын бүрэн бүтэн байдлыг баталгаажуулдаг.

Хэрэглээ

SiC керамик сэрээний гар / төгсгөлийн эффектийг хэт нарийвчлал, цэвэр байдал, химийн эсэргүүцэл шаарддаг үйлдвэрүүдэд өргөнөөр ашигладаг. Хэрэглээний гол хувилбаруудад:

Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл

Өргөст буулгах (CVD, PVD), сийлбэрлэх (RIE, DRIE), цэвэрлэх системд вафель ачих/буулгах.
FOUP, хуурцаг, процессын багаж хэрэгслийн хооронд робот өрөм тээвэрлэх.
Дулааны боловсруулалт эсвэл зөөлрүүлэх явцад өндөр температурт ажиллах.

Фотоволтайк эсийн үйлдвэрлэл

Эмзэг цахиур хавтан эсвэл нарны субстратыг автомат шугамд зөөвөрлөх.

Хавтгай самбар дэлгэц (FPD) аж үйлдвэр

OLED/LCD үйлдвэрлэлийн орчинд том шилэн хавтан эсвэл субстратыг зөөх.

Нийлмэл хагас дамжуулагч / MEMS

Бохирдлын хяналт, байршлын нарийвчлал нь чухал байдаг GaN, SiC, MEMS үйлдвэрлэлийн шугамд ашиглагддаг.

Түүний эцсийн эффектийн үүрэг нь эмзэг үйл ажиллагааны явцад гэмтэлгүй, тогтвортой ажиллахад онцгой чухал юм.

Тохируулах чадвар

Бид янз бүрийн тоног төхөөрөмж, үйл явцын шаардлагыг хангахын тулд өргөн хүрээний тохиргоог санал болгож байна:

Сэрээ дизайн: Хоёр салаа, олон хуруу, эсвэл хуваах түвшний байршил.
Өрөөний хэмжээтэй нийцтэй байдал: 2”-оос 12 инчийн хэмжээтэй вафель.
Суурилуулах интерфейсүүд: OEM робот гарт тохирно.
Зузаан ба гадаргуугийн хүлцэл: Микроны түвшний тэгш байдал, ирмэгийг дугуйлах боломжтой.
Халтиргаанаас хамгаалах шинж чанарууд: Өрөөнд найдвартай атгах зориулалттай гадаргуугийн бүтэц эсвэл бүрээстэй.

Тус бүркерамик эцсийн эффектБагаж хэрэгсэлд хамгийн бага өөрчлөлт оруулан нарийн тохируулгыг хангах үүднээс үйлчлүүлэгчидтэй хамтран бүтээгдсэн.

Байнга асуудаг асуултууд (FAQ)

Асуулт 1: Эцсийн эффектийн хэрэглээний хувьд SiC кварцаас юугаараа илүү вэ?
А1:Кварцыг ихэвчлэн цэвэр ариун байдлын үүднээс ашигладаг боловч механик бат бөх чанаргүй, ачаалал эсвэл температурын цочролын дор эвдрэх хандлагатай байдаг. SiC нь дээд зэргийн хүч чадал, элэгдэлд тэсвэртэй, дулааны тогтвортой байдлыг хангадаг бөгөөд энэ нь сул зогсолт болон өрөмд гэмтэл учруулах эрсдлийг эрс багасгадаг.

Асуулт 2: Энэхүү керамик салаа гар нь бүх робот өрөм баригчидтай нийцдэг үү?
А2:Тиймээ, манай керамик төгсгөлийн эффекторууд нь вааран хавтанг боловсруулах ихэнх гол системүүдтэй нийцдэг бөгөөд нарийн инженерийн зураг бүхий роботын загварт тохируулж болно.

Асуулт 3: Энэ нь 300 мм-ийн хавтанцарыг нугалахгүйгээр барьж чадах уу?
А3:Мэдээжийн хэрэг. SiC-ийн өндөр хөшүүн чанар нь нимгэн, урт салаа гарыг ч гэсэн хөдөлгөөний явцад унжрах, хазайхгүйгээр 300 мм-ийн хавтанцарыг найдвартай барих боломжийг олгодог.

Асуулт 4: SiC керамик эцсийн эффекторын ердийн ашиглалтын хугацаа хэд вэ?
А4:Зөв зохистой ашигласнаар SiC төгсгөлийн эффектор нь дулааны болон механик нөлөөлөлд маш сайн тэсвэртэй тул уламжлалт кварц эсвэл хөнгөн цагаан загвараас 5-10 дахин удаан ажиллах боломжтой.

Асуулт 5: Та солих эсвэл хурдан прототип хийх үйлчилгээг санал болгодог уу?
А5:Тийм ээ, бид дээжийн хурдацтай үйлдвэрлэлийг дэмжиж, одоо байгаа тоног төхөөрөмжийн CAD зураг эсвэл урвуу инженерчилсэн хэсгүүдэд үндэслэн солих үйлчилгээг санал болгож байна.

Бидний тухай

XKH нь тусгай оптик шил, шинэ болор материалын өндөр технологийн хөгжил, үйлдвэрлэл, борлуулалтаар мэргэшсэн. Манай бүтээгдэхүүнүүд оптик электроник, хэрэглээний цахилгаан хэрэгсэл, цэрэг арми зэрэгт үйлчилдэг. Бид Sapphire оптик эд анги, гар утасны линзний бүрээс, керамик, LT, цахиурын карбид SIC, кварц, хагас дамжуулагч болор хавтан зэргийг санал болгож байна. Чадварлаг туршлага, хамгийн сүүлийн үеийн тоног төхөөрөмжөөр бид стандарт бус бүтээгдэхүүн боловсруулах чиглэлээр тэргүүлж, оптоэлектроник материалын өндөр технологийн тэргүүлэх үйлдвэр байхыг зорьж байна.