Хатуу ба хэврэг материалын нарийн микрожет лазер систем
Гол онцлогууд
1. Хос долгионы урттай Nd:YAG лазерын эх үүсвэр
Диодоор шахдаг хатуу төлөвт Nd:YAG лазерыг ашигласан систем нь ногоон (532nm) болон хэт улаан туяаны (1064nm) долгионы уртыг хоёуланг нь дэмждэг. Энэхүү хос зурвасын чадвар нь материалын шингээлтийн өргөн хүрээний профайлтай илүү сайн нийцтэй байдлыг хангаж, боловсруулалтын хурд болон чанарыг сайжруулдаг.
2. Шинэлэг Microjet лазер дамжуулалт
Лазерыг өндөр даралттай усны микро тийрэлтэт онгоцтой холбосноор энэхүү систем нь бүрэн дотоод ойлтыг ашиглан лазерын энергийг усны урсгалын дагуу яг чиглүүлдэг. Энэхүү өвөрмөц дамжуулах механизм нь маш нарийн фокусыг хамгийн бага тархалттайгаар хангаж, 20 мкм хүртэл нарийн шугамын өргөнийг гаргаж, хосгүй зүсэлтийн чанарыг санал болгодог.
3. Микро хэмжээний дулааны хяналт
Нарийвчлалтай ус хөргөх модуль нь боловсруулалтын цэг дэх температурыг зохицуулж, халуунд өртөх бүсийг (HAZ) 5μм дотор байлгадаг. Энэ онцлог нь SiC эсвэл GaN зэрэг халуунд мэдрэмтгий, хагаралд өртөмтгий материалуудтай ажиллахад онцгой ач холбогдолтой юм.
4. Модульчлагдсан цахилгаан тохиргоо
Энэхүү платформ нь 50Вт, 100Вт, 200Вт гэсэн гурван лазерын тэжээлийн сонголтыг дэмждэг бөгөөд энэ нь хэрэглэгчид өөрсдийн дамжуулах чадвар болон нягтралын шаардлагад нийцсэн тохиргоог сонгох боломжийг олгодог.
5. Нарийвчлалтай хөдөлгөөн хянах платформ
Энэхүү систем нь ±5μm байрлалтай өндөр нарийвчлалтай үе шатыг багтаасан бөгөөд 5 тэнхлэгтэй хөдөлгөөн болон шугаман эсвэл шууд хөтлөгчтэй моторуудыг нэмэлт сонголттойгоор ашигладаг. Энэ нь нарийн төвөгтэй геометр эсвэл багц боловсруулалтын үед ч өндөр давтагдах чадвар болон уян хатан байдлыг хангадаг.
Хэрэглээний чиглэлүүд
Цахиурын карбидын вафли боловсруулах:
Цахилгаан электроникийн SiC вафлины ирмэгийг тайрах, зүсэх, жижиглэн хэрчихэд тохиромжтой.
Галлийн нитрид (GaN) суурь боловсруулах:
RF болон LED хэрэглээнд зориулан өндөр нарийвчлалтай бичээс болон зүсэлтийг дэмждэг.
Өргөн зурвасын завсрын хагас дамжуулагчийн бүтэц:
Өндөр давтамжтай, өндөр хүчдэлийн хэрэглээнд зориулсан алмаз, галлийн исэл болон бусад шинээр гарч ирж буй материалуудтай нийцдэг.
Агаарын тээврийн нийлмэл зүсэлт:
Керамик матрицын нийлмэл материал болон дэвшилтэт сансар судлалын зэрэглэлийн субстратыг нарийн зүсэх.
LTCC болон Фотоволтайк материалууд:
Өндөр давтамжийн ПХБ болон нарны зай хураагуурын үйлдвэрлэлд өрөмдлөг, суваг шуудуу ухах, сийлэх замаар бичил зураг зурахад ашигладаг.
Сцинтиллятор ба оптик талст хэлбэржүүлэх:
Иттри-хөнгөн цагаан анар, LSO, BGO болон бусад нарийвчлалтай оптикийг бага согогтойгоор огтлох боломжийг олгодог.
Тодорхойлолт
| Тодорхойлолт | Үнэ цэнэ |
| Лазерын төрөл | DPSS Nd:YAG |
| Дэмжигдсэн долгионы урт | 532нм / 1064нм |
| Цахилгаан сонголтууд | 50Вт / 100Вт / 200Вт |
| Байршлын нарийвчлал | ±5μm |
| Шугамын хамгийн бага өргөн | ≤20μm |
| Дулаан нөлөөнд автсан бүс | ≤5μm |
| Хөдөлгөөний систем | Шугаман / Шууд хөтлөгчтэй мотор |
| Хамгийн их энергийн нягтрал | 10⁷ Вт/см² хүртэл |
Дүгнэлт
Энэхүү микро тийрэлтэт лазер систем нь хатуу, хэврэг, дулаанд мэдрэмтгий материалын лазер боловсруулалтын хязгаарыг дахин тодорхойлж байна. Өвөрмөц лазер-усны интеграци, хос долгионы урттай нийцтэй байдал, уян хатан хөдөлгөөний системээрээ дамжуулан судлаачид, үйлдвэрлэгчид болон системийн интеграторуудад зориулсан тусгай шийдлийг санал болгодог. Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрүүд, сансар судлалын лабораториуд эсвэл нарны хавтангийн үйлдвэрлэлд ашиглагдаж байгаа эсэхээс үл хамааран энэхүү платформ нь дараагийн үеийн материалын боловсруулалтыг идэвхжүүлэх найдвартай байдал, давтагдах чадвар, нарийвчлалыг хангадаг.
Дэлгэрэнгүй диаграмм









