Нэг талст цахиурын өсөлтийн зуухны нэг талст цахиурын ембүү өсөлтийн системийн төхөөрөмжийн температур 2100 ℃ хүртэл

Богино тайлбар:

Монокристалл цахиурын ургалтын зуух нь хагас дамжуулагч болон фотоволтайкийн үйлдвэрт өргөн хэрэглэгддэг өндөр цэвэршилттэй монокристалл цахиурын саваа үйлдвэрлэх гол төхөөрөмж юм. Нэг талст цахиур нь нэгдсэн хэлхээ, нарны зай болон бусад электрон төхөөрөмжийг үйлдвэрлэх үндсэн материал юм. Монокристалл цахиур ургуулах зуух нь Czochralski (CZ) Czochralski эсвэл хөвөгч бүсийн арга (FZ) зэрэг техникийг ашиглан полисиликон түүхий эдийг өндөр чанарын монокристалл цахиурын саваа болгон хувиргадаг.

Үндсэн үүрэг: Полисиликон түүхий эдийг хайлсан төлөвт халааж, талст ургалтыг удирдан чиглүүлж, үрийн талстуудаар дамжуулан тодорхой талст чиглэл, хэмжээтэй нэг талст цахиурын саваа үүсгэдэг.

Үндсэн бүрэлдэхүүн хэсгүүд:
Халаалтын систем: Ихэвчлэн бал чулуун халаагуур эсвэл өндөр давтамжийн индукцийн халаалтыг ашигладаг өндөр температурт орчинг хангадаг.

Тигель: Ихэвчлэн кварц эсвэл бал чулуугаар хийсэн хайлсан цахиурыг барихад ашигладаг.

Өргөх систем: талстуудын жигд өсөлтийг хангахын тулд үрийн талстыг эргүүлэх, өргөх хурдыг хянах.

Агаар мандлын хяналтын систем: Хайлмал нь аргон гэх мэт идэвхгүй хийгээр бохирдохоос хамгаалагдсан.

Хөргөх систем: Дулааны стрессийг багасгахын тулд болор хөргөлтийн хурдыг хянах.

Бидэн рүү имэйл илгээнэ үү

Бүтээгдэхүүний дэлгэрэнгүй

Бүтээгдэхүүний шошго

Монокристалл цахиурын өсөлтийн зуухны үндсэн шинж чанарууд

(1) Өндөр нарийвчлалтай хяналт
Температурын хяналт: Хайлмалын тогтвортой байдлыг хангахын тулд халаалтын температурыг нарийн хянах (цахиурын хайлах цэг нь ойролцоогоор 1414 ° C).
Өргөх хурдны хяналт: үрийн болор өргөх хурдыг нарийн мотороор (ихэвчлэн 0.5-2 мм/мин) удирддаг бөгөөд энэ нь болорын диаметр, чанарт нөлөөлдөг.
Эргэлтийн хурдыг хянах: Талст жигд өсөлтийг хангахын тулд үр ба тигелийн эргэлтийн хурдыг тохируулна.

(2) өндөр чанартай болор өсөлт
Согогийн нягтрал бага: Процессын параметрүүдийг оновчтой болгосноор бага согогтой, өндөр цэвэршилттэй нэг талст цахиур саваа ургуулж болно.
Том талстууд: 12 инч (300 мм) хүртэлх диаметртэй нэг талст цахиурын савааг хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн хэрэгцээг хангахын тулд ургуулж болно.

(3) Үр ашигтай үйлдвэрлэл
Автоматжуулсан ажиллагаа: Орчин үеийн нэг талст цахиурын өсөлтийн зуухнууд нь гар ажиллагаатай холбоотой үйл ажиллагааг багасгах, үйлдвэрлэлийн үр ашгийг дээшлүүлэх автомат удирдлагын системээр тоноглогдсон.
Эрчим хүчний хэмнэлттэй загвар: Эрчим хүчний хэрэглээг багасгахын тулд халаалт, хөргөлтийн үр ашигтай системийг ашиглах.

(4) Олон талт байдал
Төрөл бүрийн процессуудад тохиромжтой: CZ арга, FZ арга болон бусад болор өсөлтийн технологийг дэмжих.
Төрөл бүрийн материалд тохирно: Нэг талст цахиураас гадна бусад хагас дамжуулагч материалыг (германий, галлийн арсенид гэх мэт) ургуулахад ашиглаж болно.

Монокристалл цахиурын өсөлтийн зуухны үндсэн хэрэглээ

(1) Хагас дамжуулагчийн үйлдвэр
Нэгдсэн хэлхээний үйлдвэрлэл: нэг талст цахиур нь CPU, санах ой болон бусад нэгдсэн хэлхээг үйлдвэрлэх үндсэн материал юм.
Эрчим хүчний төхөөрөмж: MOSFET, IGBT болон бусад цахилгаан хагас дамжуулагч төхөөрөмжүүдийг үйлдвэрлэхэд ашигладаг.

(2) Фотоволтайк үйлдвэр
Нарны зай: монокристал цахиур нь өндөр үр ашигтай нарны зайн гол материал бөгөөд фотоволтайк эрчим хүч үйлдвэрлэхэд өргөн хэрэглэгддэг.
Фотоволтайк модулиуд: Фотоэлектрик хувиргалтын үр ашгийг дээшлүүлэхийн тулд монокристалл цахиурын фотоволтайк модулиудыг үйлдвэрлэхэд ашигладаг.

(3) Шинжлэх ухааны судалгаа
Материалын судалгаа: Нэг талст цахиурын физик, химийн шинж чанарыг судлах, шинэ хагас дамжуулагч материалыг боловсруулахад ашигладаг.
Процессын оновчлол: Кристал өсөлтийн үйл явцын шинэчлэл, оновчлолыг дэмжинэ.

(4) Бусад электрон төхөөрөмж
Мэдрэгч: Даралт мэдрэгч, температур мэдрэгч зэрэг өндөр нарийвчлалтай мэдрэгчийг үйлдвэрлэхэд ашигладаг.
Оптоэлектроник төхөөрөмж: лазер болон фотодетектор үйлдвэрлэхэд ашигладаг.

XKH нь нэг талст цахиурын өсөлтийн зуухны тоног төхөөрөмж, үйлчилгээ үзүүлдэг

XKH нь нэг талст цахиурын өсөлтийн зуухны тоног төхөөрөмжийг хөгжүүлэх, үйлдвэрлэхэд анхаарлаа хандуулж, дараахь үйлчилгээг үзүүлдэг.

Захиалгат төхөөрөмж: XKH нь болор өсөлтийн янз бүрийн процессыг дэмжихийн тулд хэрэглэгчийн шаардлагын дагуу өөр өөр үзүүлэлт, тохиргооны монокристал цахиур ургуулах зуухаар хангадаг.

Техникийн дэмжлэг: XKH нь хэрэглэгчдэд тоног төхөөрөмж суурилуулах, процессыг оновчтой болгохоос эхлээд талст өсөлтийн техникийн зааварчилгаа хүртэл үйл явцын бүрэн дэмжлэг үзүүлдэг.

Сургалтын үйлчилгээ: XKH нь тоног төхөөрөмжийн үр ашигтай ажиллагааг хангах зорилгоор үйлчлүүлэгчдэд үйл ажиллагааны сургалт, техникийн сургалт явуулдаг.

Борлуулалтын дараах үйлчилгээ: XKH нь хэрэглэгчийн үйлдвэрлэлийн тасралтгүй байдлыг хангахын тулд борлуулалтын дараах үйлчилгээ, тоног төхөөрөмжийн засвар үйлчилгээг түргэн шуурхай гүйцэтгэдэг.

Шинэчлэх үйлчилгээ: XKH нь үйлдвэрлэлийн үр ашиг, болор чанарыг сайжруулахын тулд хэрэглэгчийн шаардлагын дагуу тоног төхөөрөмжийг шинэчлэх, өөрчлөх үйлчилгээг үзүүлдэг.

Монокристалл цахиур ургуулах зуух нь өндөр нарийвчлалтай хяналт, өндөр чанартай болор өсөлт, үр ашигтай үйлдвэрлэлийг агуулсан хагас дамжуулагч болон фотоволтайк үйлдвэрлэлийн үндсэн тоног төхөөрөмж юм. Энэ нь нэгдсэн хэлхээ, нарны зай, шинжлэх ухааны судалгаа, электрон төхөөрөмжүүдийн салбарт өргөн хэрэглэгддэг. XKH нь өндөр чанарын монокристалл цахиурын саваа үйлдвэрлэлд хүрэхийн тулд хэрэглэгчдэд туслах, холбогдох салбарыг хөгжүүлэхэд туслах дэвшилтэт монокристал цахиурын зуухны тоног төхөөрөмж, иж бүрэн үйлчилгээгээр хангадаг.