Хээтэй индранил чулуун суурь PSS 2 инчийн 4 инчийн 6 инчийн ICP хуурай сийлбэрийг LED чипэнд ашиглаж болно
Гол шинж чанар
1. Материалын шинж чанар: Суурийн материал нь өндөр хатуулаг, өндөр халуунд тэсвэртэй, химийн тогтвортой дан талст индранил (Al₂O₃) юм.
2. Гадаргуугийн бүтэц: Гадаргууг фотолитографи болон конус, пирамид эсвэл зургаан өнцөгт массив гэх мэт үечилсэн микро-нано бүтцэд сийлэх замаар үүсгэдэг.
3. Оптик гүйцэтгэл: Гадаргуугийн хээ угалзны дизайны тусламжтайгаар интерфэйс дэх гэрлийн нийт ойлтыг бууруулж, гэрэл ялгаруулах үр ашгийг сайжруулдаг.
4. Дулааны гүйцэтгэл: Саффир суурь нь маш сайн дулаан дамжуулалттай бөгөөд өндөр хүчин чадалтай LED хэрэглээнд тохиромжтой.
5. Хэмжээний үзүүлэлтүүд: Нийтлэг хэмжээ нь 2 инч (50.8 мм), 4 инч (100 мм) болон 6 инч (150 мм) юм.
Үндсэн хэрэглээний чиглэлүүд
1. LED үйлдвэрлэл:
Гэрэл ялгаруулах үр ашгийг сайжруулсан: PSS нь хээ угалзтай дизайнаар дамжуулан гэрлийн алдагдлыг бууруулж, LED-ийн гэрэлтэлт болон гэрлийн үр ашгийг мэдэгдэхүйц сайжруулдаг.
Эпитаксиал ургалтын чанарыг сайжруулсан: Хээтэй бүтэц нь GaN эпитаксиал давхаргын илүү сайн ургалтын суурийг бүрдүүлж, LED-ийн гүйцэтгэлийг сайжруулсан.
2. Лазер диод (LD):
Өндөр хүчин чадалтай лазерууд: PSS-ийн өндөр дулаан дамжуулалт ба тогтвортой байдал нь өндөр хүчин чадалтай лазер диодуудад тохиромжтой бөгөөд дулаан тархалтын гүйцэтгэл болон найдвартай байдлыг сайжруулдаг.
Бага босго гүйдэл: Эпитаксиал өсөлтийг оновчтой болгож, лазер диодын босго гүйдлийг бууруулж, үр ашгийг сайжруулна.
3. Фото илрүүлэгч:
Өндөр мэдрэмж: PSS-ийн өндөр гэрлийн дамжуулалт болон бага согогийн нягтрал нь фотодетекторын мэдрэмж болон хариу үйлдлийн хурдыг сайжруулдаг.
Өргөн спектрийн хариу урвал: хэт ягаан туяанаас харагдахуйц муж хүртэлх фотоэлектрик илрүүлэлтэд тохиромжтой.
4. Цахилгаан электроник:
Өндөр хүчдэлийн эсэргүүцэл: Sapphire-ийн өндөр дулаалга болон дулааны тогтвортой байдал нь өндөр хүчдэлийн цахилгаан төхөөрөмжүүдэд тохиромжтой.
Үр ашигтай дулаан ялгаруулалт: Өндөр дулаан дамжуулалт нь цахилгаан төхөөрөмжийн дулаан ялгаруулах гүйцэтгэлийг сайжруулж, ашиглалтын хугацааг уртасгадаг.
5. Rf төхөөрөмжүүд:
Өндөр давтамжийн гүйцэтгэл: PSS-ийн диэлектрик алдагдал бага, дулааны тогтвортой байдал нь өндөр давтамжийн RF төхөөрөмжүүдэд тохиромжтой.
Бага дуу чимээ: Өндөр тэгш байдал болон бага согогийн нягтрал нь төхөөрөмжийн дуу чимээг бууруулж, дохионы чанарыг сайжруулдаг.
6. Биосенсорууд:
Өндөр мэдрэмжтэй илрүүлэлт: PSS-ийн өндөр гэрлийн дамжуулалт болон химийн тогтвортой байдал нь өндөр мэдрэмжтэй биосенсоруудад тохиромжтой.
Биологийн нийцтэй байдал: Сафирын био нийцтэй байдал нь анагаах ухаан болон био илрүүлэлтийн хэрэглээнд тохиромжтой болгодог.
GaN эпитаксиаль материалтай хээтэй индранил суурь (PSS):
Хээтэй индранил суурь (PSS) нь GaN (галлий нитрид)-ийн эпитаксиал өсөлтөд тохиромжтой суурь юм. Индранил чулуун торны тогтмол нь GaN-тэй ойролцоо бөгөөд энэ нь торны үл нийцэл болон эпитаксиал өсөлтийн согогийг бууруулж чаддаг. PSS гадаргуугийн микро-нано бүтэц нь гэрлийн ялгаралтын үр ашгийг сайжруулаад зогсохгүй GaN эпитаксиал давхаргын талстын чанарыг сайжруулж, улмаар LED-ийн гүйцэтгэл болон найдвартай байдлыг сайжруулдаг.
Техникийн үзүүлэлтүүд
| Зүйл | Хээтэй индранил субстрат (2~6 инч) | ||
| Диаметр | 50.8 ± 0.1 мм | 100.0 ± 0.2 мм | 150.0 ± 0.3 мм |
| Зузаан | 430 ± 25μm | 650 ± 25μm | 1000 ± 25μm |
| Гадаргуугийн чиглэл | C хавтгай (0001) нь М тэнхлэг рүү чиглэсэн өнцөг (10-10) 0.2 ± 0.1° | ||
| C хавтгай (0001) А тэнхлэг рүү чиглэсэн өнцөг (11-20) 0 ± 0.1° | |||
| Анхдагч Хавтгай Чиглэл | А хэлбэрийн хавтгай (11-20) ± 1.0° | ||
| Анхдагч хавтгай урт | 16.0 ± 1.0 мм | 30.0 ± 1.0 мм | 47.5 ± 2.0 мм |
| R-хавтгай | 9 цаг | ||
| Урд талын гадаргуугийн өнгөлгөө | Хээтэй | ||
| Арын гадаргуугийн өнгөлгөө | SSP: Нарийн нунтагласан, Ra=0.8-1.2um; DSP: Epi өнгөлсөн, Ra<0.3nm | ||
| Лазерын тэмдэглэгээ | Ар тал | ||
| TTV | ≤8μm | ≤10μm | ≤20μm |
| БУМ | ≤10μm | ≤15μm | ≤25μm |
| WARP | ≤12μm | ≤20μm | ≤30μm |
| Ирмэгийн хасалт | ≤2 мм | ||
| Хээ тодорхойлолт | Хэлбэрийн бүтэц | Бөмбөгөр, Конус, Пирамид | |
| Хээний өндөр | 1.6~1.8μm | ||
| Хээний диаметр | 2.75~2.85μm | ||
| Хээний орон зай | 0.1~0.3μm | ||
XKH нь LED, дэлгэц болон оптоэлектроникийн салбарт үр ашигтай инновацид хүрэхэд нь туслахын тулд өндөр чанартай, захиалгат хээтэй индранил суурь (PSS)-ийг техникийн дэмжлэг болон борлуулалтын дараах үйлчилгээтэйгээр хангах чиглэлээр мэргэшсэн.
1. Өндөр чанартай PSS хангамж: LED, дэлгэц болон оптоэлектроник төхөөрөмжийн хэрэгцээг хангахын тулд янз бүрийн хэмжээтэй (2", 4", 6) хээтэй индранил суурь.
2. Захиалгат дизайн: Гэрлийн ялгаруулалтын үр ашгийг оновчтой болгохын тулд хэрэглэгчийн хэрэгцээнд нийцүүлэн гадаргуугийн микро-нано бүтцийг (конус, пирамид эсвэл зургаан өнцөгт массив гэх мэт) өөрчлөх.
3. Техникийн дэмжлэг: Үйлчлүүлэгчдэд бүтээгдэхүүний гүйцэтгэлийг сайжруулахад нь туслахын тулд PSS програмын дизайн, үйл явцын оновчлол, техникийн зөвлөгөө өгөх.
4. Эпитаксиал өсөлтийг дэмжих: Эпитаксиал давхаргын өндөр чанартай өсөлтийг хангахын тулд GaN эпитаксиал материалтай хослуулсан PSS-ийг өгдөг.
5. Туршилт ба гэрчилгээ: Бүтээгдэхүүнүүд салбарын стандартад нийцэж байгаа эсэхийг баталгаажуулахын тулд PSS чанарын хяналтын тайланг гаргаж өгнө.
Дэлгэрэнгүй диаграмм







