Кварц шилэн вафли JGS1 JGS2 BF33 вафли 8 инч 12 инч 725 ± 25 мкм эсвэл захиалгаар хийсэн
Тодорхойлолт
| Тодорхойлолт | 4" | 6" | 8" | 10" | 12 инч |
| Диаметр | 100мм | 150 мм | 200 мм | 250 мм | 300 мм |
| Зузаан | 0.10 мм | 0.30 мм | 0.40 мм | 0.50 мм | 0.50 мм |
| Үндсэн орон сууц | 32.5 мм | 47.5 мм / 57.5мм / Ховил | Ховил | Ховил | Ховил |
| LTV (5ммx5мм) | <0.5 мкм | <0.5 мкм | <0.5 мкм | <0.5 мкм | <0.5 мкм |
| TTV | < 2ум | < 3ум | <3ум | <10мм | <10мм |
| Нум | ±20 мкм | ±30 мкм | ±40 мкм | ±40 мкм | ±40 мкм |
| Гажуудал | ≤ 30 мкм | ≤ 40 мкм | ≤ 70 мкм | ≤ 80 мкм | ≤ 80 мкм |
| Ирмэгийг дугуйруулах | SEMI M1.2 стандартад нийцсэн / IEC62276 стандартыг үзнэ үү | ||||
| Гадаргуугийн төрөл | Нэг тал өнгөлсөн / Хоёр тал өнгөлсөн | ||||
| Өнгөлсөн тал Ra | Ra≤1nm | ||||
| Ар талын шалгуур | Ra 0.2-0.7um эсвэл захиалгаар хийсэн | ||||
Кварц шилэн вафли JGS1 JGS2 BF33 вафлийн параметрийн хүснэгт
Аппликейшн
JGS1, JGS2, болон BF33-аар хийсэн кварц шилэн хавтангууд нь өндөр нарийвчлалтай янз бүрийн салбарт өргөн хэрэглэгддэг. Эдгээр хавтангууд нь фотомаск суурь болон хавтангийн түвшний оптик зэрэг хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлд тохиромжтой. Эдгээр нь мөн харилцаа холбоо, сансар судлал, эмнэлгийн хэрэгсэл зэрэг салбарт оптик эд анги, лазер, мэдрэгч үйлдвэрлэхэд тохиромжтой. Тэдгээрийн өндөр дулааны тогтвортой байдал, дулааны цочролд тэсвэртэй байдал нь хэт өндөр температурын орчинд төгс төгөлдөр болгодог бол онцгой дамжуулалт нь хэт ягаан туяа (UV) болон хэт улаан туяа (IR) оптикт чухал үүрэг гүйцэтгэдэг.
Үл хөдлөх хөрөнгө
Материалын төрлүүд:
JGS1: Хэт ягаан туяаны өндөр дамжуулалттай, хэт ягаан туяаны хэрэглээнд маш сайн.
JGS2: Хэт ягаан туяа, харагдахуйц болон хэт улаан туяаны мужуудад тэнцвэртэй дамжуулалттай, ерөнхий оптик хэрэглээнд тохиромжтой.
BF33: Өндөр химийн эсэргүүцэлтэй ба дулааны бат бөх чанар сайтай боросиликат шил. Хэмжээний сонголтууд:
8 инчийн болон 12 инчийн вафли гэсэн стандарт хэмжээтэйгээр авах боломжтой.
Тодорхой шаардлагын дагуу захиалгат хэмжээг үйлдвэрлэж болно. Зузаан:
Стандарт зузаан нь 725 ± 25 μм байна.
Төрөл бүрийн үйлдвэрлэлийн хэрэгцээг хангахын тулд тохируулж болох зузаан.
Дулааны шинж чанар:
Өндөр температурт ашиглахад тохиромжтой, маш сайн дулааны тогтвортой байдал.
Дулааны цочролд өндөр тэсвэртэй.
Химийн эсэргүүцэл:
Хүчил, шүлт болон ихэнх химийн бодисууд, ялангуяа BF33-ийн зэврэлтэнд тэсвэртэй.
Оптик шинж чанарууд:
JGS1 болон JGS2 ваферууд нь хэт ягаан туяаны (UV), харагдахуйц болон хэт улаан туяаны (IR) мужуудад өндөр оптик дамжуулалттай байдаг.
Нарийвчлалтай оптик эд анги, фотоник болон лазерын хэрэглээнд тохиромжтой.
Гадаргуугийн чанар:
Хагас дамжуулагч болон оптик төхөөрөмжийн үйлдвэрлэлд нарийвчлалыг баталгаажуулдаг өндөр гадаргуугийн тэгш байдал ба гөлгөр байдал.
Эдгээр шинж чанарууд нь JGS1, JGS2, болон BF33 вафлигуудыг оптик, электроник, хагас дамжуулагч зэрэг салбаруудад өндөр хүчин чадалтай хэрэглээнд олон талын хэрэглээнд ашиглах боломжтой, найдвартай болгодог.
Нийт
JGS1, JGS2, болон BF33-аар хийсэн кварц шилэн хавтангууд нь янз бүрийн шаардлагатай хэрэглээнд онцгой гүйцэтгэлийг санал болгодог. 8 инч ба 12 инчийн стандарт хэмжээтэй, 725 ± 25 μм зузаантай эдгээр хавтангуудыг тодорхой шаардлагад нийцүүлэн өөрчлөх боломжтой. JGS1 болон JGS2 нь хэт ягаан туяа, харагдахуйц болон хэт улаан туяаны хүрээнд өндөр оптик дамжуулалт өгдөг бол BF33 нь маш сайн химийн эсэргүүцэл болон дулааны тогтвортой байдлыг хангадаг. Гадаргуугийн өндөр тэгш байдал, гөлгөр байдалтай эдгээр хавтангууд нь хагас дамжуулагч, оптик, фотоник зэрэг нарийн үйлдвэрлэлийн салбарт тохиромжтой бөгөөд хэт туйлширсан орчин болон чухал хэрэглээнд найдвартай, бат бөх чанарыг хангадаг.
Дэлгэрэнгүй диаграмм





