Үйлдвэрлэлийн мэдрэгч бүхий 4 инчийн 6 инчийн 8 инчийн захиалгаар хийсэн Fe/Mg допингтой LiTaO3 литийн танталатын гулдмай
Техникийн үзүүлэлтүүд
Тодорхойлолт | Уламжлалт | Өндөр нарийвчлал |
Материалууд | LiTaO3(LT)/ LiNbO3 вафли | LiTaO3(LT)/LiNbO3 вафли |
Чиглэл | X-112°Y,36°Y,42°Y±0.5° | X-112°Y,36°Y,42°Y±0.5° |
Зэрэгцээ | 30 инч | 10'' |
Перпендикуляр | 10′ | 5' |
гадаргуугийн чанар | 40/20 | 20/10 |
Долгионы фронтын гажуудал | λ/4@632nm | λ/8@632nm |
Гадаргуугийн тэгш байдал | λ/4@632nm | λ/8@632nm |
Цэвэр диафрагм | >90% | >90% |
Хавхлаг | <0.2×45° | <0.2×45° |
Зузаан/Диаметрийн хүлцэл | ±0.1 мм | ±0.1 мм |
Хамгийн их хэмжээсүүд | диаметр нь 150×50мм | диаметр нь 150×50мм |
XXKH үйлчилгээ
1. Том хэмжээний ембүү үйлдвэрлэх.
Хэмжээ ба зүсэлт: X/Y/Z зүсэлттэй, 42°Y зүсэлттэй, мөн захиалгат өнцгийн зүсэлттэй (±0.01° хүлцэл) 3–8 инчийн гулдмайнууд.
Допингийн хяналт: Фоторефракцийн эсэргүүцэл ба дулааны тогтвортой байдлыг оновчтой болгохын тулд Чохралскийн аргаар (концентрацийн хязгаар 10¹⁶–10¹⁹ см⁻³) Fe/Mg-ийг хамтарсан допингийн аргаар хийнэ.
2. Дэвшилтэт процессын технологиуд.
Олон төрлийн интеграци: Өндөр давтамжтай SAW шүүлтүүрт зориулсан зузааны хяналттай (300–600 нм) ба 8.78 Вт/м·К хүртэл дулаан дамжуулалттай цахиур дээр суурилсан LiTaO3 нийлмэл вафли (POI).
Долгион хөтлүүр үйлдвэрлэх: Протон солилцоо (PE) болон урвуу протон солилцоо (RPE) техникүүд, өндөр хурдны электро-оптик модуляторуудад (зурвасын өргөн >40 GHz) зориулсан субмикрон долгион хөтлүүр (Δn >0.7)-ийг бий болгох.
3. Чанарын удирдлагын системүүд
Төгсгөл хүртэлх туршилт: Раман спектроскопи (политипийн баталгаажуулалт), XRD (талст чанар), AFM (гадаргуугийн морфологи) болон оптик жигд байдлын туршилт (Δn <5×10⁻⁵).
4. Дэлхийн нийлүүлэлтийн сүлжээний дэмжлэг
Үйлдвэрлэлийн хүчин чадал: Сард 5000 гаруй гулдмай (8 инч: 70%) үйлдвэрлэх хүчин чадалтай, 48 цагийн яаралтай хүргэлтийг дэмждэг.
Логистикийн сүлжээ: Европ, Хойд Америк, Ази, Номхон далайн бүс нутагт температурын хяналттай сав баглаа боодолтой агаарын/далайн тээвэрлэлтээр тээвэрлэлт хийнэ.
5. Техникийн хамтарсан хөгжил
Хамтарсан судалгаа, хөгжүүлэлтийн лабораториуд: Фотоник интеграцийн платформууд дээр хамтран ажиллах (жишээ нь, SiO2 бага алдагдалтай давхаргын холбоо).
Хураангуй
LiTaO3 гулдмай нь оптоэлектроник болон квант технологийг өөрчлөн байгуулах стратегийн материал болж үйлчилдэг. Кристал өсөлт (жишээ нь, PVT), согогийг бууруулах, олон төрлийн интеграцчилал (жишээ нь, POI)-ийн инновациар дамжуулан бид 5G/6G харилцаа холбоо, квант тооцоолол, аж үйлдвэрийн IoT-д өндөр найдвартай, зардал багатай шийдлүүдийг хүргэдэг. XKH нь гулдмайн согогийг бууруулах, 8 инчийн үйлдвэрлэлийг өргөжүүлэх чиглэлээр амлалт өгснөөр үйлчлүүлэгчид дэлхийн хангамжийн сүлжээнд тэргүүлэх байр сууриа эзэлж, өргөн зурвасын завсрын хагас дамжуулагч экосистемийн дараагийн эрин үеийг бий болгодог.









