Microjet лазер технологийн тоног төхөөрөмж өрмөнцөр хайчлах SiC материал боловсруулах

Богино тайлбар:

Microjet laser технологийн төхөөрөмж нь өндөр эрчим хүчний лазер болон микрон түвшний шингэн тийрэлтэт бодисыг хослуулсан нарийн боловсруулалтын нэг төрлийн систем юм. Лазер туяаг өндөр хурдны шингэний тийрэлтэт (ионгүйжүүлсэн ус эсвэл тусгай шингэн) холбосноор материалыг өндөр нарийвчлалтай, дулааны гэмтэл багатай боловсруулдаг. Энэ технологи нь хатуу, хэврэг материалыг (SiC, индранил, шил гэх мэт) зүсэх, өрөмдөх, бичил бүтцийг боловсруулахад тохиромжтой бөгөөд хагас дамжуулагч, фотоэлектрик дэлгэц, эмнэлгийн хэрэгсэл болон бусад салбарт өргөн хэрэглэгддэг.

Бидэн рүү имэйл илгээнэ үү

Бүтээгдэхүүний дэлгэрэнгүй

Бүтээгдэхүүний шошго

Ажлын зарчим:

1. Лазер холболт: импульсийн лазер (хэт ягаан туяа/ногоон/хэт улаан туяа) нь шингэний тийрэлтэт дотор төвлөрч, тогтвортой энерги дамжуулах суваг үүсгэдэг.

2. Шингэний заавар: өндөр хурдны тийрэлтэт онгоц (урсгалын хурд 50-200 м/с) дулааны хуримтлал, бохирдлоос зайлсхийхийн тулд боловсруулах талбайг хөргөж, хог хаягдлыг зайлуулах.

3. Материалыг зайлуулах: Лазерын энерги нь материалыг хүйтэн боловсруулалтанд хүргэхийн тулд шингэн дэх хөндийн үр нөлөөг үүсгэдэг (дулааны нөлөөлөлд өртсөн бүс <1μm).

4. Динамик удирдлага: янз бүрийн материал, бүтцийн хэрэгцээг хангахын тулд лазер параметр (хүч, давтамж) болон тийрэлтэт даралтыг бодит цагийн тохируулга хийх.

Гол параметрүүд:

1. Лазерын хүч: 10-500Вт (тохируулах боломжтой)

2. Тийрэлтийн диаметр: 50-300μm

3.Машинжуулалтын нарийвчлал: ±0.5μm (зүсэх), гүн ба өргөний харьцаа 10:1 (өрөмдлөг)

Техникийн давуу талууд:

(1) Дулааны гэмтэл бараг байхгүй
- Шингэн тийрэлтэт хөргөлт нь халуунд өртсөн бүсийг (HAZ) **<1μm** хүртэл хянадаг бөгөөд уламжлалт лазер боловсруулалтын улмаас үүссэн бичил хагарлаас сэргийлдэг (HAZ нь ихэвчлэн >10μm байдаг).

(2) Хэт өндөр нарийвчлалтай боловсруулалт
- **±0.5μm** хүртэл зүсэх/өрөмдлөгийн нарийвчлал, ирмэгийн барзгар байдал Ra<0.2μm, дараагийн өнгөлгөөний хэрэгцээг багасгана.

- 3D бүтэцтэй нарийн төвөгтэй боловсруулалтыг дэмжих (конус хэлбэрийн нүх, хэлбэртэй нүх гэх мэт).

(3) Материалын өргөн нийцтэй байдал
- Хатуу, хэврэг материал: SiC, индранил, шил, керамик (уламжлалт аргаар бутлахад хялбар).

- Халуунд мэдрэмтгий материал: полимер, биологийн эд (дулааны денатурацийн эрсдэлгүй).

(4) Байгаль орчныг хамгаалах, үр ашиг
- Тоос бохирдуулахгүй, шингэнийг дахин боловсруулж шүүнэ.

- Боловсруулалтын хурдыг 30%-50%-иар нэмэгдүүлэх (боловсруулалтын эсрэг).

(5) Ухаалаг удирдлага
- Нэгдсэн харааны байрлал, AI параметрийн оновчлол, дасан зохицох материалын зузаан, согог.

Техникийн үзүүлэлтүүд:

Countertop эзлэхүүн	300300150	400400200
Шугаман тэнхлэг XY	Шугаман мотор. Шугаман мотор	Шугаман мотор. Шугаман мотор
Шугаман тэнхлэг Z	150	200
Байршлын нарийвчлал μm	+/-5	+/-5
Байршлын давталтын нарийвчлал μм	+/-2	+/-2
Хурдатгал Г	1	0.29
Тоон хяналт	3 тэнхлэг /3+1 тэнхлэг /3+2 тэнхлэг	3 тэнхлэг /3+1 тэнхлэг /3+2 тэнхлэг
Тоон хяналтын төрөл	DPSS Nd:YAG	DPSS Nd:YAG
Долгионы урт nm	532/1064	532/1064
Нэрлэсэн хүч W	50/100/200	50/100/200
Усны тийрэлтэт	40-100	40-100
Цоргоны даралтын бар	50-100	50-600
Хэмжээ (машины хэрэгсэл) (өргөн * урт * өндөр) мм	144519442260	170015002120
Хэмжээ (хяналтын кабинет) (W * L * H)	70025001600	70025001600
Жин (тоног төхөөрөмж) Т	2.5	3
Жин (хяналтын кабинет) KG	800	800
Боловсруулах чадвар	Гадаргуугийн барзгар байдал Ra≤1.6um Нээлтийн хурд ≥1.25мм/с Тойрог огтлох ≥6мм/с Шугаман зүсэх хурд ≥50мм/с	Гадаргуугийн барзгар байдал Ra≤1.2um Нээлтийн хурд ≥1.25мм/с Тойрог огтлох ≥6мм/с Шугаман зүсэх хурд ≥50мм/с
	Галлийн нитридын болор, хэт өргөн зурвасын хагас дамжуулагч материал (алмаз/галлийн исэл), сансар огторгуйн тусгай материал, LTCC нүүрстөрөгчийн керамик субстрат, фотоволтайк, сцинтилляторын болор болон бусад материалыг боловсруулахад зориулагдсан. Тайлбар: Материалын шинж чанараас хамааран боловсруулах хүчин чадал өөр өөр байна

Кейс боловсруулах:

XKH-ийн үйлчилгээ:

XKH нь микрожет лазерын технологийн тоног төхөөрөмжийн ашиглалтын мөчлөгийн бүрэн хэмжээний үйлчилгээгээр хангадаг. Энэ нь процессын эхэн үеийн хөгжүүлэлт, тоног төхөөрөмжийн сонголтын зөвлөгөө, дунд хугацааны тохируулсан системийн интеграцчлал (лазерын эх үүсвэр, тийрэлтэт онгоцны систем, автоматжуулалтын модулийг тусгайлан тохируулах гэх мэт), дараа нь ажиллуулах, засвар үйлчилгээ хийх сургалт, тасралтгүй үйл явцыг оновчтой болгох, бүх үйл явц нь мэргэжлийн техникийн багийн дэмжлэгээр тоноглогдсон; Нарийн боловсруулалтын 20 жилийн туршлага дээр үндэслэн бид хагас дамжуулагч, анагаах ухаан зэрэг янз бүрийн салбаруудад тоног төхөөрөмжийн баталгаажуулалт, бөөнөөр үйлдвэрлэх, борлуулалтын дараах шуурхай хариу арга хэмжээ (24 цагийн техникийн дэмжлэг + гол сэлбэг хэрэгслийн нөөц) зэрэг нэг цэгийн шийдлүүдийг хангаж, 12 сарын баталгаат хугацаа, насан туршийн засвар үйлчилгээ, шинэчлэлтийн үйлчилгээг амлаж байна. Үйлчлүүлэгчийн тоног төхөөрөмж нь үйлдвэрлэлийн салбарт тэргүүлэгч боловсруулалтын гүйцэтгэл, тогтвортой байдлыг үргэлж хангаж байх ёстой.