Сафир дөрвөлжин хоосон суурь – Оптик, хагас дамжуулагч болон туршилтын вафл

Товч тайлбар:

Зурагт үзүүлсэн сапфир дөрвөлжин хоосон суурь нь өндөр цэвэршилттэй, дан талст хөнгөн цагааны исэл (Al₂O₃) материал бөгөөд дэвшилтэт оптик систем, хагас дамжуулагч боловсруулалт, нарийвчлалтай тоног төхөөрөмжийн туршилтын шаардлагыг хангахаар бүтээгдсэн. Kyropoulos (KY) эсвэл Czochralski (CZ) процесс зэрэг дэвшилтэт талст ургалтын аргуудаар үйлдвэрлэсэн энэхүү сапфир хоосон зай нь гайхалтай оптик тунгалаг байдал, онцгой хатуулаг, гайхалтай химийн тогтвортой байдлыг харуулдаг тул өндөр хүчин чадалтай үйлдвэрлэлийн хэрэглээнд тохиромжтой сонголт болдог.

Бидэнд имэйл илгээх

Онцлог шинж чанарууд

Дэлгэрэнгүй диаграмм

Sapphire Square Blank субстратын тойм

Зурагт үзүүлсэн шиг индранил дөрвөлжин хоосон суурь нь дэвшилтэт оптик инженерчлэл, хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн үйлдвэрлэл, нарийн тоног төхөөрөмжийн туршилтад ашиглах зориулалттай өндөр цэвэршилттэй дан талст хөнгөн цагааны исэл (Al₂O₃) бүрэлдэхүүн хэсэг юм. Онцгой физик, химийн шинж чанараараа алдартай индранил нь маш бат бөх, тогтвортой, оптик гүйцэтгэл шаарддаг салбаруудад хамгийн зайлшгүй шаардлагатай материалуудын нэг болсон. Киропулус (KY), Дулаан солилцооны арга (HEM), эсвэл Чохралски (CZ) процесс зэрэг нарийн талст ургалтын аргуудаар үйлдвэрлэсэн эдгээр дөрвөлжин хоосон зайг хамгийн өндөр чанарын стандартыг хангахын тулд нямбай үйлдвэрлэдэг.

Sapphire Square Blank субстратын гол онцлогууд

Саффир бол зургаан өнцөгт торлог бүтэцтэй, нэг тэнхлэгтэй, анизотроп болор бөгөөд механик бат бөх, дулааны тогтвортой байдал, химийн эсэргүүцлийн хосгүй хослолыг санал болгодог. Мохсын хатуулгийн 9 үнэлгээтэй саффир нь зураасны эсэргүүцлийн хувьд алмазын дараа хоёрдугаарт ордог бөгөөд зүлгүүрийн үйлдвэрлэлийн нөхцөлд ч гэсэн онцгой удаан эдэлгээтэй байдлыг хангадаг. Хайлах цэг нь 2000°C-аас давсан тул өндөр температурт найдвартай ажиллах боломжийг олгодог бол диэлектрик алдагдал багатай тул радио давтамжийн болон өндөр давтамжийн электрон хэрэглээнд илүүд үздэг суурь материал болгодог.

Оптик салбарт индранил нь гүн хэт ягаан туяанаас (~200нм) харагдахуйц, дунд хэт улаан туяанаас (~5000нм) хүртэл өргөн дамжуулах хүрээг харуулдаг бөгөөд зөв чиглүүлсэн үед маш сайн оптик нэгэн төрлийн, хоёр хугарал багатай байдаг. Эдгээр шинж чанарууд нь индранил дөрвөлжин хоосон зайг лазер систем, фотоник, спектроскопи, дүрслэл зэрэг оптик эрчимтэй салбарт зайлшгүй шаардлагатай болгодог.

Үйлдвэрлэл ба Боловсруулалт

Саффир дөрвөлжин хоосон суурь бүр нь өндөр цэвэршилттэй түүхий хөнгөн цагааны нунтагыг өндөр температурт зууханд хяналттай талстын өсөлтөд оруулж, хатуу үйлдвэрлэлийн процессыг дамждаг. Бөөнөөр нь талстыг ургуулсны дараа хэрэглээний онцлог шаардлагад нийцүүлэн нарийн чиглүүлдэг (ихэвчлэн C-хавтгай (0001), A-хавтгай (11-20), эсвэл R-хавтгай (1-102)). Дараа нь болорыг алмазан бүрсэн хөрөө ашиглан дөрвөлжин хоосон зайд зүсэж, дараа нь зузаан жигд байдлыг хангахын тулд нарийн зүсэлт хийдэг. Оптик болон хагас дамжуулагч хэрэглээний хувьд гадаргууг атомын түвшний гөлгөр болгож өнгөлж, хатуу тэгш байдал, параллелизм, гадаргуугийн барзгар байдлын үзүүлэлтүүдийг хангаж болно.

Гол давуу талууд

Онцгой оптик тунгалаг байдал– Хэт ягаан туяанаас хэт улаан туяа руу өргөн зурвасын дамжуулалт нь оптик цонх, лазерын хөндий, мэдрэгчийн бүрхүүлд тохиромжтой.
Дээд зэргийн механик бат бөх чанар– Өндөр шахалтын бат бэх, хугарлын бат бөх чанар, зурагдахаас хамгаалах чадвар нь өндөр стресстэй орчинд удаан эдэлгээтэй байдлыг хангадаг.
Дулааны ба химийн тогтвортой байдал– Дулааны цочрол, өндөр температур, түрэмгий химийн бодисуудад тэсвэртэй, хагас дамжуулагч боловсруулах явцад болон хүрээлэн буй орчны хүнд нөхцөлд тэсвэртэй байдлыг хадгалдаг.
Нарийвчлалтай хэмжээст хяналт– ±5µm дотор зузааны хүлцэл болон λ/10 хүртэлх гадаргуугийн тэгш байдал (632.8nm дээр) нь фотолитографи болон вафлийн холболтын хэрэглээнд чухал ач холбогдолтой.
Олон талт байдал– Оптик бүрэлдэхүүн хэсэг, эпитаксиал өсөлтийн суурь, машины туршилтын вафли зэрэг олон төрлийн хэрэглээнд тохиромжтой.

Аппликейшнүүд

Оптик хэрэглээОптик тунгалаг байдал болон бат бөх чанарын ачаар цонх, шүүлтүүр, лазерын олшруулагчийн суурь, мэдрэгчийн хамгаалалтын бүрхүүл, фотоникийн суурь болгон ашигладаг.
Хагас дамжуулагч суурьДулаан дамжуулалт болон химийн эсэргүүцэл нь хамгийн чухал ач холбогдолтой GaN дээр суурилсан LED, цахилгаан электроник (SiC-ийн индранил бүтэц), RF төхөөрөмжүүд болон микроэлектроник хэлхээний үндсэн суурь болж үйлчилдэг.
Тоног төхөөрөмжийн туршилт болон хуурамч вафлиХагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн шугамд туршилтын суурь болгон түгээмэл ашигладаг бөгөөд машины тохируулга, процессын симуляци, сийлбэр, тунадасжуулалт эсвэл үзлэгийн тоног төхөөрөмжийн тэсвэрлэх чадварыг шалгахад ашигладаг.
Шинжлэх ухааны судалгааОптик, цахилгаан болон материалын судалгаанд зориулсан идэвхгүй, тунгалаг, механик тогтвортой платформ шаарддаг туршилтын тохиргоонд зайлшгүй шаардлагатай.

Түгээмэл асуултууд

А1: Дугуй вафлитай харьцуулахад дөрвөлжин индранил хоосон зай ашиглахын давуу тал юу вэ?
А: Дөрвөлжин хоосон зай нь захиалгаар зүсэх, төхөөрөмж үйлдвэрлэх эсвэл машин турших хамгийн их ашиглах боломжтой талбайг бий болгож, материалын хаягдал болон зардлыг бууруулдаг.

А2: Индранил суурь нь хагас дамжуулагч боловсруулах орчинд тэсвэртэй юу?
А: Тийм ээ, индранил суурь нь өндөр температур, плазмын сийлбэр, хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлд түгээмэл хэрэглэгддэг химийн боловсруулалтын дор тогтвортой байдлаа хадгалдаг.

А3: Миний хэрэглээнд гадаргуугийн чиглэл чухал уу?
А: Мэдээж. C хэлбэрийн индранил чулууг LED үйлдвэрлэлд GaN эпитаксид өргөн ашигладаг бол А хэлбэрийн болон R хэлбэрийн чиглэлийг тодорхой оптик эсвэл пьезоэлектрик хэрэглээнд илүүд үздэг.

А4: Эдгээр хоосон зайг захиалгаар бүрэх боломжтой юу?
А: Тийм ээ, тодорхой оптик эсвэл электрон шаардлагыг хангахын тулд тусгалгүй, диэлектрик эсвэл дамжуулагч бүрхүүл хэрэглэж болно.

Бидний тухай

XKH нь тусгай оптик шил болон шинэ болор материалын өндөр технологийн хөгжил, үйлдвэрлэл, борлуулалтад мэргэшсэн. Манай бүтээгдэхүүнүүд нь оптик электроник, хэрэглээний электроник болон цэргийн салбарт үйлчилдэг. Бид Sapphire оптик эд анги, гар утасны линзний бүрхүүл, керамик, LT, цахиурын карбидын SIC, кварц болон хагас дамжуулагч болор хавтанг санал болгодог. Бид чадварлаг туршлага, дэвшилтэт тоног төхөөрөмжөөрөө тэргүүлэгч оптоэлектроник материалын өндөр технологийн аж ахуйн нэгж болох зорилготойгоор стандарт бус бүтээгдэхүүн боловсруулах чиглэлээр тэргүүлэгч юм.