Microjet лазер технологийн тоног төхөөрөмж вафли огтлох SiC материал боловсруулах

Товч тайлбар:

Микрожет лазер технологийн тоног төхөөрөмж нь өндөр энергийн лазер болон микрон түвшний шингэн тийрэлтэтийг хослуулсан нэг төрлийн нарийвчлалтай боловсруулах систем юм. Лазер туяаг өндөр хурдны шингэн тийрэлтэттэй (ионгүйжүүлсэн ус эсвэл тусгай шингэн) холбосноор өндөр нарийвчлалтай, бага дулааны гэмтэлтэй материалыг боловсруулах боломжтой. Энэхүү технологи нь хатуу болон хэврэг материал (SiC, индранил, шил гэх мэт)-ийг огтлох, өрөмдөх, бичил бүтцийн боловсруулалтад онцгой тохиромжтой бөгөөд хагас дамжуулагч, фотоэлектрик дэлгэц, эмнэлгийн хэрэгсэл болон бусад салбарт өргөн хэрэглэгддэг.

Бидэнд имэйл илгээх

Онцлог шинж чанарууд

Үйл ажиллагааны зарчим:

1. Лазер холболт: импульсийн лазер (хэт ягаан туяа/ногоон/хэт улаан туяа) нь шингэн тийрэлтэт дотор төвлөрч, тогтвортой энерги дамжуулах суваг үүсгэдэг.

2. Шингэний удирдлага: өндөр хурдтай тийрэлтэт урсгал (урсгалын хурд 50-200м/с) нь дулаан хуримтлагдах, бохирдохоос сэргийлж боловсруулалтын талбайг хөргөж, хог хаягдлыг зайлуулна.

3. Материалыг зайлуулах: Лазерын энерги нь материалыг хүйтэн боловсруулалтад хүргэхийн тулд шингэнд кавитацийн нөлөө үзүүлдэг (дулаанд өртсөн бүс <1μm).

4. Динамик удирдлага: янз бүрийн материал, бүтцийн хэрэгцээг хангахын тулд лазерын параметрүүд (цахилгаан, давтамж) болон тийрэлтэт даралтыг бодит цагийн тохируулга хийх.

Гол параметрүүд:

1. Лазерын хүч: 10-500W (тохируулж болно)

2. Тийрэлтэт диаметр: 50-300μm

3. Машины нарийвчлал: ±0.5μm (зүсэх), гүн ба өргөний харьцаа 10:1 (өрөмдлөг)

Техникийн давуу талууд:

(1) Дулааны гэмтэл бараг тэг байна
- Шингэн тийрэлтэт хөргөлт нь дулааны нөлөөлөлд өртсөн бүсийг (HAZ) **<1μm** хүртэл хянаж, уламжлалт лазер боловсруулалтаас үүдэлтэй бичил хагарал үүсэхээс сэргийлдэг (HAZ нь ихэвчлэн >10μm байдаг).

(2) Хэт өндөр нарийвчлалтай боловсруулалт
- Зүсэх/өрөмдөх нарийвчлал нь **±0.5μm** хүртэл, ирмэгийн барзгаржилт Ra <0.2μm, дараа нь өнгөлөх хэрэгцээг багасгана.

- Нарийн төвөгтэй 3D бүтцийн боловсруулалтыг дэмжих (конус хэлбэртэй нүх, хэлбэртэй үүр гэх мэт).

(3) Өргөн хүрээний материалын нийцтэй байдал
- Хатуу ба хэврэг материалууд: SiC, индранил, шил, керамик (уламжлалт аргууд нь бутлахад хялбар).

- Дулаанд мэдрэмтгий материалууд: полимер, биологийн эдүүд (дулааны денатураци үүсэх эрсдэлгүй).

(4) Байгаль орчныг хамгаалах болон үр ашиг
- Тоосжилтын бохирдолгүй, шингэнийг дахин боловсруулж, шүүж болно.

- Боловсруулалтын хурд 30%-50%-иар нэмэгдсэн (машины боловсруулалттай харьцуулахад).

(5) Ухаалаг удирдлага
- Нэгдсэн харааны байрлал болон хиймэл оюун ухааны параметрийн оновчлол, дасан зохицох материалын зузаан болон согог.

Техникийн үзүүлэлтүүд:

Лангууны дууны хэмжээ	300300150	400400200
Шугаман тэнхлэг XY	Шугаман мотор. Шугаман мотор	Шугаман мотор. Шугаман мотор
Шугаман тэнхлэг Z	150	200
Байршлын нарийвчлал μм	+/-5	+/-5
Давтагдсан байршлын нарийвчлал μм	+/-2	+/-2
Хурдатгал G	1	0.29
Тоон хяналт	3 тэнхлэг /3+1 тэнхлэг /3+2 тэнхлэг	3 тэнхлэг /3+1 тэнхлэг /3+2 тэнхлэг
Тоон хяналтын төрөл	DPSS Nd:YAG	DPSS Nd:YAG
Долгионы урт nm	532/1064	532/1064
Үнэлгээтэй чадал Вт	50/100/200	50/100/200
Усны тийрэлтэт онгоц	40-100	40-100
Цоргоны даралтын бар	50-100	50-600
Хэмжээ (машин) (өргөн * урт * өндөр) мм	144519442260	170015002120
Хэмжээ (хяналтын шүүгээ) (Өргөн * Урт * Өндөр)	70025001600	70025001600
Жин (тоног төхөөрөмж) Т	2.5	3
Жин (хяналтын шүүгээ) KG	800	800
Боловсруулах чадвар	Гадаргуугийн барзгаржилт Ra≤1.6um Нээлтийн хурд ≥1.25мм/с Тойргийн огтлолт ≥6мм/с Шугаман зүсэлтийн хурд ≥50мм/с	Гадаргуугийн барзгаржилт Ra≤1.2um Нээлтийн хурд ≥1.25мм/с Тойргийн огтлолт ≥6мм/с Шугаман зүсэлтийн хурд ≥50мм/с
	Галлийн нитридийн болор, хэт өргөн зурвасын зайтай хагас дамжуулагч материал (алмааз/галлийн исэл), сансрын тусгай материал, LTCC нүүрстөрөгчийн керамик суурь, фотоэлектрик, сцинтилляторын болор болон бусад материалыг боловсруулахад ашигладаг. Тэмдэглэл: Боловсруулах хүчин чадал нь материалын шинж чанараас хамааран өөр өөр байдаг

Боловсруулалтын тохиолдол:

XKH-ийн үйлчилгээ:

XKH нь микрожет лазер технологийн тоног төхөөрөмжийн бүрэн амьдралын мөчлөгийн үйлчилгээний бүрэн хүрээг хангадаг бөгөөд энэ нь процессын эхэн үеийн хөгжүүлэлт болон тоног төхөөрөмж сонгох зөвлөгөөнөөс эхлээд дунд хугацааны захиалгат системийн интеграци (лазер эх үүсвэр, тийрэлтэт систем болон автоматжуулалтын модулийг тусгайлан тохируулах зэрэг), дараа нь ашиглалт, засвар үйлчилгээний сургалт, тасралтгүй процессын оновчлол хүртэл бөгөөд бүхэл бүтэн процесс нь мэргэжлийн техникийн багийн дэмжлэгээр тоноглогдсон; 20 жилийн нарийн боловсруулалтын туршлагад үндэслэн бид хагас дамжуулагч, анагаах ухаан зэрэг янз бүрийн салбарт тоног төхөөрөмжийн баталгаажуулалт, олноор үйлдвэрлэх, борлуулалтын дараах хурдан хариу арга хэмжээ (24 цагийн техникийн дэмжлэг + гол сэлбэг хэрэгслийн нөөц) зэрэг нэг цэгийн шийдлүүдийг санал болгож, 12 сарын баталгаат хугацаа, насан туршийн засвар үйлчилгээ, шинэчлэлтийн үйлчилгээг амлаж байна. Үйлчлүүлэгчийн тоног төхөөрөмж нь салбартаа тэргүүлэгч боловсруулалтын гүйцэтгэл, тогтвортой байдлыг үргэлж хадгалж байгаа эсэхийг баталгаажуулна.