English

SiC Sapphire хэт хатуу хэврэг материалд зориулсан олон утастай алмазан хөрөөний машин

SiC Sapphire хэт хатуу хэврэг материалд зориулсан олон утастай алмазан хөрөөний машин Онцлох зураг
  • SiC Sapphire хэт хатуу хэврэг материалд зориулсан олон утастай алмазан хөрөөний машин
  • SiC Sapphire хэт хатуу хэврэг материалд зориулсан олон утастай алмазан хөрөөний машин
  • SiC Sapphire хэт хатуу хэврэг материалд зориулсан олон утастай алмазан хөрөөний машин

Товч тайлбар:

Олон утастай алмазан хөрөөний машин нь маш хатуу, хэврэг материалыг боловсруулах зориулалттай хамгийн сүүлийн үеийн зүсэх систем юм. Олон тооны зэрэгцээ алмазан бүрсэн утсыг байрлуулснаар машин нь нэг мөчлөгт олон ваферийг нэгэн зэрэг зүсэж, өндөр бүтээмж болон нарийвчлалыг бий болгож чадна.


Онцлог шинж чанарууд

Олон утастай алмазан хөрөөний машины танилцуулга

Олон утастай алмазан хөрөөний машин нь маш хатуу, хэврэг материалыг боловсруулах зориулалттай хамгийн сүүлийн үеийн зүсэх систем юм. Олон тооны зэрэгцээ алмазан бүрсэн утсыг байрлуулснаар машин нь нэг мөчлөгт олон ваферийг нэгэн зэрэг зүсэж, өндөр хүчин чадал, нарийвчлалыг бий болгож чадна. Энэхүү технологи нь хагас дамжуулагч, нарны фотоэлектрик, LED, дэвшилтэт керамик зэрэг салбарт, ялангуяа SiC, индранил, GaN, кварц, хөнгөн цагаан зэрэг материалын хувьд чухал хэрэгсэл болсон.

Уламжлалт нэг утастай зүсэлттэй харьцуулахад олон утастай тохиргоо нь нэг багцад хэдэн арван зүсмэлийг хүргэдэг бөгөөд энэ нь мөчлөгийн хугацааг ихээхэн багасгаж, маш сайн тэгш байдлыг (Ra < 0.5 μm) болон хэмжээст нарийвчлалыг (±0.02 мм) хадгалдаг. Үүний модульчлагдсан загвар нь автомат утсыг чангалах, ажлын хэсгийг боловсруулах систем, онлайн хяналтыг нэгтгэснээр урт хугацааны, тогтвортой, бүрэн автоматжуулсан үйлдвэрлэлийг баталгаажуулдаг.

Олон утастай алмазан хөрөөний машины техникийн үзүүлэлтүүд

Зүйл Тодорхойлолт Зүйл Тодорхойлолт
Ажлын хамгийн их хэмжээ (дөрвөлжин) 220 × 200 × 350 мм Хөдөлгүүрийн хөдөлгүүр 17.8 кВт × 2
Ажлын хамгийн их хэмжээ (дугуй) Φ205 × 350 мм Утастай хөтлөгчтэй мотор 11.86 кВт × 2
Шпинделийн зай Φ250 ±10 × 370 × 2 тэнхлэг (мм) Ажлын ширээний өргөгч мотор 2.42 кВт × 1
Үндсэн тэнхлэг 650 мм Савлуурын мотор 0.8 кВт × 1
Утасны гүйлтийн хурд 1500 м/мин Зохион байгуулалтын мотор 0.45 кВт × 2
Утасны диаметр Φ0.12–0.25 мм Хүчдэлийн мотор 4.15 кВт × 2
Өргөх хурд 225 мм/мин Шүршигч мотор 7.5 кВт × 1
Ширээний хамгийн их эргэлт ±12° Сларри савны багтаамж 300 л
Савлалтын өнцөг ±3° Хөргөлтийн урсгал 200 л/мин
Савлалтын давтамж ~30 удаа/мин Температурын нарийвчлал ±2 °C
Тэжээлийн хурд 0.01–9.99 мм/мин Цахилгаан хангамж 335+210 (мм²)
Утасны тэжээлийн хурд 0.01–300 мм/мин Шахсан агаар 0.4–0.6 МПа
Машины хэмжээ 3550 × 2200 × 3000 мм Жин 13,500 кг

Олон утастай алмазан хөрөөний машины ажиллах механизм

  1. Олон утастай зүсэх хөдөлгөөн
    Олон тооны алмазан утаснууд нь 1500 м/мин хүртэл синхрончлогдсон хурдаар хөдөлдөг. Нарийвчлалтай чиглүүлэгч дамар болон хаалттай гогцооны хүчдэлийн хяналт (15–130 Н) нь утсыг тогтвортой байлгаж, хазайлт эсвэл эвдрэх магадлалыг бууруулдаг.

  2. Нарийвчлалтай хооллолт ба байрлал
    Серво удирдлагатай байрлал нь ±0.005 мм-ийн нарийвчлалд хүрдэг. Нэмэлт лазер эсвэл харааны тусламжтайгаар тохируулга хийх нь нарийн төвөгтэй хэлбэрийн үр дүнг сайжруулдаг.

  3. Хөргөлт ба хог хаягдлыг зайлуулах
    Өндөр даралттай хөргөлтийн шингэн нь хагарлыг тасралтгүй арилгаж, ажлын хэсгийг хөргөж, дулааны гэмтлээс сэргийлдэг. Олон үе шаттай шүүлтүүр нь хөргөлтийн шингэний ашиглалтын хугацааг уртасгаж, ажиллахгүй байх хугацааг багасгадаг.

  4. Ухаалаг удирдлагын платформ
    Өндөр хариу үйлдэлтэй серво драйверууд (<1 мс) нь тэжээл, таталт болон утасны хурдыг динамикаар тохируулдаг. Нэгдсэн жорын удирдлага болон нэг товшилтоор параметрийн шилжүүлэлт нь массын үйлдвэрлэлийг хялбарчилдаг.

Олон утастай алмазан хөрөөний машины гол давуу талууд

  • Өндөр бүтээмж
    Нэг удаад 50-200 ширхэг вафер огтлох чадвартай, керфийн алдагдал <100 μм бөгөөд материалын ашиглалтыг 40% хүртэл сайжруулна. Уламжлалт дан утастай системээс 5-10 дахин их дамжуулах чадвартай.

  • Нарийвчлалын хяналт
    Утасны суналтын тогтвортой байдал нь ±0.5 Н дотор янз бүрийн хэврэг материал дээр тогтвортой үр дүнг баталгаажуулдаг. 10 инчийн HMI интерфэйс дээрх бодит цагийн хяналт нь жор хадгалах болон алсаас ажиллахыг дэмждэг.

  • Уян хатан, модульчлагдсан бүтэц
    Төрөл бүрийн зүсэлтийн процесст зориулсан 0.12–0.45 мм-ийн диаметртэй утастай нийцдэг. Робот удирдлага нь бүрэн автоматжуулсан үйлдвэрлэлийн шугамуудыг ашиглах боломжийг олгодог.

  • Аж үйлдвэрийн зэрэглэлийн найдвартай байдал
    Хүнд даацын цутгамал/хуурамч хүрээ нь деформацийг (<0.01 мм) хамгийн бага байлгадаг. Керамик эсвэл карбидын бүрээстэй чиглүүлэгч дамар нь 8000 гаруй цагийн ашиглалтын хугацааг хангадаг.

SiC Sapphire хэт хатуу хэврэг материалд зориулсан олон утастай алмазан хөрөөний систем 2

Олон утастай алмазан хөрөөний машины хэрэглээний талбарууд

  • Хагас дамжуулагчЦахилгаан тээврийн хэрэгслийн цахилгаан модулиудад зориулсан SiC, 5G төхөөрөмжүүдэд зориулсан GaN суурь материалыг огтлох.

  • Фотовольтайк±10 μм жигд өндөр хурдтай цахиурын вафли зүсэх.

  • LED ба оптик: Эпитакси ба <20 μм ирмэгийн зүсэлттэй нарийвчлалтай оптик элементүүдэд зориулсан индранил суурь.

  • Дэвшилтэт керамикАгаарын болон дулааны менежментийн бүрэлдэхүүн хэсгүүдэд зориулсан хөнгөнцагааны исэл, AlN болон үүнтэй төстэй материалыг боловсруулах.

SiC Sapphire хэт хатуу хэврэг материалд зориулсан олон утастай алмазан хөрөөний систем 3

 

SiC Sapphire хэт хатуу хэврэг материалд зориулсан олон утастай алмазан хөрөөний систем 5

SiC Sapphire хэт хатуу хэврэг материалд зориулсан олон утастай алмазан хөрөөний систем 6

Түгээмэл асуултууд – Олон утастай алмазан хөрөөний машин

А1: Олон утастай хөрөө нь дан утастай машинтай харьцуулахад ямар давуу талтай вэ?
А: Олон утастай систем нь хэдэн арван эсвэл хэдэн зуун ваферийг нэгэн зэрэг зүсэж, үр ашгийг 5-10 дахин нэмэгдүүлэх боломжтой. Материалын ашиглалт нь 100 μм-ээс доош керфийн алдагдалтай үед илүү өндөр байдаг тул массын үйлдвэрлэлд тохиромжтой.

А2: Ямар төрлийн материалыг боловсруулж болох вэ?
А: Энэхүү машин нь цахиурын карбид (SiC), индранил, галлийн нитрид (GaN), кварц, хөнгөнцагаан исэл (Al₂O₃), хөнгөнцагаан нитрид (AlN) зэрэг хатуу ба хэврэг материалуудад зориулагдсан.

А3: Боломжтой нарийвчлал болон гадаргуугийн чанар хэд вэ?
А: Гадаргуугийн барзгаржилт нь Ra <0.5 μм хүрч болох бөгөөд хэмжээст нарийвчлал нь ±0.02 мм байна. Ирмэгийн зүсэлтийг <20 μм хүртэл хянаж, хагас дамжуулагч болон оптоэлектроникийн салбарын стандартыг хангана.

А4: Зүсэх үйл явц нь хагарал эсвэл гэмтэл учруулдаг уу?
А: Өндөр даралттай хөргөлтийн шингэн болон битүү гогцооны хурцадмал байдлын хяналттай тул бичил хагарал, стрессийн гэмтлийн эрсдэлийг хамгийн бага байлгаж, хавтангийн маш сайн бүрэн бүтэн байдлыг хангана.

  • Өмнөх:
  • Дараагийнх нь:

    • Холбоотой бүтээгдэхүүнүүд

    Зурвасаа энд бичээд бидэнд илгээнэ үү
    Хайлт хийхийн тулд Enter дарна уу, эсвэл хаахын тулд ESC дарна уу