Индранил дан болор Al2O3 өсөлтийн зуух KY арга Киропулос өндөр чанарын индранил болор үйлдвэрлэл
Бүтээгдэхүүний танилцуулга
Киропулосын арга нь өндөр чанарын индранил талстыг ургуулах арга техник бөгөөд гол нь температурын талст болон талст өсөлтийн нөхцлийг нарийн хянах замаар индранил талстыг жигд ургуулах явдал юм. KY хөөсөлтийн аргын индранил гулдмай дээр үзүүлэх онцгой нөлөө нь дараах байдалтай байна.
1. Өндөр чанартай болор өсөлт:
Согог бага нягтрал: KY хөөс ургуулах арга нь удаан хөргөх, температурыг нарийн хянах замаар болор доторх мултрал, согогийг багасгаж, өндөр чанартай индранил гулдмай ургадаг.
Өндөр жигд байдал: Нэг төрлийн дулааны талбар ба өсөлтийн хурд нь талстуудын химийн найрлага, физик шинж чанарыг тогтвортой байлгадаг.
2. Том хэмжээтэй болор үйлдвэрлэл:
Том диаметртэй ембүү: KY бөмбөлөг ургуулах арга нь том хэмжээтэй субстратын үйлдвэрлэлийн хэрэгцээг хангах үүднээс 200мм-ээс 300мм-ийн диаметртэй том хэмжээтэй индранил гулдмай ургуулахад тохиромжтой.
Кристал ембүү: Өсөлтийн процессыг оновчтой болгосноор материалын ашиглалтын түвшинг сайжруулахын тулд илүү урт болор ембүү ургуулж болно.
3. Өндөр оптик үзүүлэлт:
Өндөр гэрлийн дамжуулалт: KY өсөлтийн индранил болор ембүү нь маш сайн оптик шинж чанартай, өндөр гэрлийн дамжуулалттай, оптик болон оптоэлектроник хэрэглээнд тохиромжтой.
Шингээлтийн түвшин бага: Кристал дахь гэрлийн шингээлтийн алдагдлыг бууруулж, оптик төхөөрөмжийн үр ашгийг дээшлүүлнэ.
4. Маш сайн дулаан механик шинж чанар:
Өндөр дулаан дамжилтын илтгэлцүүр: Индранил гулдмайн өндөр дулаан дамжилтын илтгэлцүүр нь өндөр хүчин чадалтай төхөөрөмжүүдийн дулаан ялгаруулах шаардлагад тохиромжтой.
Өндөр хатуулаг ба элэгдэлд тэсвэртэй: Сапфир нь Mohs хатуулагтай 9, элэгдэлд тэсвэртэй эд анги үйлдвэрлэхэд тохиромжтой, алмазын дараа хоёрдугаарт ордог.
Киропулосын арга нь өндөр чанарын индранил талстыг ургуулах арга техник бөгөөд гол нь температурын талст болон талст өсөлтийн нөхцлийг нарийн хянах замаар индранил талстыг жигд ургуулах явдал юм. KY хөөсөлтийн аргын индранил гулдмай дээр үзүүлэх онцгой нөлөө нь дараах байдалтай байна.
1. Өндөр чанартай болор өсөлт:
Согог бага нягтрал: KY хөөс ургуулах арга нь удаан хөргөх, температурыг нарийн хянах замаар болор доторх мултрал, согогийг багасгаж, өндөр чанартай индранил гулдмай ургадаг.
Өндөр жигд байдал: Нэг төрлийн дулааны талбар ба өсөлтийн хурд нь талстуудын химийн найрлага, физик шинж чанарыг тогтвортой байлгадаг.
2. Том хэмжээтэй болор үйлдвэрлэл:
Том диаметртэй ембүү: KY бөмбөлөг ургуулах арга нь том хэмжээтэй субстратын үйлдвэрлэлийн хэрэгцээг хангах үүднээс 200мм-ээс 300мм-ийн диаметртэй том хэмжээтэй индранил гулдмай ургуулахад тохиромжтой.
Кристал ембүү: Өсөлтийн процессыг оновчтой болгосноор материалын ашиглалтын түвшинг сайжруулахын тулд илүү урт болор ембүү ургуулж болно.
3. Өндөр оптик үзүүлэлт:
Өндөр гэрлийн дамжуулалт: KY өсөлтийн индранил болор ембүү нь маш сайн оптик шинж чанартай, өндөр гэрлийн дамжуулалттай, оптик болон оптоэлектроник хэрэглээнд тохиромжтой.
Шингээлтийн түвшин бага: Кристал дахь гэрлийн шингээлтийн алдагдлыг бууруулж, оптик төхөөрөмжийн үр ашгийг дээшлүүлнэ.
4. Маш сайн дулаан механик шинж чанар:
Өндөр дулаан дамжилтын илтгэлцүүр: Индранил гулдмайн өндөр дулаан дамжилтын илтгэлцүүр нь өндөр хүчин чадалтай төхөөрөмжүүдийн дулаан ялгаруулах шаардлагад тохиромжтой.
Өндөр хатуулаг ба элэгдэлд тэсвэртэй: Сапфир нь Mohs хатуулагтай 9, элэгдэлд тэсвэртэй эд анги үйлдвэрлэхэд тохиромжтой, алмазын дараа хоёрдугаарт ордог.
Техникийн параметрүүд
| Нэр | Өгөгдөл | Үр нөлөө |
| Өсөлтийн хэмжээ | Диаметр 200-300 мм | Том хэмжээтэй субстратын хэрэгцээг хангах, үйлдвэрлэлийн үр ашгийг дээшлүүлэхийн тулд том хэмжээтэй индранил болороор хангах. |
| Температурын хүрээ | Хамгийн их температур 2100 ° C, нарийвчлал ± 0.5 ° C | Өндөр температурын орчин нь болор өсөлтийг баталгаажуулж, температурын нарийн хяналт нь болор чанарыг баталгаажуулж, согогийг бууруулдаг. |
| Өсөлтийн хурд | 0.5мм/ц - 2мм/ц | Кристал өсөлтийн хурдыг хянах, болор чанар, үйлдвэрлэлийн үр ашгийг оновчтой болгох. |
| Халаалтын арга | Гянт болд эсвэл молибдений халаагуур | Кристал өсөлтийн үед температурын тогтвортой байдлыг хангах, болор жигд байдлыг сайжруулахын тулд жигд дулааны талбайг хангана. |
| Хөргөлтийн систем | Үр ашигтай ус эсвэл агаар хөргөх систем | Тоног төхөөрөмжийн тогтвортой ажиллагааг хангах, хэт халалтаас урьдчилан сэргийлэх, ашиглалтын хугацааг уртасгах. |
| Хяналтын систем | PLC эсвэл компьютерийн хяналтын систем | Үйлдвэрлэлийн нарийвчлал, үр ашгийг дээшлүүлэхийн тулд автоматжуулсан ажиллагаа, бодит цагийн хяналтад хүрнэ. |
| Вакуум орчин | Өндөр вакуум буюу инерт хийн хамгаалалт | Кристалын цэвэр байдал, чанарыг хангахын тулд болор исэлдэлтээс сэргийлнэ. |
Үйл ажиллагааны зарчим
KY аргын индранил болор зуухны ажиллах зарчим нь KY арга (хөөс өсөлтийн арга) болор өсөлтийн технологи дээр суурилдаг. Үндсэн зарчим нь:
1.Түүхий эд хайлуулах: Гянтболдын тигелд дүүргэсэн Al2O3 түүхий эдийг халаагуураар дамжуулан хайлах цэг хүртэл халааж хайлсан шөл үүсгэнэ.
2.Үрийн болортой холбоо барих: Хайлсан шингэний шингэний түвшин тогтворжсоны дараа үрийн талстыг хайлсан шингэний дээрээс температурыг нь чанд хянадаг хайлсан шингэнд дүрж, үрийн талст болон хайлсан шингэн нь хатуу-шингэн хоорондын зааг дээр үрийн талсттай ижил талст бүтэцтэй талстууд ургаж эхэлдэг.
3.Болор хүзүү үүсэх: Үрийн болор нь маш удаан хурдтайгаар дээшээ эргэлдэж, тодорхой хугацаанд татагдаж болор хүзүү үүсгэдэг.
4. Кристал өсөлт: Шингэн болон үрийн талст хоорондын интерфейсийн хатуурах хурд тогтвортой болсны дараа үрийн болор татах, эргэлдэхээ больсон бөгөөд зөвхөн хөргөлтийн хурдыг хянаж, талстыг дээрээс нь аажмаар хатууруулж, эцэст нь бүрэн индранил дан болор ургадаг.
Ургасны дараа индранил болор ембүү хэрэглэх
1. LED субстрат:
Өндөр тод LED: Индранил гулдмайг субстрат болгон хайчилж авсны дараа GAN-д суурилсан LED үйлдвэрлэхэд ашигладаг бөгөөд энэ нь гэрэлтүүлэг, дэлгэц, арын гэрэлтүүлгийн талбарт өргөн хэрэглэгддэг.
Мини/Бичил LED: Индранил субстратын өндөр тэгш, бага согог нягт нь өндөр нарийвчлалтай Mini/Micro LED дэлгэц үйлдвэрлэхэд тохиромжтой.
2. Лазер диод (LD):
Цэнхэр лазер: Саффир субстратыг өгөгдөл хадгалах, эмнэлгийн болон үйлдвэрлэлийн боловсруулалтад зориулсан цэнхэр лазер диод үйлдвэрлэхэд ашигладаг.
Хэт ягаан туяаны лазер: Sapphire-ийн өндөр гэрлийн дамжуулалт, дулааны тогтвортой байдал нь хэт ягаан туяаны лазер үйлдвэрлэхэд тохиромжтой.
3. Оптик цонх:
Өндөр гэрэл дамжуулах цонх: Сапфир ембүү нь лазер, хэт улаан туяаны төхөөрөмж болон дээд зэргийн камерт зориулсан оптик цонх үйлдвэрлэхэд ашиглагддаг.
Элэгдэлд тэсвэртэй цонх: Sapphire-ийн өндөр хатуулаг, элэгдэлд тэсвэртэй тул хатуу ширүүн орчинд ашиглахад тохиромжтой.
4. Хагас дамжуулагч эпитаксиаль субстрат:
GaN эпитаксиал өсөлт: Саффир субстратуудыг өндөр электрон хөдөлгөөнт транзистор (HEMTs) болон RF төхөөрөмжийг үйлдвэрлэхийн тулд GaN эпитаксиаль давхаргыг ургуулахад ашигладаг.
AlN epitaxial өсөлт: гүн хэт ягаан туяаны LED болон лазер үйлдвэрлэхэд ашигладаг.
5. Хэрэглээний электрон бараа:
Ухаалаг утасны камерын бүрээс: Саффир ембүү нь өндөр хатуулагтай, зураасанд тэсвэртэй камерын бүрээсийг хийхэд ашиглагддаг.
Ухаалаг цагны толь: Sapphire-ийн элэгдэлд тэсвэртэй байдал нь өндөр чанартай ухаалаг цагны толь үйлдвэрлэхэд тохиромжтой.
6. Үйлдвэрийн хэрэглээ:
Элэгдлийн эд анги: Саффир ембүү нь холхивч, хушуу зэрэг үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмжийн элэгдлийн эд анги үйлдвэрлэхэд ашиглагддаг.
Өндөр температур мэдрэгч: Химийн тогтвортой байдал, индранилны өндөр температурын шинж чанар нь өндөр температур мэдрэгч үйлдвэрлэхэд тохиромжтой.
7. Сансар судлал:
Өндөр температурт цонх: Саффир ембүү нь өндөр температурт цонх, сансрын тоног төхөөрөмжийн мэдрэгч үйлдвэрлэхэд ашиглагддаг.
Зэврэлтэнд тэсвэртэй эд анги: Индранил нь химийн тогтвортой байдал нь зэврэлтэнд тэсвэртэй эд анги үйлдвэрлэхэд тохиромжтой.
8. Эмнэлгийн тоног төхөөрөмж:
Өндөр нарийвчлалтай багаж: Сапфир ембүү нь хусуур, дуран зэрэг өндөр нарийвчлалтай эмнэлгийн багаж хэрэгсэл үйлдвэрлэхэд ашиглагддаг.
Биосенсор: Индранил нь био нийцтэй тул био мэдрэгч үйлдвэрлэхэд тохиромжтой.
XKH нь хэрэглэгчдэд ашиглалтын явцад иж бүрэн, цаг алдалгүй, үр дүнтэй дэмжлэг үзүүлэхийн тулд KY процессын индранил зуухны тоног төхөөрөмжийн цогц үйлчилгээг хэрэглэгчдэд хүргэх боломжтой.
1. Тоног төхөөрөмжийн борлуулалт: Хэрэглэгчийн үйлдвэрлэлийн хэрэгцээг хангахын тулд KY аргын индранил зуухны тоног төхөөрөмжийн борлуулалтын үйлчилгээ, түүний дотор янз бүрийн загвар, тоног төхөөрөмжийн сонголтын үзүүлэлтүүд.
2.Техникийн дэмжлэг: Тоног төхөөрөмжийг хэвийн ажиллуулах, үйлдвэрлэлийн хамгийн сайн үр дүнд хүрэхийн тулд хэрэглэгчдэд тоног төхөөрөмжийн суурилуулалт, ашиглалтад оруулах, ашиглалт болон бусад техникийн дэмжлэг үзүүлэх.
3.Сургалтын үйлчилгээ: Хэрэглэгчдэд тоног төхөөрөмжийн ашиглалт, засвар үйлчилгээ болон сургалтын үйлчилгээний бусад чиглэлээр үзүүлэх, хэрэглэгчдэд тоног төхөөрөмжийн ашиглалтын үйл явцтай танилцахад туслах, тоног төхөөрөмжийн ашиглалтын үр ашгийг дээшлүүлэх.
4. Захиалгат үйлчилгээ: Үйлчлүүлэгчдийн тусгай хэрэгцээнд нийцүүлэн тоног төхөөрөмжийн дизайн, үйлдвэрлэл, суурилуулалт болон бусад хувийн шийдлүүдийг багтаасан тоног төхөөрөмжийн үйлчилгээг үзүүлэх.
Нарийвчилсан диаграмм
