Хээтэй индранил чулуун суурь PSS 2 инчийн 4 инчийн 6 инчийн ICP хуурай сийлбэрийг LED чипэнд ашиглаж болно

Товч тайлбар:

Хээтэй индранил суурь (PSS) нь литографи болон сийлбэрийн аргаар бичил болон нано бүтцийг үүсгэдэг суурь юм. Үүнийг голчлон LED (гэрэл ялгаруулах диод) үйлдвэрлэлд гадаргуугийн хээ угалзны дизайнаар дамжуулан гэрлийн ялгаруулалтын үр ашгийг дээшлүүлэх, улмаар LED-ийн гэрэлтэлт болон гүйцэтгэлийг сайжруулахад ашигладаг.


Онцлог шинж чанарууд

Гол шинж чанар

1. Материалын шинж чанар: Суурийн материал нь өндөр хатуулаг, өндөр халуунд тэсвэртэй, химийн тогтвортой дан талст индранил (Al₂O₃) юм.

2. Гадаргуугийн бүтэц: Гадаргууг фотолитографи болон конус, пирамид эсвэл зургаан өнцөгт массив гэх мэт үечилсэн микро-нано бүтцэд сийлэх замаар үүсгэдэг.

3. Оптик гүйцэтгэл: Гадаргуугийн хээ угалзны дизайны тусламжтайгаар интерфэйс дэх гэрлийн нийт ойлтыг бууруулж, гэрэл ялгаруулах үр ашгийг сайжруулдаг.

4. Дулааны гүйцэтгэл: Саффир суурь нь маш сайн дулаан дамжуулалттай бөгөөд өндөр хүчин чадалтай LED хэрэглээнд тохиромжтой.

5. Хэмжээний үзүүлэлтүүд: Нийтлэг хэмжээ нь 2 инч (50.8 мм), 4 инч (100 мм) болон 6 инч (150 мм) юм.

Үндсэн хэрэглээний чиглэлүүд

1. LED үйлдвэрлэл:
Гэрэл ялгаруулах үр ашгийг сайжруулсан: PSS нь хээ угалзтай дизайнаар дамжуулан гэрлийн алдагдлыг бууруулж, LED-ийн гэрэлтэлт болон гэрлийн үр ашгийг мэдэгдэхүйц сайжруулдаг.

Эпитаксиал ургалтын чанарыг сайжруулсан: Хээтэй бүтэц нь GaN эпитаксиал давхаргын илүү сайн ургалтын суурийг бүрдүүлж, LED-ийн гүйцэтгэлийг сайжруулсан.

2. Лазер диод (LD):
Өндөр хүчин чадалтай лазерууд: PSS-ийн өндөр дулаан дамжуулалт ба тогтвортой байдал нь өндөр хүчин чадалтай лазер диодуудад тохиромжтой бөгөөд дулаан тархалтын гүйцэтгэл болон найдвартай байдлыг сайжруулдаг.

Бага босго гүйдэл: Эпитаксиал өсөлтийг оновчтой болгож, лазер диодын босго гүйдлийг бууруулж, үр ашгийг сайжруулна.

3. Фото илрүүлэгч:
Өндөр мэдрэмж: PSS-ийн өндөр гэрлийн дамжуулалт болон бага согогийн нягтрал нь фотодетекторын мэдрэмж болон хариу үйлдлийн хурдыг сайжруулдаг.

Өргөн спектрийн хариу урвал: хэт ягаан туяанаас харагдахуйц муж хүртэлх фотоэлектрик илрүүлэлтэд тохиромжтой.

4. Цахилгаан электроник:
Өндөр хүчдэлийн эсэргүүцэл: Sapphire-ийн өндөр дулаалга болон дулааны тогтвортой байдал нь өндөр хүчдэлийн цахилгаан төхөөрөмжүүдэд тохиромжтой.

Үр ашигтай дулаан ялгаруулалт: Өндөр дулаан дамжуулалт нь цахилгаан төхөөрөмжийн дулаан ялгаруулах гүйцэтгэлийг сайжруулж, ашиглалтын хугацааг уртасгадаг.

5. Rf төхөөрөмжүүд:
Өндөр давтамжийн гүйцэтгэл: PSS-ийн диэлектрик алдагдал бага, дулааны тогтвортой байдал нь өндөр давтамжийн RF төхөөрөмжүүдэд тохиромжтой.

Бага дуу чимээ: Өндөр тэгш байдал болон бага согогийн нягтрал нь төхөөрөмжийн дуу чимээг бууруулж, дохионы чанарыг сайжруулдаг.

6. Биосенсорууд:
Өндөр мэдрэмжтэй илрүүлэлт: PSS-ийн өндөр гэрлийн дамжуулалт болон химийн тогтвортой байдал нь өндөр мэдрэмжтэй биосенсоруудад тохиромжтой.

Биологийн нийцтэй байдал: Сафирын био нийцтэй байдал нь анагаах ухаан болон био илрүүлэлтийн хэрэглээнд тохиромжтой болгодог.
GaN эпитаксиаль материалтай хээтэй индранил суурь (PSS):

Хээтэй индранил суурь (PSS) нь GaN (галлий нитрид)-ийн эпитаксиал өсөлтөд тохиромжтой суурь юм. Индранил чулуун торны тогтмол нь GaN-тэй ойролцоо бөгөөд энэ нь торны үл нийцэл болон эпитаксиал өсөлтийн согогийг бууруулж чаддаг. PSS гадаргуугийн микро-нано бүтэц нь гэрлийн ялгаралтын үр ашгийг сайжруулаад зогсохгүй GaN эпитаксиал давхаргын талстын чанарыг сайжруулж, улмаар LED-ийн гүйцэтгэл болон найдвартай байдлыг сайжруулдаг.

Техникийн үзүүлэлтүүд

Зүйл Хээтэй индранил субстрат (2~6 инч)
Диаметр 50.8 ± 0.1 мм 100.0 ± 0.2 мм 150.0 ± 0.3 мм
Зузаан 430 ± 25μm 650 ± 25μm 1000 ± 25μm
Гадаргуугийн чиглэл C хавтгай (0001) нь М тэнхлэг рүү чиглэсэн өнцөг (10-10) 0.2 ± 0.1°
C хавтгай (0001) А тэнхлэг рүү чиглэсэн өнцөг (11-20) 0 ± 0.1°
Анхдагч Хавтгай Чиглэл А хэлбэрийн хавтгай (11-20) ± 1.0°
Анхдагч хавтгай урт 16.0 ± 1.0 мм 30.0 ± 1.0 мм 47.5 ± 2.0 мм
R-хавтгай 9 цаг
Урд талын гадаргуугийн өнгөлгөө Хээтэй
Арын гадаргуугийн өнгөлгөө SSP: Нарийн нунтагласан, Ra=0.8-1.2um; DSP: Epi өнгөлсөн, Ra<0.3nm
Лазерын тэмдэглэгээ Ар тал
TTV ≤8μm ≤10μm ≤20μm
БУМ ≤10μm ≤15μm ≤25μm
WARP ≤12μm ≤20μm ≤30μm
Ирмэгийн хасалт ≤2 мм
Хээ тодорхойлолт Хэлбэрийн бүтэц Бөмбөгөр, Конус, Пирамид
Хээний өндөр 1.6~1.8μm
Хээний диаметр 2.75~2.85μm
Хээний орон зай 0.1~0.3μm

 XKH нь LED, дэлгэц болон оптоэлектроникийн салбарт үр ашигтай инновацид хүрэхэд нь туслахын тулд өндөр чанартай, захиалгат хээтэй индранил суурь (PSS)-ийг техникийн дэмжлэг болон борлуулалтын дараах үйлчилгээтэйгээр хангах чиглэлээр мэргэшсэн.

1. Өндөр чанартай PSS хангамж: LED, дэлгэц болон оптоэлектроник төхөөрөмжийн хэрэгцээг хангахын тулд янз бүрийн хэмжээтэй (2", 4", 6) хээтэй индранил суурь.

2. Захиалгат дизайн: Гэрлийн ялгаруулалтын үр ашгийг оновчтой болгохын тулд хэрэглэгчийн хэрэгцээнд нийцүүлэн гадаргуугийн микро-нано бүтцийг (конус, пирамид эсвэл зургаан өнцөгт массив гэх мэт) өөрчлөх.

3. Техникийн дэмжлэг: Үйлчлүүлэгчдэд бүтээгдэхүүний гүйцэтгэлийг сайжруулахад нь туслахын тулд PSS програмын дизайн, үйл явцын оновчлол, техникийн зөвлөгөө өгөх.

4. Эпитаксиал өсөлтийг дэмжих: Эпитаксиал давхаргын өндөр чанартай өсөлтийг хангахын тулд GaN эпитаксиал материалтай хослуулсан PSS-ийг өгдөг.

5. Туршилт ба гэрчилгээ: Бүтээгдэхүүнүүд салбарын стандартад нийцэж байгаа эсэхийг баталгаажуулахын тулд PSS чанарын хяналтын тайланг гаргаж өгнө.

Дэлгэрэнгүй диаграмм

Хээтэй индранил субстрат (PSS) 4
Хээтэй индранил субстрат (PSS) 5
Хээтэй индранил субстрат (PSS) 6

  • Өмнөх:
  • Дараагийнх нь:

  • Зурвасаа энд бичээд бидэнд илгээнэ үү