Сафирын дан талст Al2O3 өсөлтийн зуух KY арга Киропулос өндөр чанартай индранил талстын үйлдвэрлэл

Товч тайлбар:

KY процессын индранил талст зуух нь том хэмжээтэй, өндөр чанартай индранил талст ургуулахад тусгайлан ашигладаг тоног төхөөрөмжийн нэг төрөл юм. Тоног төхөөрөмж нь ус, цахилгаан, хий зэргийг дэвшилтэт дизайн, нарийн төвөгтэй бүтэцтэйгээр нэгтгэдэг. Энэ нь голчлон болор ургуулах камер, үрийн талст өргөх, эргүүлэх систем, вакуум систем, хийн замын систем, хөргөлтийн усны систем, эрчим хүчний хангамж, хяналтын систем, хүрээ болон бусад туслах тоног төхөөрөмжөөс бүрдэнэ.

Бидэнд имэйл илгээх

Онцлог шинж чанарууд

Бүтээгдэхүүний танилцуулга

Киропулос арга нь өндөр чанартай индранил талстыг ургуулах арга бөгөөд гол цөм нь температурын талбар болон болор ургах нөхцлийг нарийн хянаснаар индранил талстыг жигд ургуулах явдал юм. KY хөөсөрч авах аргын индранил гулдмайд үзүүлэх тодорхой нөлөөллийг дор харуулав.

1. Өндөр чанартай болор ургалт:

Бага согогийн нягтрал: KY бөмбөлөг ургуулах арга нь удаан хөргөлт болон нарийн температурын хяналтаар болор доторх мултрал болон согогийг бууруулж, өндөр чанартай индранил гулдмайг ургуулдаг.

Өндөр жигд байдал: Жигд дулааны орон ба өсөлтийн хурд нь талстуудын химийн найрлага болон физик шинж чанарыг тогтвортой байлгадаг.

2. Том хэмжээтэй болор үйлдвэрлэл:

Том диаметртэй гулдмай: KY бөмбөлөг ургуулах арга нь том хэмжээтэй суурь материалын үйлдвэрлэлийн хэрэгцээг хангахын тулд 200 мм-ээс 300 мм-ийн диаметртэй том хэмжээтэй индранил гулдмай ургуулахад тохиромжтой.

Болор гулдмай: Өсөлтийг оновчтой болгосноор материалын ашиглалтын түвшинг сайжруулахын тулд урт болор гулдмайг ургуулж болно.

3. Өндөр оптик гүйцэтгэл:

Өндөр гэрлийн дамжуулалт: KY өсөлтийн индранил болор гулдмай нь маш сайн оптик шинж чанартай, өндөр гэрлийн дамжуулалттай бөгөөд оптик болон оптоэлектроник хэрэглээнд тохиромжтой.

Бага шингээлтийн түвшин: Болор дахь гэрлийн шингээлтийн алдагдлыг бууруулж, оптик төхөөрөмжийн үр ашгийг дээшлүүлнэ.

4. Маш сайн дулааны болон механик шинж чанарууд:

Өндөр дулаан дамжуулалт: Сафирын гулдмайн өндөр дулаан дамжуулалт нь өндөр хүчин чадалтай төхөөрөмжүүдийн дулаан тархалтын шаардлагад тохиромжтой.

Өндөр хатуулаг ба элэгдэлд тэсвэртэй байдал: Сапфир нь Мохсын 9 хатуулагтай бөгөөд алмаазны дараа хоёрдугаарт ордог бөгөөд элэгдэлд тэсвэртэй эд анги үйлдвэрлэхэд тохиромжтой.

1. Өндөр чанартай болор ургалт:

2. Том хэмжээтэй болор үйлдвэрлэл:

3. Өндөр оптик гүйцэтгэл:

4. Маш сайн дулааны болон механик шинж чанарууд:

Техникийн үзүүлэлтүүд

Нэр	Өгөгдөл	Үр нөлөө
Өсөлтийн хэмжээ	Диаметр нь 200мм-300мм	Том хэмжээтэй субстратын хэрэгцээг хангахын тулд том хэмжээтэй индранил болороор хангаж, үйлдвэрлэлийн үр ашгийг дээшлүүлнэ.
Температурын хүрээ	Хамгийн их температур 2100°C, нарийвчлал ±0.5°C	Өндөр температурын орчин нь талстын өсөлтийг баталгаажуулдаг бол нарийн температурын хяналт нь талстын чанарыг баталгаажуулж, согогийг бууруулдаг.
Өсөлтийн хурд	0.5мм/цаг - 2мм/цаг	Кристал өсөлтийн хурдыг хянах, кристал чанар болон үйлдвэрлэлийн үр ашгийг оновчтой болгох.
Халаалтын арга	Вольфрам эсвэл молибден халаагч	Кристал өсөлтийн үед температурын тогтвортой байдлыг хангах, кристаллын жигд байдлыг сайжруулахын тулд жигд дулааны талбарыг бий болгодог.
Хөргөлтийн систем	Үр ашигтай ус эсвэл агаарын хөргөлтийн систем	Тоног төхөөрөмжийн тогтвортой ажиллагааг хангах, хэт халалтаас урьдчилан сэргийлэх, ашиглалтын хугацааг уртасгах.
Хяналтын систем	PLC эсвэл компьютерийн хяналтын систем	Үйлдвэрлэлийн нарийвчлал болон үр ашгийг сайжруулахын тулд автоматжуулсан ажиллагаа болон бодит цагийн хяналтыг бий болгох.
Вакуум орчин	Вакуум эсвэл инертийн хийн өндөр хамгаалалт	Кристаллын цэвэр байдал, чанарыг хангахын тулд талстын исэлдэлтээс урьдчилан сэргийлэх.

Ажиллах зарчим

KY аргын индранил талст зуухны ажиллах зарчим нь KY аргын (бөмбөлөг ургах арга) талст ургах технологид суурилдаг. Үндсэн зарчим нь:

1. Түүхий эд хайлуулах: Вольфрамын тигельд дүүргэсэн Al2O3 түүхий эдийг халаагуураар хайлах цэг хүртэл халааж хайлсан шөл үүсгэдэг.

2. Үрийн талсттай харьцах: Хайлсан шингэний шингэний түвшинг тогтворжуулсны дараа үрийн талстыг хайлсан шингэний дээрээс температурыг нь хатуу хянадаг хайлсан шингэнд дүрж, үрийн талст болон хайлсан шингэн нь хатуу-шингэний зааг дээр үрийн талсттай ижил талст бүтэцтэй талстууд ургаж эхэлдэг.

3.Болор хүзүү үүсэх: Үрийн болор нь маш удаан хурдтайгаар дээшээ эргэлдэж, хэсэг хугацаанд татагдаж болор хүзүү үүсгэдэг.

4. Кристал өсөлт: Шингэн ба үрийн талстын хоорондох интерфэйсийн хатууралтын хурд тогтвортой болсны дараа үрийн талс татагдах, эргэлдэхээ больж, зөвхөн хөргөлтийн хурдыг хянаж, талсыг дээрээс доош аажмаар хатууруулж, эцэст нь бүрэн индранил дан талст үүсгэдэг.

Ургасны дараа сафир болор гулдмай ашиглах

1. LED суурь:

Өндөр тод LED: Сафиран гулдмайг суурь болгон зүссэний дараа гэрэлтүүлэг, дэлгэц болон арын гэрэлтүүлгийн салбарт өргөн хэрэглэгддэг GAN дээр суурилсан LED үйлдвэрлэхэд ашигладаг.

Мини/Микро LED: Сафир суурьтай өндөр тэгш байдал болон бага согогийн нягтрал нь өндөр нягтралтай Мини/Микро LED дэлгэц үйлдвэрлэхэд тохиромжтой.

2. Лазер диод (LD):

Цэнхэр лазер: Сафирын суурь нь өгөгдөл хадгалах, анагаах ухаан болон үйлдвэрлэлийн боловсруулалтын зориулалттай цэнхэр лазер диод үйлдвэрлэхэд ашиглагддаг.

Хэт ягаан туяаны лазер: Sapphire-ийн өндөр гэрлийн дамжуулалт болон дулааны тогтвортой байдал нь хэт ягаан туяаны лазер үйлдвэрлэхэд тохиромжтой.

3. Оптик цонх:

Өндөр гэрлийн дамжуулалтын цонх: Индранил чулуун гулдмайг лазер, хэт улаан туяаны төхөөрөмж болон өндөр зэрэглэлийн камеруудад зориулсан оптик цонх үйлдвэрлэхэд ашигладаг.

Элэгдэлд тэсвэртэй цонх: Сапфирын өндөр хатуулаг болон элэгдэлд тэсвэртэй байдал нь хатуу ширүүн орчинд ашиглахад тохиромжтой.

4. Хагас дамжуулагч эпитаксиал субстрат:

GaN эпитаксиал өсөлт: Сафирын субстратыг өндөр электрон хөдөлгөөнт транзистор (HEMTs) болон RF төхөөрөмж үйлдвэрлэхийн тулд GaN эпитаксиал давхаргыг ургуулахад ашигладаг.

AlN эпитаксиал өсөлт: гүн хэт ягаан туяаны LED болон лазер үйлдвэрлэхэд ашигладаг.

5. Хэрэглээний электрон бараа:

Ухаалаг гар утасны камерын бүрхүүлийн хавтан: Индранил чулуун гулдмайг өндөр хатуулагтай, зурагдахаас хамгаалсан камерын бүрхүүлийн хавтан хийхэд ашигладаг.

Ухаалаг цагны толь: Sapphire-ийн өндөр элэгдэлд тэсвэртэй байдал нь өндөр зэрэглэлийн ухаалаг цагны толь үйлдвэрлэхэд тохиромжтой болгодог.

6. Аж үйлдвэрийн хэрэглээ:

Элэгдлийн эд анги: Саффирын гулдмайг холхивч, цорго зэрэг үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмжийн элэгдлийн эд анги үйлдвэрлэхэд ашигладаг.

Өндөр температурын мэдрэгч: Сафирын химийн тогтвортой байдал болон өндөр температурын шинж чанар нь өндөр температурын мэдрэгч үйлдвэрлэхэд тохиромжтой.

7. Агаарын тээвэр:

Өндөр температурт ажилладаг цонх: Индранил чулуун гулдмайг өндөр температурт ажилладаг цонх, сансрын тоног төхөөрөмжийн мэдрэгч үйлдвэрлэхэд ашигладаг.

Зэврэлтэнд тэсвэртэй эд анги: Сафирын химийн тогтвортой байдал нь зэврэлтэнд тэсвэртэй эд анги үйлдвэрлэхэд тохиромжтой болгодог.

8. Эмнэлгийн тоног төхөөрөмж:

Өндөр нарийвчлалтай багаж хэрэгсэл: Саффирын гулдмайг хуйх, дуран зэрэг өндөр нарийвчлалтай эмнэлгийн багаж хэрэгсэл үйлдвэрлэхэд ашигладаг.

Биосенсор: Сафирын био нийцтэй байдал нь биосенсор үйлдвэрлэхэд тохиромжтой болгодог.

XKH нь хэрэглэгчдэд ашиглалтын явцад цогц, цаг тухайд нь, үр дүнтэй дэмжлэг авахын тулд нэг цэгийн KY процессын индранил зуухны тоног төхөөрөмжийн бүрэн хэмжээний үйлчилгээг үзүүлэх боломжтой.

1. Тоног төхөөрөмжийн борлуулалт: Үйлчлүүлэгчдийн үйлдвэрлэлийн хэрэгцээг хангахын тулд KY аргын индранил зуухны тоног төхөөрөмжийн борлуулалтын үйлчилгээ, түүний дотор янз бүрийн загвар, тоног төхөөрөмжийн сонголтын үзүүлэлтүүдийг хангана.

2. Техникийн дэмжлэг: Тоног төхөөрөмжийг хэвийн ажиллуулж, хамгийн сайн үйлдвэрлэлийн үр дүнд хүрэхийн тулд үйлчлүүлэгчдэд тоног төхөөрөмжийг суурилуулах, ашиглалтад оруулах, ажиллуулах болон бусад техникийн дэмжлэг үзүүлэх.

3. Сургалтын үйлчилгээ: Үйлчлүүлэгчдэд тоног төхөөрөмжийн ашиглалт, засвар үйлчилгээ болон бусад сургалтын үйлчилгээг үзүүлэх, тоног төхөөрөмжийн ашиглалтын үйл явцтай танилцахад нь туслах, тоног төхөөрөмжийн ашиглалтын үр ашгийг дээшлүүлэх.

4. Захиалгат үйлчилгээ: Үйлчлүүлэгчдийн тусгай хэрэгцээнд нийцүүлэн тоног төхөөрөмжийн дизайн, үйлдвэрлэл, суурилуулалт болон хувь хүнд тохирсон шийдлүүдийн бусад талуудыг багтаасан захиалгат тоног төхөөрөмжийн үйлчилгээ үзүүлэх.