Сафир хоолойн индранил саваа нь тусгай хэлбэртэй өндөр даралтын KY болон EFG
Тайлбар
Индранил савааг олон төрлийн хэрэглээнд ашигладаг. Индранил савааг оптик болон элэгдэлд зориулж бүх гадаргууг өнгөлсөн эсвэл тусгаарлагч болгон ашиглахын тулд бүх гадаргууг нарийн нунтагласан (өнгөлгөөгүй) аргаар хийж болно.
Технологи
Үрийн тусламжтайгаар хайлмалаас индранил хоолойг татаж авах явцад хатуурсан фронт болон 1850-1900 хэмийн хоорондох таталтын хэсгийн хоорондох бүс дэх уртааш температурын градиентийг 30 хэмийн C/см2-оос хэтрэхгүй байлгана. Ийм байдлаар ургуулсан хоолойг 1950-2000 хэмийн C температурт хатааж, температурыг 30-40 хэмийн C/мин хурдтайгаар нэмэгдүүлж, хоолойг уг температурт 3-4 цагийн турш байлгана. Үүний дараа хоолойг өрөөний температурт 30-40 хэмийн C/мин хурдтайгаар хөргөнө.
Хагас дамжуулагч боловсруулалтын хэрэглээ:
(HPD CVD, PECVD, Хуурай сийлбэр, Нойтон сийлбэр)
Плазмын аппликаторын хоолой
Хийн шахуургын цорго боловсруулах
Төгсгөлийн цэгийн илрүүлэгч
Эксимер Корона хоолойнууд
Плазмын багтаамжийн хоолой
Плазмын хоолой битүүмжлэх машин нь электрон эд ангиудыг битүүмжлэхэд ашигладаг төхөөрөмж юм. Үүний зарчим нь плазмын өндөр температур, өндөр даралтыг ашиглан сав баглаа боодлын материалыг хайлуулж, эд анги дээр битүүмжлэх явдал юм. Плазмын хоолой битүүмжлэх машины гол бүрэлдэхүүн хэсгүүдэд плазмын генератор, хоолой битүүмжлэх камер, вакуум систем, хяналтын систем гэх мэт орно.
Термопар хамгаалалтын бүрхүүл (Термоуэлл): Термопар нь температур хэмжих хэрэгсэлд түгээмэл хэрэглэгддэг температур хэмжих элемент бөгөөд температурыг шууд хэмжиж, температурын дохиог термоэлектрик цахилгаан хөдөлгөгч хүчний дохио болгон хувиргаж, цахилгаан хэрэгсэл (хоёрдогч хэрэгсэл)-ээр дамжуулан хэмжсэн орчны температурт оруулдаг.
Ус цэвэршүүлэх/цэвэрлэх
Сафир хоолойн шинж чанарууд (онолын хувьд)
| Нийлмэл томъёо | Al2O3 |
| Молекулын жин | 101.96 |
| Гадаад төрх | Тунгалаг хоолойнууд |
| Хайлах цэг | 2050 °C (3720 °F) |
| Буцалгах цэг | 2,977° C (5,391° F) |
| Нягтрал | 4.0 г/см3 |
| Морфологи | Гурвалжин (зургаан өнцөгт), R3c |
| H2O дахь уусах чадвар | 98 x 10-6 г/100г |
| Хугарлын индекс | 1.8 |
| Цахилгаан эсэргүүцэл | 17 10x Ω-м |
| Пуассоны харьцаа | 0.28 |
| Тодорхой дулаан | 760 Ж кг-1 K-1 (293K) |
| Суналтын бат бэх | 1390 МПа (Эцсийн) |
| Дулаан дамжуулалт | 30 Вт/мК |
| Дулааны тэлэлт | 5.3 µm/mK |
| Янгийн модуль | 450 ГПа |
| Яг жин | 101.948 г/моль |
| Моноизотопын масс | 101.94782 Да |
Дэлгэрэнгүй диаграмм
