Sapphire Crystal Growth Furnace KY Kyropoulos арга индранил хавтан ба оптик цонх үйлдвэрлэх арга

Sapphire Crystal Growth Furnace KY Kyropoulos арга индранил хавтан ба оптик цонхны үйлдвэрлэлийн Онцлох зураг

Богино тайлбар:

Энэхүү индранил болор ургуулах төхөөрөмж нь олон улсад тэргүүлэгч Киропулосын (KY) аргыг ашигладаг бөгөөд энэ нь том диаметртэй, бага согогтой индранил нэг талст ургуулахад зориулагдсан. KY арга нь үрийн талст татах, эргэлтийн хурд, температурын градиентыг нарийн хянах боломжийг олгодог бөгөөд өндөр температурт (2000–2200 ° C) 12 инч (300 мм) диаметртэй индранил талстыг ургуулах боломжийг олгодог. XKH-ийн KY аргын системүүд нь 2-12 инчийн C/A хэлбэрийн индранил хавтан, оптик цонхны үйлдвэрлэлийн үйлдвэрлэлд өргөн хэрэглэгддэг бөгөөд сард 20 ширхэг бүтээгдэхүүн гаргадаг. Тоног төхөөрөмж нь допингийн процессыг (жишээ нь, бадмаараг синтезийн Cr³⁰ допинг) дэмждэг бөгөөд болор чанарыг дараах байдлаар хангадаг.

Мултрах нягт <100/см²

Дамжуулах чадвар >85% @ 400–5500 нм

Бидэн рүү имэйл илгээнэ үү

Онцлогууд

Ажлын зарчим

KY аргын үндсэн зарчим нь өндөр цэвэршилттэй Al₂O₃ түүхий эдийг вольфрам/молибдений тигелд 2050°С-т хайлуулах явдал юм. α-Al₂O₃ дан талстуудын чиглэлтэй өсөлтийг бий болгохын тулд үрийн талстыг хайлмал руу буулгаж, дараа нь хяналттай татан авах (0.5-10 мм/цаг) ба эргүүлэх (0.5-20 эрг/мин) үйлдлээр. Гол онцлогууд нь:

• Том хэмжээтэй талстууд (хамгийн их. Φ400 мм × 500 мм)
• Бага хүчдэлтэй оптик зэрэглэлийн индранил (долгионы фронтын гажуудал <λ/8 @ 633 нм)
• Боловсруулсан талстууд (жишээ нь, одны индранил дахь Ti³⁰ допинг)

Системийн үндсэн бүрэлдэхүүн хэсгүүд

1. Өндөр температурт хайлуулах систем
• Гянт болд-молибдений нийлмэл тигель (хамгийн их температур 2300°C)
• Олон бүсийн бал чулуу халаагч (±0.5°C температурын хяналт)

2. Кристал өсөлтийн систем
• Серво хөтлөгчтэй татах механизм (±0.01 мм нарийвчлалтай)
• Соронзон шингэний эргэдэг тамга (0–30 эрг/мин хурдны шатлалгүй зохицуулалт)

3. Дулааны талбайн хяналт
• 5 бүсийн бие даасан температурын хяналт (1800–2200°C)
• Тохируулах боломжтой дулааны хамгаалалт (±2°C/см налуу)
• Вакуум ба агаар мандлын систем
• 10⁻⁴ Па өндөр вакуум
• Ar/N₂/H₂ холимог хийн хяналт

4. Ухаалаг хяналт
• CCD бодит цагийн болор диаметрийг хянах
• Олон спектрийн хайлалтын түвшинг илрүүлэх

KY ба CZ аргын харьцуулалт

Параметр	KY арга	CZ арга
Макс. Кристал хэмжээ	Φ400 мм	Φ200 мм
Өсөлтийн хурд	5-15 мм/цаг	20-50 мм / цаг
Согогийн нягтрал	<100/см²	500-1000/см²
Эрчим хүчний хэрэглээ	80-120 кВт.ц/кг	50-80 кВт.ц/кг
Ердийн програмууд	Оптик цонх/том өрөм	LED субстрат / үнэт эдлэл

Гол програмууд

1. Оптоэлектроник цонх
• Цэргийн IR бөмбөгөр (дамжуулах чадвар >85%@3–5 μm)
• Хэт ягаан туяаны лазер цонх (200 Вт/см² эрчим хүчний нягтыг тэсвэрлэх)

2. Хагас дамжуулагч субстрат
• GaN эпитаксиаль хавтан (2–8 инч, TTV <10 мкм)
• SOI субстрат (гадаргуугийн тэгш бус байдал <0.2 нм)

3. Хэрэглээний электрон бараа
• Ухаалаг утасны камерын бүрхүүлийн шил (Mohs хатуулаг 9)
• Ухаалаг цагны дэлгэц (зураасны эсэргүүцлийг 10 дахин сайжруулсан)

4. Тусгай зориулалтын материал
• Өндөр цэвэршилттэй IR оптик (шингээлтийн коэффициент <10⁻³ см⁻¹)
• Цөмийн реакторын ажиглалтын цонх (цацрагт тэсвэрлэх чадвар: 10¹⁶ n/cm²)

Киропулос (KY) индранил болор ургуулах төхөөрөмжийн давуу тал

Киропулосын (KY) аргад суурилсан индранил болор өсгөвөрлөх төхөөрөмж нь техникийн хосгүй давуу талуудыг санал болгож, үйлдвэрлэлийн хэмжээний үйлдвэрлэлийн хамгийн сүүлийн үеийн шийдэл болж өгдөг. Гол давуу талууд нь:

1. Том диаметртэй чадавхи: 12 инч (300 мм) хүртэлх диаметртэй индранил чулуун талстыг ургуулах чадвартай, GaN эпитакси, цэргийн зориулалттай цонх зэрэг дэвшилтэт хэрэглээнд зориулж өрөм, оптик эд ангиудыг өндөр бүтээмжтэй үйлдвэрлэх боломжтой.

2. Хэт бага согогийн нягтрал: Дулааны талбайн оновчтой дизайн, температурын градиентийг нарийн хянах замаар нүүлгэн шилжүүлэлтийн нягтыг <100/см² болгож, оптоэлектроник төхөөрөмжүүдийн дээд зэргийн болор бүрэн бүтэн байдлыг хангана.

3. Өндөр чанарын оптик гүйцэтгэл: Хэт ягаан туяаны лазер цонх болон хэт улаан туяаны оптикийн хувьд чухал ач холбогдолтой хэт улаан туяаны спектр (400–5500 нм)-д харагдахуйц дамжуулалтыг >85% дамжуулдаг.

4. Дэвшилтэт автоматжуулалт: Серво хөтлөгчтэй татах механизм (±0.01 мм-ийн нарийвчлалтай) болон соронзон шингэний эргэдэг лац (0-30 эрг/мин шатлалгүй удирдлага) зэрэг нь хүний оролцоог багасгаж, тогтвортой байдлыг сайжруулдаг.

5. Допингийн уян хатан сонголтууд: Cr³⁰ (бадмаараг) ба Ti³⁰ (од индранил) зэрэг нэмэлт бодисоор тохируулгыг дэмжиж, оптоэлектроник болон үнэт эдлэлийн зах зээлд нийцдэг.

6. Эрчим хүчний хэмнэлт: Оновчтой дулаан тусгаарлалт (волфрам-молибдений тигель) нь эрчим хүчний хэрэглээг 80-120 кВт.ц/кг хүртэл бууруулж, өсөлтийн өөр аргуудтай өрсөлдөх чадвартай.

7. Өргөтгөх боломжтой үйлдвэрлэл: Дэлхий даяар 200 гаруй суурилуулалтаар баталгаажсан хурдан эргэлтийн хугацаатай (30-40 кг талстуудад 8-10 хоног) сар бүр 5,000 гаруй вафель үйлдвэрлэх боломжтой.
.
8. Цэргийн зэрэглэлийн бат бөх чанар: Агаарын болон цөмийн хэрэглээнд зайлшгүй шаардлагатай цацрагт тэсвэртэй загвар, халуунд тэсвэртэй материал (10¹⁶ н/см²) агуулсан.
Эдгээр шинэлэг зүйл нь KY аргыг өндөр хүчин чадалтай индранил болор үйлдвэрлэх, 5G харилцаа холбоо, квант тооцоолол, батлан хамгаалах технологийн дэвшлийг жолоодох алтан стандарт болгон бэхжүүлж байна.

XKH үйлчилгээ

XKH нь индранил болор өсөлтийн системд зориулсан түлхүүр гардуулах иж бүрэн шийдлүүдийг санал болгож, суурилуулалт, үйл явцыг оновчтой болгох, үйл ажиллагааны нэгдмэл байдлыг хангах ажилтнуудын сургалтыг багтаасан болно. Бид олон төрлийн үйлдвэрлэлийн хэрэгцээнд тохирсон урьдчилан баталгаажуулсан өсөлтийн жорыг (50+) хүргэж, үйлчлүүлэгчдэд зориулсан судалгаа, боловсруулалтын хугацааг эрс багасгадаг. Мэргэшсэн хэрэглээний хувьд тусгайлан хөгжүүлэх үйлчилгээ нь хөндийн тохиргоо (Φ200–400 мм) болон дэвшилтэт допингийн системийг (Cr/Ti/Ni) идэвхжүүлж, өндөр үзүүлэлттэй оптик бүрэлдэхүүн хэсгүүд болон цацрагт тэсвэртэй материалыг дэмждэг.

Нэмүү өртөг шингэсэн үйлчилгээнд зүсэх, нунтаглах, өнгөлөх гэх мэт өсөлтийн дараах боловсруулалт багтаж, өрмөнцөр, хоолой, эрдэнийн чулуун бэлдэц гэх мэт олон төрлийн индранил бүтээгдэхүүнээр хангадаг. Эдгээр саналууд нь хэрэглээний электроникоос эхлээд сансар огторгуйн салбарыг хамардаг. Манай техникийн дэмжлэг нь 24 сарын баталгаат хугацаа, алсын зайн оношилгоог бодит цагийн хугацаанд хийж, хамгийн бага сул зогсолт, үйлдвэрлэлийн тогтвортой үр ашгийг баталгаажуулдаг.