KY Kyropoulos-ийн Sapphire Crystal Growth Furnace-ийн Sapphire Wafer болон Optical Window Production арга

KY Kyropoulos-ийн Sapphire Crystal өсөлтийн зуух, Sapphire Wafer болон оптик цонх үйлдвэрлэх арга Онцлох зураг

Товч тайлбар:

Энэхүү индранил талст ургуулах төхөөрөмж нь олон улсын хэмжээнд тэргүүлэгч Киропулос (KY) аргыг ашигладаг бөгөөд үүнийг том диаметртэй, бага согогтой индранил дан талст ургалтад тусгайлан бүтээсэн. KY арга нь үрийн талст татах, эргэлтийн хурд, температурын градиентийг нарийн хянах боломжийг олгодог бөгөөд өндөр температурт (2000–2200°C) 12 инч (300 мм) диаметртэй индранил талст ургах боломжийг олгодог. XKH-ийн KY аргын системийг 2–12 инчийн C/A хавтгай индранил талст болон оптик цонхны үйлдвэрлэлийн үйлдвэрлэлд өргөн ашигладаг бөгөөд сарын 20 нэгж гарцтай. Тоног төхөөрөмж нь допингийн процессыг (жишээлбэл, бадмаараг синтезийн Cr³⁰ допингийн) дэмждэг бөгөөд болор чанарыг дараах байдлаар хангадаг:

Мулгуурын нягтрал <100/см²

400–5500 нм-ийн долгионы уртад дамжуулах чадвар >85%

Бидэнд имэйл илгээх

Онцлог шинж чанарууд

Ажиллах зарчим

KY аргын гол зарчим нь өндөр цэвэршилттэй Al₂O₃ түүхий эдийг вольфрам/молибдений тигельд 2050°C-д хайлуулах явдал юм. Үрийн талстыг хайлмал руу буулгаж, дараа нь хяналттай татаж авах (0.5–10 мм/цаг) ба эргүүлэх (0.5–20 эрг/мин) үйлдлээр α-Al₂O₃ дан талстуудын чиглэлтэй өсөлтийг бий болгоно. Гол онцлогууд нь:

• Том хэмжээтэй талстууд (хамгийн ихдээ Φ400 мм × 500 мм)
• Бага хүчдэлтэй оптик зэрэглэлийн индранил (долгионы урд талын гажуудал <λ/8 @ 633 нм)
• Холбосон талстууд (жишээ нь, од индранилд зориулсан Ti³⁰ холимог)

Системийн гол бүрэлдэхүүн хэсгүүд

1. Өндөр температурт хайлуулах систем
• Вольфрам-молибдений нийлмэл тигель (хамгийн их температур 2300°C)
• Олон бүсийн бал чулуун халаагуур (±0.5°C температурын хяналт)

2. Кристал өсөлтийн систем
• Серво хөдөлгүүртэй татах механизм (±0.01 мм-ийн нарийвчлалтай)
• Соронзон шингэн эргэлдэгч битүүмжлэл (0–30 эрг/мин шатлалгүй хурдны тохируулга)

3. Дулааны талбайн хяналт
• 5 бүсийн бие даасан температурын хяналт (1800–2200°C)
• Тохируулж болох дулааны хамгаалалт (±2°C/см градиент)
• Вакуум ба агаар мандлын систем
• 10⁻⁴ Па өндөр вакуум
• Ar/N₂/H₂ холимог хийн хяналт

4. Ухаалаг хяналт
• CCD бодит цагийн талстын диаметрийн хяналт
• Олон спектрийн хайлалтын түвшинг илрүүлэх

KY болон CZ аргын харьцуулалт

Параметр	KY арга	CZ арга
Хамгийн их кристал хэмжээ	Φ400 мм	Φ200 мм
Өсөлтийн хурд	5–15 мм/цаг	20–50 мм/цаг
Согогийн нягтрал	<100/см²	500–1000/см²
Эрчим хүчний хэрэглээ	80–120 кВт.ц/кг	50–80 кВт.ц/кг
Ердийн хэрэглээ	Оптик цонх/том вафли	LED суурь/үнэт эдлэл

Гол хэрэглээнүүд

1. Оптоэлектроник цонхнууд
• Цэргийн хэт улаан туяаны бөмбөгөр (нэвтрэлт >85%@3–5 μм)
• Хэт ягаан туяаны лазер цонх (200 Вт/см² чадлын нягтралыг тэсвэрлэдэг)

2. Хагас дамжуулагч суурь
• GaN эпитаксиаль ваферууд (2–8 инч, TTV <10 μм)
• SOI суурь (гадаргуугийн барзгаржилт <0.2 нм)

3. Хэрэглээний электрон бараа
• Ухаалаг гар утасны камерын бүрхүүлийн шил (Мохсын хатуулаг 9)
• Ухаалаг цагны дэлгэц (зурагдахаас хамгаалах чадварыг 10 дахин сайжруулсан)

4. Тусгай материалууд
• Өндөр цэвэршилттэй хэт улаан туяаны оптик (шингээлтийн коэффициент <10⁻³ см⁻¹)
• Цөмийн реакторын ажиглалтын цонх (цацрагийн хүлцэл: 10¹⁶ n/cm²)

Kyropoulos (KY) Sapphire Crystal өсөлтийн тоног төхөөрөмжийн давуу талууд

Kyropoulos (KY) аргад суурилсан индранил талст ургуулах төхөөрөмж нь хосгүй техникийн давуу талыг санал болгодог бөгөөд үүнийг үйлдвэрлэлийн хэмжээний үйлдвэрлэлийн хамгийн сүүлийн үеийн шийдэл болгон байрлуулдаг. Гол давуу талууд нь:

1. Том диаметртэй чадвар: 300 мм хүртэл диаметртэй индранил талстыг ургуулах чадвартай бөгөөд энэ нь GaN эпитакси болон цэргийн зэрэглэлийн цонх зэрэг дэвшилтэт хэрэглээнд зориулсан өндөр ургацтай вафли болон оптик эд анги үйлдвэрлэх боломжийг олгодог.

2. Хэт бага согогийн нягтрал: Дулааны талбайн оновчтой дизайн болон температурын градиентийн нарийн хяналтаар дислокацийн нягтралыг <100/см² болгож, оптоэлектроник төхөөрөмжүүдийн болор бүрэн бүтэн байдлыг дээд зэргээр хангана.

3. Өндөр чанартай оптик гүйцэтгэл: Харагдахуйцаас хэт улаан туяаны спектр хүртэл (400–5500 нм) 85%-иас дээш дамжуулалттай бөгөөд энэ нь хэт ягаан туяаны лазер цонх болон хэт улаан туяаны оптикт чухал ач холбогдолтой.

4. Дэвшилтэт автоматжуулалт: Серво хөдөлгүүртэй татах механизм (±0.01 мм-ийн нарийвчлалтай) болон соронзон шингэн эргэлдэгч битүүмжлэл (0-30 эрг/мин шатгүй удирдлага)-тай тул хүний оролцоог багасгаж, тогтвортой байдлыг сайжруулдаг.

5. Уян хатан допинг хийх сонголтууд: Cr³⁰ (бадмаараг) болон Ti³⁰ (од индранил) зэрэг допингуудыг ашиглан тохируулга хийхийг дэмждэг бөгөөд оптоэлектроник болон үнэт эдлэлийн зах зээлийн онцлогт тохирсон.

6. Эрчим хүчний үр ашиг: Оновчтой дулаан тусгаарлалт (вольфрам-молибдений тигель) нь эрчим хүчний хэрэглээг 80–120 кВт.ц/кг хүртэл бууруулж, өөр ургалтын аргуудтай өрсөлдөх чадвартай.

7. Өргөтгөх боломжтой үйлдвэрлэл: Хурдан мөчлөгийн хугацаатай (30-40 кг талстууд 8-10 хоног) сард 5,000+ ширхэг вафли үйлдвэрлэх боломжтой бөгөөд энэ нь дэлхийн 200 гаруй суурилуулалтаар баталгаажсан.
.
8. Цэргийн зэрэглэлийн бат бөх чанар: Сансар судлал болон цөмийн хэрэглээнд зайлшгүй шаардлагатай цацраг туяанд тэсвэртэй хийц болон халуунд тэсвэртэй материал (10¹⁶ n/cm²)-ийг тэсвэрлэдэг.
Эдгээр шинэлэг зүйлс нь KY аргыг өндөр хүчин чадалтай индранил талст үйлдвэрлэх алтан стандарт болгон бататгаж, 5G харилцаа холбоо, квант тооцоолол, батлан хамгаалах технологийн дэвшлийг бий болгож байна.

XXKH үйлчилгээ

XKH нь индранил талст ургалтын системийн цогц түлхүүр гардуулах шийдлүүдийг санал болгодог бөгөөд үүнд суурилуулалт, үйл явцыг оновчтой болгох, ажилтнуудын сургалт зэрэг үйл ажиллагааны интеграцийг жигд болгоход оршино. Бид олон төрлийн үйлдвэрлэлийн хэрэгцээнд тохирсон урьдчилан баталгаажсан ургалтын жоруудыг (50+) хүргэж, үйлчлүүлэгчдийн судалгаа, хөгжүүлэлтийн хугацааг эрс багасгадаг. Мэргэшсэн хэрэглээний хувьд захиалгат хөгжүүлэлтийн үйлчилгээ нь хөндийн тохируулга (Φ200–400 мм) болон дэвшилтэт допинг систем (Cr/Ti/Ni)-ийг идэвхжүүлж, өндөр хүчин чадалтай оптик бүрэлдэхүүн хэсгүүд болон цацрагт тэсвэртэй материалыг дэмждэг.

Нэмүү өртөг шингэсэн үйлчилгээнд зүсэх, нунтаглах, өнгөлөх зэрэг өсөлтийн дараах боловсруулалт, мөн вафли, хоолой, эрдэнийн чулуун хоосон зай зэрэг индранил бүтээгдэхүүний бүрэн хүрээ багтдаг. Эдгээр саналууд нь хэрэглээний электроникоос эхлээд сансар судлал хүртэлх салбаруудад үйлчилдэг. Манай техникийн дэмжлэг нь 24 сарын баталгаат хугацаа, бодит цагийн алсын зайн оношилгоог баталгаажуулж, зогсолтын хугацааг хамгийн бага байлгаж, үйлдвэрлэлийн тогтвортой үр ашгийг баталгаажуулдаг.