N хэлбэрийн SiC нийлмэл субстратууд Dia6 инч Өндөр чанартай монокристалл ба чанар муутай субстрат
N хэлбэрийн SiC нийлмэл субстратууд Нийтлэг параметрийн хүснэгт
| 项目Зүйлс | 指标Тодорхойлолт | 项目Зүйлс | 指标Тодорхойлолт |
| 直径Диаметр | 150±0.2мм | 正 面 ( 硅 面 ) 粗 糙 度 Урд талын (Si нүүрний) барзгар байдал | Ra≤0.2нм (5μm*5μm) |
| 晶型Олон төрөл | 4H | Ирмэгийн чип, зураас, цууралт (харааны үзлэг) | Байхгүй |
| 电阻率Эсэргүүцэл | 0.015-0.025 ом ·см | 总厚度变化TTV | ≤3μm |
| Шилжүүлгийн давхаргын зузаан | ≥0.4μm | 翘曲度Гажуудал | ≤35μm |
| 空洞Хоосон | ≤5ea/вафер (2мм>D>0.5мм) | 总厚度Зузаан | 350±25μm |
"N-хэлбэрийн" тэмдэглэгээ нь SiC материалд ашигладаг допинг хийх төрлийг хэлнэ. Хагас дамжуулагчийн физикт допинг хийх нь хагас дамжуулагчийн цахилгаан шинж чанарыг өөрчлөхийн тулд түүнд санаатайгаар хольц оруулахыг хэлнэ. N-хэлбэрийн допинг хийх нь чөлөөт электроны илүүдэл үүсгэдэг элементүүдийг оруулж, материалд сөрөг цэнэг зөөгч концентрацийг өгдөг.
N хэлбэрийн SiC нийлмэл субстратын давуу талууд нь дараахь зүйлийг агуулдаг.
1. Өндөр температурын гүйцэтгэл: SiC нь өндөр дулаан дамжуулалттай бөгөөд өндөр температурт ажиллах боломжтой тул өндөр хүчин чадалтай болон өндөр давтамжтай электрон хэрэглээнд тохиромжтой.
2. Өндөр эвдрэлийн хүчдэл: SiC материалууд нь өндөр эвдрэлийн хүчдэлтэй тул цахилгаан эвдрэлгүйгээр өндөр цахилгаан орныг тэсвэрлэх боломжийг олгодог.
3. Химийн болон хүрээлэн буй орчны эсэргүүцэл: SiC нь химийн хувьд тэсвэртэй бөгөөд хатуу ширүүн орчны нөхцөлд тэсвэртэй тул хүнд нөхцөлд ашиглахад тохиромжтой.
4. Цахилгаан алдагдлыг бууруулсан: Уламжлалт цахиур дээр суурилсан материалтай харьцуулахад SiC суурь нь цахилгаан хувиргалтыг илүү үр ашигтай болгож, электрон төхөөрөмжүүдийн цахилгаан алдагдлыг бууруулдаг.
5. Өргөн зурвасын зай: SiC нь өргөн зурвасын зайтай тул өндөр температур болон өндөр чадлын нягтралтай ажиллах боломжтой электрон төхөөрөмжийг хөгжүүлэх боломжийг олгодог.
Ерөнхийдөө N хэлбэрийн SiC нийлмэл суурь нь өндөр хүчин чадалтай электрон төхөөрөмжийг хөгжүүлэхэд, ялангуяа өндөр температурт ажиллах, өндөр эрчим хүчний нягтрал, үр ашигтай эрчим хүчний хувиргалт чухал ач холбогдолтой хэрэглээнд ихээхэн давуу талтай байдаг.