Хатуу, хэврэг материалд зориулсан нарийн Microjet лазер систем
Гол онцлогууд
1. Хос долгионы урт Nd:YAG лазерын эх үүсвэр
Диодоор шахдаг хатуу төлөвт Nd:YAG лазерыг ашиглан систем нь ногоон (532нм) болон хэт улаан туяаны (1064нм) долгионы уртыг хоёуланг нь дэмждэг. Энэхүү хос зурвасын чадвар нь материал шингээх өргөн хүрээний профайлтай дээд зэргийн нийцтэй ажиллах боломжийг олгож, боловсруулалтын хурд, чанарыг сайжруулдаг.
2. Шинэлэг Microjet Laser Transmission
Энэхүү систем нь лазерыг өндөр даралтын усны бичил тийрэлтэт төхөөрөмжтэй холбосноор лазерын энергийг усны урсгалын дагуу нарийн дамжуулахын тулд дотоод тусгалыг бүрэн ашигладаг. Энэхүү өвөрмөц хүргэх механизм нь хамгийн бага тархалттай хэт нарийн фокусыг баталгаажуулж, шугамын өргөнийг 20 μм хүртэл нарийн болгож, огтлохгүй чанарыг санал болгодог.
3. Бичил масштабтай дулааны хяналт
Нэгдсэн нарийвчлалтай ус хөргөх модуль нь боловсруулах цэгийн температурыг зохицуулж, дулааны нөлөөлөлд өртсөн бүсийг (HAZ) 5 микрон дотор байлгадаг. Энэ шинж чанар нь SiC эсвэл GaN зэрэг халуунд мэдрэмтгий, хугаралд өртөмтгий материалтай ажиллахад онцгой ач холбогдолтой юм.
4. Модульчлагдсан тэжээлийн тохиргоо
Энэхүү платформ нь лазерын 50W, 100W, 200W гэсэн гурван сонголтыг дэмждэг бөгөөд хэрэглэгчид өөрсдийн нэвтрүүлэх чадвар, нягтралын шаардлагад тохирсон тохиргоог сонгох боломжийг олгодог.
5. Нарийвчлалтай хөдөлгөөнийг хянах платформ
Энэхүү систем нь 5 тэнхлэгт хөдөлгөөн, нэмэлт шугаман эсвэл шууд хөтлөгчтэй мотортой, ±5μm байрлалтай өндөр нарийвчлалтай шатыг агуулдаг. Энэ нь нарийн төвөгтэй геометр эсвэл багц боловсруулахад ч гэсэн өндөр давтагдах, уян хатан байдлыг хангадаг.
Хэрэглээний талбарууд
Цахиурын карбидын вафель боловсруулах:
Эрчим хүчний электроникийн SiC өрмөнцөрийн ирмэгийг зүсэх, зүсэх, зүсэхэд тохиромжтой.
Галийн нитрид (GaN) субстратын боловсруулалт:
RF болон LED хэрэглээнд тохирсон өндөр нарийвчлалтай бичих, зүсэхийг дэмждэг.
Өргөн зурвасын хагас дамжуулагчийн бүтэц:
Өндөр давтамж, өндөр хүчдэлийн хэрэглээнд зориулж алмаз, галлийн исэл болон бусад шинээр гарч ирж буй материалуудтай нийцдэг.
Сансар огторгуйн нийлмэл зүсэлт:
Керамик матрицын нийлмэл материал болон сансар огторгуйн дэвшилтэт субстратын нарийн зүсэлт.
LTCC ба фотоволтайк материал:
Өндөр давтамжийн ПХБ болон нарны зайны үйлдвэрлэлд өрөмдөх, суваг нээх, скрипт хийх замаар бичил зориулалтаар ашигладаг.
Сцинтиллятор ба оптик болор хэлбэржүүлэх:
Итриум-хөнгөн цагаан анар, LSO, BGO болон бусад нарийвчлалтай оптикийг бага согогтой огтлох боломжийг олгодог.
Тодорхойлолт
Тодорхойлолт | Үнэ цэнэ |
Лазер төрөл | DPSS Nd:YAG |
Дэмждэг долгионы урт | 532нм / 1064нм |
Эрчим хүчний сонголтууд | 50W / 100W / 200W |
Байршлын нарийвчлал | ±5μм |
Хамгийн бага шугамын өргөн | ≤20μm |
Дулааны нөлөөлөлд өртсөн бүс | ≤5μm |
Хөдөлгөөний систем | Шугаман / Шууд хөтлөгчтэй мотор |
Эрчим хүчний хамгийн их нягтрал | 10⁷ Вт/см² хүртэл |
Дүгнэлт
Энэхүү microjet laser систем нь хатуу, хэврэг, дулаанд мэдрэмтгий материалын лазерын боловсруулалтын хязгаарыг дахин тодорхойлдог. Лазер-усны хосгүй интеграцчлал, хос долгионы урттай нийцтэй байдал, уян хатан хөдөлгөөний системээрээ дамжуулан хамгийн сүүлийн үеийн материалаар ажилладаг судлаачид, үйлдвэрлэгчид болон системийн интеграторуудад тохирсон шийдлийг санал болгодог. Хагас дамжуулагчийн үйлдвэр, сансрын лаборатори эсвэл нарны хавтанг үйлдвэрлэхэд ашигладаг эсэхээс үл хамааран энэхүү платформ нь найдвартай байдал, давтагдах чадвар, нарийвчлалыг хангадаг бөгөөд энэ нь дараагийн үеийн материалыг боловсруулах боломжийг олгодог.
Нарийвчилсан диаграмм


