Sapphire Tube индранил саваа нь өндөр даралтын KY ба EFG тусгай хэлбэртэй
Тодорхойлолт
Sapphire Rods нь өргөн хүрээний хэрэглээнд ашиглагддаг. Индранил савааг бүх гадаргууг оптик болон элэгдлийн зориулалтаар өнгөлсөн эсвэл тусгаарлагчийн үүрэг гүйцэтгэхийн тулд бүх гадаргууг нарийн нунтаглаж (өнгөлсөн) хийж болно.
Технологи
Үрийн тусламжтайгаар хайлмалаас индранил хоолойг татах явцад 1850-аас 1900 градусын температурт хатуурсан фронт ба татах хэсгийн хоорондох бүсэд уртын температурын градиент. C температурыг 30 хэмээс хэтрэхгүй байлгана. С/см. Ингэж ургуулсан хоолойг 1950-2000 градусын температурт шатаадаг. Температурыг 30-40 градусаар нэмэгдүүлэх замаар C. С/мин ба хоолойг дээрх температурт 3-4 цагийн хооронд байлгана. Үүний дараа хоолойг тасалгааны температурт 30-40 хэм хүртэл хөргөнө. С/мин.
Хагас дамжуулагч боловсруулах програмууд:
(HPD CVD, PECVD, Dry Etch, Wet Etch)
Плазмын түрхэгч хоолой
Хийн форсункийн хошууг боловсруулах
Төгсгөлийн цэг илрүүлэгч
Эксимер Корона хоолой
Плазмын савлах хоолой
Плазмын хоолойг битүүмжлэх машин нь электрон эд ангиудыг бүрхэхэд ашигладаг төхөөрөмж юм. Үүний зарчим нь плазмын өндөр температур, өндөр даралтыг ашиглан баглаа боодлын материалыг хайлуулж, бүрдэл хэсэгт нь бүрхэх явдал юм. Плазмын хоолойг битүүмжлэх машины үндсэн бүрэлдэхүүн хэсгүүдэд плазмын генератор, хоолойн битүүмжлэх камер, вакуум систем, хяналтын систем гэх мэт орно.
Термопар хамгаалах бүрээс (Термовел): Термопар нь температур хэмжих хэрэгсэлд түгээмэл хэрэглэгддэг температур хэмжих элемент бөгөөд температурыг шууд хэмжиж, температурын дохиог дулааны цахилгаан хөдөлгөгч хүчний дохио болгон, цахилгаан хэрэгслээр (хоёрдогч хэрэгсэл) дамжуулан дулааны цахилгаан хөдөлгөгч хүчний дохио болгон хувиргадаг. хэмжсэн орчин
Ус цэвэршүүлэх/цэвэрлэх
Сапфир хоолойн шинж чанар (онолын)
Нийлмэл томъёо | Al2O3 |
Молекулын жин | 101.96 |
Гадаад төрх | Тунгалаг хоолой |
Хайлах цэг | 2050 °C (3720 °F) |
Буцлах цэг | 2,977° C (5,391° F) |
Нягт | 4.0 г/см3 |
Морфологи | Гурвалсан (hex), R3c |
H2O дахь уусах чадвар | 98 x 10-6 г/100г |
Хугарлын индекс | 1.8 |
Цахилгаан эсэргүүцэл | 17 10х Ом-м |
Пуассоны харьцаа | 0.28 |
Тусгай дулаан | 760 Ж Кг-1 К-1 (293К) |
Суналтын бат бэх | 1390 МПа (хамгийн дээд) |
Дулаан дамжуулалт | 30 Вт/мК |
Дулааны тэлэлт | 5.3 мкм/мК |
Янгийн модуль | 450 ГПа |
Яг масс | 101.948 г/моль |
Моноизотоп масс | 101.94782 Да |