SiC Sapphire хэт хатуу хэврэг материалд зориулсан олон утастай алмазан хөрөөдөх машин
Олон утастай алмаазан хөрөөдөх машины танилцуулга
Олон утастай алмаазан хөрөөдөх машин нь маш хатуу, хэврэг материалыг боловсруулахад зориулагдсан хамгийн сүүлийн үеийн зүсэх систем юм. Олон тооны зэрэгцээ очир алмаазаар бүрсэн утсыг байрлуулснаар машин нь нэг мөчлөгт хэд хэдэн өргүүрийг нэгэн зэрэг огтолж, өндөр дамжуулах чадвар, нарийвчлалыг хоёуланг нь олж авах боломжтой. Энэ технологи нь хагас дамжуулагч, нарны гэрэл цахилгаан, LED болон дэвшилтэт керамик зэрэг салбаруудад, ялангуяа SiC, индранил, GaN, кварц, хөнгөн цагаан исэл зэрэг материалын чухал хэрэгсэл болсон.
Уламжлалт нэг утастай зүсэлттэй харьцуулахад олон утастай тохируулга нь багц бүрт хэдэн арваас хэдэн зуун зүсмэлүүдийг хүргэдэг бөгөөд маш сайн тэгш байдал (Ra < 0.5 μм) болон хэмжээсийн нарийвчлал (± 0.02 мм) байлгахын зэрэгцээ мөчлөгийн хугацааг эрс багасгадаг. Түүний модульчлагдсан загвар нь автомат утсыг чангалах, ажлын хэсгүүдийг зохицуулах систем, онлайн хяналтыг нэгтгэж, урт хугацааны, тогтвортой, бүрэн автоматжуулсан үйлдвэрлэлийг баталгаажуулдаг.
Олон утастай алмазан хөрөөдөх машины техникийн үзүүлэлтүүд
| Зүйл | Тодорхойлолт | Зүйл | Тодорхойлолт |
|---|---|---|---|
| Ажлын хамгийн их хэмжээ (дөрвөлжин) | 220 × 200 × 350 мм | Хөдөлгүүрийн мотор | 17.8 кВт × 2 |
| Ажлын дээд хэмжээ (Дугуй) | Φ205 × 350 мм | Утас хөтөч мотор | 11.86 кВт × 2 |
| Булангийн хоорондох зай | Φ250 ±10 × 370 × 2 тэнхлэг (мм) | Ажлын ширээний өргөх мотор | 2.42 кВт × 1 |
| Үндсэн тэнхлэг | 650 мм | Савлуур мотор | 0.8 кВт × 1 |
| Утасны гүйлтийн хурд | 1500 м/мин | Зохицуулалтын мотор | 0.45 кВт × 2 |
| Утасны диаметр | Φ0.12–0.25 мм | Хүчдэлийн мотор | 4.15 кВт × 2 |
| Өргөх хурд | 225 мм/мин | Зуухны мотор | 7.5 кВт × 1 |
| Макс. хүснэгтийн эргэлт | ±12° | Зуухны савны багтаамж | 300 л |
| Савлуурын өнцөг | ±3° | Хөргөлтийн урсгал | 200 л/мин |
| Савлуурын давтамж | ~30 удаа/мин | Температур. нарийвчлал | ±2 °C |
| Тэжээлийн хэмжээ | 0.01–9.99 мм/мин | Цахилгаан хангамж | 335+210 (мм²) |
| Утасны тэжээлийн хурд | 0.01–300 мм/мин | Шахсан агаар | 0.4-0.6 МПа |
| Машины хэмжээ | 3550 × 2200 × 3000 мм | Жин | 13,500 кг |
Олон утастай алмаз хөрөөдөх машины ажлын механизм
-
Олон утастай огтлох хөдөлгөөн
Олон тооны алмазан утаснууд нь синхрончлогдсон хурдаар 1500 м / мин хүртэл хөдөлдөг. Нарийвчилсан чиглүүлэгч дамар болон хаалттай гогцооны хурцадмал байдлыг хянах (15-130 N) нь утсыг тогтвортой байлгаж, хазайх, эвдрэх магадлалыг бууруулдаг. -
Зөв хооллолт ба байрлал
Серво-хөтлөгчтэй байрлал тогтоох нь ±0.005 мм-ийн нарийвчлалд хүрдэг. Нэмэлт лазер эсвэл харааны тусламжтайгаар тэгшлэх нь нарийн төвөгтэй хэлбэрийн үр дүнг сайжруулдаг. -
Хөргөх ба хог хаягдлыг зайлуулах
Өндөр даралтын хөргөлтийн шингэн нь чипсийг тасралтгүй арилгаж, ажлын талбайг хөргөж, дулааны эвдрэлээс сэргийлдэг. Олон үе шаттай шүүлтүүр нь хөргөлтийн ашиглалтын хугацааг уртасгаж, зогсолтыг багасгадаг. -
Ухаалаг хяналтын платформ
Өндөр хариу үйлдэлтэй серво драйверууд (<1 мс) тэжээл, хурцадмал байдал, утасны хурдыг динамикаар тохируулдаг. Хоолны жорын нэгдсэн удирдлага, нэг товшилтоор параметр солих нь масс үйлдвэрлэлийг хялбаршуулдаг.
Олон утастай алмаз хөрөөдөх машины үндсэн ашиг тус
-
Өндөр бүтээмж
Нэг гүйдэлд 50-200 ширхэг зүсэх чадвартай, 100 μм-ээс бага эрэг алдалттай, материалын ашиглалтыг 40% хүртэл сайжруулна. Дамжуулах чадвар нь уламжлалт нэг утастай системээс 5-10 дахин их байна. -
Нарийвчлалын хяналт
± 0.5 Н-ийн дотор утас сунгах тогтвортой байдал нь янз бүрийн хэврэг материал дээр тогтвортой үр дүнг баталгаажуулдаг. 10" HMI интерфэйс дээрх бодит цагийн хяналт нь жор хадгалах болон алсаас ажиллах боломжийг дэмждэг. -
Уян хатан, модульчлагдсан бүтэц
Янз бүрийн зүсэх процессуудад 0.12-0.45 мм-ийн диаметртэй утастай нийцдэг. Нэмэлт роботтой харьцах нь үйлдвэрлэлийн шугамыг бүрэн автоматжуулах боломжийг олгодог. -
Аж үйлдвэрийн зэрэглэлийн найдвартай байдал
Хүнд даацын цутгамал/хуурамч хүрээ нь хэв гажилтыг багасгадаг (<0.01 мм). Керамик эсвэл карбид бүрээстэй чиглүүлэгч дамар нь 8000 гаруй цаг ажиллах боломжийг олгодог.
Олон утастай алмаз хөрөөдөх машины хэрэглээний талбарууд
-
Хагас дамжуулагч: EV тэжээлийн модулиудад зориулсан SiC, 5G төхөөрөмжүүдэд зориулсан GaN субстратыг огтолж байна.
-
Фотоволтайк: ±10 μм жигд жигд өндөр хурдтай цахиур зүсэх.
-
LED ба оптик: Эпитакси ба нарийн оптик элементүүдэд зориулсан индранил субстрат нь <20 μм ирмэгтэй.
-
Дэвшилтэт керамик: Агаарын болон дулааны удирдлагын бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн хөнгөн цагааны исэл, AlN болон түүнтэй төстэй материалыг боловсруулах.
FAQ – Олон утастай алмаз хөрөөдөх машин
Асуулт 1: Олон утастай хөрөөдөх нь нэг утастай машинтай харьцуулахад ямар давуу талтай вэ?
Хариулт: Олон утастай системүүд нь хэд хэдэн зуугаас хэдэн зуун вафель зүсэж, үр ашгийг 5-10×-аар нэмэгдүүлдэг. Материалын ашиглалт нь мөн 100 μм-ээс доош цоорхой алдагдлаар өндөр байдаг тул масс үйлдвэрлэхэд тохиромжтой.
А2: Ямар төрлийн материалыг боловсруулж болох вэ?
Х: Энэхүү машин нь цахиурын карбид (SiC), индранил, галлий нитрид (GaN), кварц, хөнгөн цагаан (Al₂O₃), хөнгөн цагаан нитрид (AlN) зэрэг хатуу, хэврэг материалд зориулагдсан.
Асуулт 3: Боломжит нарийвчлал, гадаргуугийн чанар юу вэ?
Х: Гадаргуугийн барзгар байдал нь ±0.02 мм-ийн хэмжээсийн нарийвчлалтай Ra <0.5 μм хүрч болно. Хагас дамжуулагч болон оптоэлектроникийн үйлдвэрлэлийн стандартад нийцсэн ирмэгийн чипийг <20 μм хүртэл хянах боломжтой.
А4: Зүсэх үйл явц нь хагарал, эвдрэл үүсгэдэг үү?
Х: Өндөр даралтын хөргөлтийн шингэн ба битүү гогцооны хурцадмал байдлыг хянахын тусламжтайгаар бичил хагарал болон стресс гэмтлийн эрсдэлийг багасгаж, вафельний бүрэн бүтэн байдлыг хангана.
