Монокристалл цахиурын өсөлтийн зуух монокристалл цахиурын ембүү өсөлтийн системийн тоног төхөөрөмжийн температур 2100℃ хүртэл
Монокристалл цахиурын өсөлтийн зуухны үндсэн шинж чанарууд
(1) Өндөр нарийвчлалтай хяналт
Температурын хяналт: Хайлалтын тогтвортой байдлыг хангахын тулд халаалтын температурыг нарийн хянана (цахиурын хайлах цэг нь ойролцоогоор 1414°C).
Өргөх хурдны хяналт: үрийн талстын өргөх хурдыг нарийн мотороор (ихэвчлэн 0.5-2 мм/мин) хянадаг бөгөөд энэ нь талстын диаметр болон чанарт нөлөөлдөг.
Эргэлтийн хурдны хяналт: Талстын жигд өсөлтийг хангахын тулд үр болон тигелийн эргэлтийн хурдыг тохируулна уу.
(2) өндөр чанартай болор ургалт
Бага согогийн нягтрал: Үйл явцын параметрүүдийг оновчтой болгосноор бага согогтой, өндөр цэвэршилттэй монокристалл цахиурын савааг ургуулж болно.
Том талстууд: хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн хэрэгцээг хангахын тулд 12 инч (300 мм) диаметртэй монокристалл цахиурын савааг ургуулж болно.
(3) Үр ашигтай үйлдвэрлэл
Автоматжуулсан ажиллагаа: Орчин үеийн монокристалл цахиурын өсөлтийн зуухнууд нь гар аргаар хийх оролцоог багасгаж, үйлдвэрлэлийн үр ашгийг дээшлүүлэхийн тулд автоматжуулсан удирдлагын системээр тоноглогдсон.
Эрчим хүчний хэмнэлттэй дизайн: Эрчим хүчний хэрэглээг багасгахын тулд үр ашигтай халаалт болон хөргөлтийн систем ашиглах.
(4) Олон талт байдал
Төрөл бүрийн процесст тохиромжтой: CZ арга, FZ арга болон бусад болор өсөлтийн технологийг дэмждэг.
Төрөл бүрийн материалтай нийцдэг: Монокристалл цахиураас гадна бусад хагас дамжуулагч материал (германий, галлий арсенид гэх мэт) ургуулахад ашиглаж болно.
Монокристалл цахиурын өсөлтийн зуухны үндсэн хэрэглээ
(1) Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл
Нэгдсэн хэлхээний үйлдвэрлэл: Монокристалл цахиур нь CPU, санах ой болон бусад нэгдсэн хэлхээ үйлдвэрлэх гол материал юм.
Цахилгаан төхөөрөмж: MOSFET, IGBT болон бусад цахилгаан хагас дамжуулагч төхөөрөмж үйлдвэрлэхэд ашигладаг.
(2) Фотоволтайкийн үйлдвэрлэл
Нарны эсүүд: монокристалл цахиур нь өндөр үр ашигтай нарны эсийн гол материал бөгөөд фотоэлектрик цахилгаан үйлдвэрлэхэд өргөн хэрэглэгддэг.
Фотоэлектрик модулиуд: Фотоэлектрик хувиргалтын үр ашгийг сайжруулахын тулд монокристалл цахиурын фотоэлектрик модулиудыг үйлдвэрлэхэд ашигладаг.
(3) Шинжлэх ухааны судалгаа
Материалын судалгаа: Монокристалл цахиурын физик болон химийн шинж чанарыг судлах, шинэ хагас дамжуулагч материал боловсруулахад ашигладаг.
Үйл явцын оновчлол: Кристал өсөлтийн үйл явцын инноваци болон оновчлолыг дэмжих.
(4) Бусад электрон төхөөрөмжүүд
Мэдрэгч: Даралт мэдрэгч болон температур мэдрэгч зэрэг өндөр нарийвчлалтай мэдрэгч үйлдвэрлэхэд ашигладаг.
Оптоэлектроник төхөөрөмжүүд: лазер болон фотодетектор үйлдвэрлэхэд ашигладаг.
XKH нь монокристалл цахиурын өсөлтийн зуухны тоног төхөөрөмж, үйлчилгээ үзүүлдэг
XKH нь монокристалл цахиурын өсөлтийн зуухны тоног төхөөрөмжийг хөгжүүлэх, үйлдвэрлэх чиглэлээр мэргэшсэн бөгөөд дараах үйлчилгээг үзүүлдэг.
Захиалгат тоног төхөөрөмж: XKH нь янз бүрийн болор ургалтын процессыг дэмжих зорилгоор хэрэглэгчийн шаардлагын дагуу янз бүрийн үзүүлэлт, тохиргоотой монокристалл цахиурын ургалтын зуухыг нийлүүлдэг.
Техникийн дэмжлэг: XKH нь үйлчлүүлэгчдэд тоног төхөөрөмж суурилуулах, үйл явцыг оновчтой болгохоос эхлээд талст ургалтын техникийн удирдамж хүртэлх бүрэн үйл явцын дэмжлэгийг үзүүлдэг.
Сургалтын үйлчилгээ: XKH нь тоног төхөөрөмжийн үр ашигтай ажиллагааг хангахын тулд үйлчлүүлэгчдэд үйл ажиллагааны сургалт, техникийн сургалт явуулдаг.
Борлуулалтын дараах үйлчилгээ: XKH нь хэрэглэгчийн үйлдвэрлэлийн тасралтгүй байдлыг хангахын тулд борлуулалтын дараах хурдан хариу үйлдэл үзүүлэх үйлчилгээ, тоног төхөөрөмжийн засвар үйлчилгээг үзүүлдэг.
Сайжруулах үйлчилгээ: XKH нь үйлдвэрлэлийн үр ашиг, болор чанарыг сайжруулахын тулд хэрэглэгчийн шаардлагын дагуу тоног төхөөрөмжийг шинэчлэх, хувиргах үйлчилгээ үзүүлдэг.
Монокристалл цахиурын өсөлтийн зуух нь хагас дамжуулагч болон фотоволтайк үйлдвэрлэлийн гол тоног төхөөрөмж бөгөөд өндөр нарийвчлалтай хяналт, өндөр чанартай болор өсөлт, үр ашигтай үйлдвэрлэлийг онцлогтой. Үүнийг интеграл хэлхээ, нарны зай, шинжлэх ухааны судалгаа, электрон төхөөрөмжийн салбарт өргөн ашигладаг. XKH нь дэвшилтэт монокристалл цахиурын өсөлтийн зуухны тоног төхөөрөмж, үйлчлүүлэгчдийг өндөр чанартай монокристалл цахиурын саваа хэмжээний үйлдвэрлэлд хүрэхэд нь дэмжлэг үзүүлэх, холбогдох салбаруудыг хөгжүүлэхэд туслах зорилгоор бүрэн хэмжээний үйлчилгээ үзүүлдэг.
Дэлгэрэнгүй диаграмм
