Дээд зэрэглэлийн индранил өргөх зүү Нэг болор Al₂O₃ Өргөх өргүүрийн зүү
Техникийн параметрүүд
| Химийн найрлага | Al2O3 |
| Хатуу байдал | 9 сар |
| Оптик шинж чанар | Нэг тэнхлэгт |
| Хугарлын индекс | 1.762-1.770 |
| Хос хугарал | 0.008-0.010 |
| Тархалт | Бага, 0.018 |
| Гялалзах | Шилэн хэлбэртэй |
| Плеохроизм | Дундаас Хүчтэй |
| Диаметр | 0.4мм-30мм |
| Диаметрийн хүлцэл | 0.004мм-0.05мм |
| урт | 2мм-150мм |
| уртын хүлцэл | 0.03мм-0.25мм |
| Гадаргуугийн чанар | 40/20 |
| Гадаргуугийн бөөрөнхий байдал | RZ0.05 |
| Захиалгат хэлбэр | хоёр төгсгөл нь тэгш, нэг төгсгөл нь дахин, хоёр төгсгөл нь дахин, эмээлийн зүү болон тусгай хэлбэр |
Гол онцлогууд
1. Гайхалтай хатуулаг ба элэгдэлд тэсвэртэй: Mohs хатуулгийн үнэлгээ нь 9, алмаазаас хойш хоёрдугаарт ордог Sapphire Lift Pins нь уламжлалт цахиурын карбид, хөнгөн цагаан керамик эсвэл металл хайлшаас хамаагүй илүү сайн элэгдэлд ордог. Энэхүү хэт хатуулаг нь тоосонцор үүсгэх, засвар үйлчилгээ хийх шаардлагыг мэдэгдэхүйц бууруулж, үйлчилгээний хугацаа нь харьцуулж болохуйц хэрэглээнд ердийн материалаас ихэвчлэн 3-5 дахин урт байдаг.
2. Өндөр температурт тэсвэртэй: 1000°C-ээс дээш температурт эвдрэлгүйгээр тогтвортой ажиллахаар бүтээгдсэн, Sapphire Lift Pins нь хамгийн эрэлт хэрэгцээтэй дулааны процессуудад хэмжээсийн тогтвортой байдал, механик бат бөх чанарыг хадгалж байдаг. Энэ нь тэдгээрийг химийн уурын хуримтлал (CVD), металл-органик химийн уурын хуримтлал (MOCVD) болон дулааны тэлэлтийн зөрүү нь процессын гарцыг алдагдуулж болзошгүй өндөр температурт цэвэрлэх систем зэрэг чухал хэрэглээнд онцгой үнэ цэнэтэй болгодог.
3.Химийн идэвхгүй байдал: Нэг болор индранил бүтэц нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэхэд түгээмэл тохиолддог HF хүчил, хлорын үндсэн дээр химийн бодисууд болон бусад түрэмгий процессын хийнүүдийн дайралтанд гайхалтай эсэргүүцлийг харуулдаг. Энэхүү химийн тогтвортой байдал нь плазмын орчинд тогтвортой гүйцэтгэлийг баталгаажуулж, вафель бохирдлыг үүсгэж болзошгүй гадаргуугийн согог үүсэхээс сэргийлдэг.
4.Бөөмийн бохирдол бага: Согоггүй, өндөр цэвэршилттэй индранил талстаас (ихэвчлэн >99.99%) үйлдвэрлэсэн эдгээр өргөх зүү нь удаан хэрэглэсэн ч тоосонцор бага хэмжээгээр асгардаг. Тэдний сүвэрхэг бус гадаргуугийн бүтэц, өнгөлсөн өнгөлгөө нь цэвэр өрөөний хамгийн хатуу шаардлагад нийцдэг бөгөөд энэ нь дэвшилтэт зангилааны хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн процессын бүтээмжийг сайжруулахад шууд хувь нэмэр оруулдаг.
Өндөр нарийвчлалтай боловсруулалт: Очир эрдэнэ нунтаглах, лазер боловсруулах дэвшилтэт техникийг ашиглан индранил өргөгч зүүг микроноос доош хүлцэл, 0.05μm Ra-аас доош гадаргуугийн өнгөлгөөтэй үйлдвэрлэж болно. Нарийвчилсан профиль, тусгай үзүүрийн тохируулга, нэгдсэн тэгшилгээний функцуудыг багтаасан захиалгат геометрийг дараагийн үеийн үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмжид өрөмтэй харьцах тодорхой сорилтуудыг шийдвэрлэхийн тулд боловсруулж болно.
Үндсэн програмууд
1. Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл: Индранил өргөгч зүү нь вафель боловсруулах дэвшилтэт системд чухал үүрэг гүйцэтгэдэг бөгөөд фотолитографи, сийлбэр, тунадас, шалгалтын явцад найдвартай дэмжлэг, байршлыг нарийн тогтоох боломжийг олгодог. Тэдний дулааны болон химийн тогтвортой байдал нь нанометрийн хэмжээст тогтвортой байдал чухал байдаг EUV литографийн хэрэгсэл болон дэвшилтэт савлагааны хэрэглээнд онцгой үнэ цэнэтэй болгодог.
2.LED эпитакси (MOCVD): Галийн нитрид (GaN) болон холбогдох нийлмэл хагас дамжуулагч эпитаксиаль өсөлтийн системд Sapphire Lift Pins нь ихэвчлэн 1000 ° C-аас дээш температурт ваферын тогтвортой дэмжлэг үзүүлдэг. Тэдгээрийн индранил субстраттай тохирох дулааны тэлэлтийн шинж чанарууд нь эпитаксиаль өсөлтийн явцад вафель нугалж, гулсалтыг багасгадаг.
3.Фотоволтайкийн үйлдвэр: Өндөр үр ашигтай нарны зай үйлдвэрлэх нь индранил чулууны өвөрмөц шинж чанараас өндөр температурт тархах, шингэлэх, нимгэн хальсан хуримтлуулах процесст ашиг тус хүртдэг. Бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн урт наслалт нь үйлдвэрлэлийн зардалд шууд нөлөөлдөг бөөнөөр үйлдвэрлэх орчинд голын элэгдэлд тэсвэртэй байдал нь онцгой ач холбогдолтой юм.
4. Нарийвчилсан оптик ба электроникийн боловсруулалт: Хагас дамжуулагчийн хэрэглээнээс гадна Sapphire Lift Pins нь нарийн ширхэгтэй оптик бүрэлдэхүүн хэсгүүд, MEMS төхөөрөмж, тусгай субстратыг бохирдуулахгүй боловсруулах, зурааснаас урьдчилан сэргийлэхэд ашигладаг. Тэдний цахилгаан тусгаарлагч шинж чанар нь цахилгаан статик мэдрэгчтэй төхөөрөмжүүдийг ашиглахад тохиромжтой.
XKH-ийн индранил өргөгч тээглүүрийн үйлчилгээ
XKH нь Sapphire Lift Pins-ийн иж бүрэн техникийн дэмжлэг, тохируулсан шийдлүүдийг санал болгодог.
1. Захиалгат хөгжүүлэлтийн үйлчилгээ
· Хэмжээст, геометрийн болон гадаргуугийн боловсруулалтыг өөрчлөхөд дэмжлэг үзүүлэх
· Материалын сонголт, техникийн үзүүлэлтүүдийг оновчтой болгох зөвлөмж
· Хамтарсан бүтээгдэхүүний дизайн, загварчлалын баталгаажуулалт
2. Нарийвчлалтай үйлдвэрлэлийн чадвар
· ±1μm дотор хянагддаг хүлцэл бүхий өндөр нарийвчлалтай боловсруулалт
· Толин тусгал өнгөлөх, ирмэгийг зүсэх зэрэг тусгай эмчилгээ
· Гадаргууг өөрчлөх нэмэлт шийдэл, тухайлбал наалдамхай бүрээс
3. Чанарын баталгаажуулалтын тогтолцоо
· Ирж буй материалын үзлэг, үйл явцын хяналтыг чанд мөрдөж ажиллах
· Бүрэн хэмжээст оптик үзлэг, гадаргуугийн морфологийн шинжилгээ
· Бүтээгдэхүүний гүйцэтгэлийн туршилтын тайланг гаргах
4. Нийлүүлэлтийн сүлжээний үйлчилгээ
· Стандарт бүтээгдэхүүнийг түргэн шуурхай хүргэх
· Түлхүүр дансны зориулалтын бараа материалын менежмент
5. Техникийн дэмжлэг
· Хэрэглээний шийдлийн зөвлөгөө
· Борлуулалтын дараа шуурхай хариу өгөх
Бид хагас дамжуулагч, LED болон бусад дэвшилтэт үйлдвэрүүдийн хатуу шаардлагыг хангахын тулд өндөр чанартай Sapphire Lift Pins бүтээгдэхүүн, мэргэжлийн техникийн үйлчилгээг үзүүлэхийг зорьж байна.
