Fe/Mg допинг агуулсан LiTaO3 литийн танталатын ембүү.
Техникийн параметрүүд
Тодорхойлолт | Уламжлалт | Өндөр нарийвчлал |
Материал | LiTaO3(LT)/ LiNbO3 хавтан | LiTaO3(LT)/LiNbO3 хавтан |
Баримтлал | X-112°Y,36°Y,42°Y±0.5° | X-112°Y,36°Y,42°Y±0.5° |
Зэрэгцээ | 30" | 10'' |
Перпендикуляр | 10′ | 5' |
гадаргуугийн чанар | 40/20 | 20/10 |
Долгионы фронтын гажуудал | λ/4@632нм | λ/8@632нм |
Гадаргуугийн тэгш байдал | λ/4@632нм | λ/8@632нм |
Цэвэр диафрагм | >90% | >90% |
Хагархай | <0.2×45° | <0.2×45° |
Зузаан/диаметрийн хүлцэл | ±0.1 мм | ±0.1 мм |
Хамгийн их хэмжээсүүд | диаметр нь 150 × 50 мм | диаметр нь 150 × 50 мм |
XKH үйлчилгээ
1. Их хэмжээний ембүү үйлдвэрлэл.
Хэмжээ ба зүсэлт: X/Y/Z зүсэлттэй, 42°Y зүсэлттэй, захиалгат өнцгийн зүсэлттэй 3-8 инчийн ембүү (±0.01° хүлцэл).
Допингийн хяналт: Гэрэл хугарлын эсэргүүцэл ба дулааны тогтвортой байдлыг оновчтой болгохын тулд Czochralski аргаар Fe/Mg-ийг (концентрацийн хүрээ 10¹⁶–10¹⁹ см⁻³) хамтран допинг хийнэ.
2. Процессын дэвшилтэт технологиуд.
Нэг төрлийн бус интеграци: Цахиурт суурилсан LiTaO3 нийлмэл хавтан (POI) зузааныг хянах (300–600 нм), өндөр давтамжийн SAW шүүлтүүрт зориулсан 8.78 Вт/м·К хүртэл дулаан дамжуулалт.
Долгион хөтлүүр үйлдвэрлэх: Протон солилцоо (PE) ба урвуу протон солилцооны (RPE) техникүүд нь өндөр хурдны цахилгаан оптик модуляторуудад (40 GHz зурвасын өргөн) дэд микрон долгионы хөтлүүрт (Δn >0.7) хүрэх боломжтой.
3. Чанарын удирдлагын системүүд
Төгсгөл хоорондын туршилт: Раман спектроскопи (политипийн баталгаажуулалт), XRD (талст), AFM (гадаргуугийн морфологи), оптик жигд байдлын туршилт (Δn <5×10⁻⁵).
4. Дэлхийн нийлүүлэлтийн сүлжээг дэмжих
Үйлдвэрлэлийн хүчин чадал: Сарын гаралт >5000 ембүү (8 инч: 70%), 48 цагийн яаралтай хүргэлтийг дэмждэг.
Логистикийн сүлжээ: Температурын хяналттай сав баглаа боодол бүхий агаар/далайн тээврээр дамжуулан Европ, Хойд Америк, Ази-Номхон далайд хамрах хүрээ.
5. Техникийн хамтын хөгжил
Хамтарсан R&D лаборатори: Фотоник интеграцийн платформ дээр хамтран ажиллах (жишээ нь, SiO2 бага алдагдалтай давхаргын холболт).
Дүгнэлт
LiTaO3 ембүү нь оптоэлектроник болон квант технологийн хэлбэрийг өөрчлөх стратегийн материал болдог. Кристал өсөлт (жишээ нь, PVT), согогийг бууруулах, нэг төрлийн бус интеграцид (жишээ нь, POI) инноваци хийснээр бид 5G/6G харилцаа холбоо, квант тооцоолол, үйлдвэрлэлийн IoT зэрэгт өндөр найдвартай, хэмнэлттэй шийдлүүдийг хүргэдэг. ХКХ нь ембүүний согогийг бууруулах, 8 инчийн үйлдвэрлэлийг өргөжүүлэхийн төлөөх амлалт нь үйлчлүүлэгчдэдээ дэлхийн нийлүүлэлтийн сүлжээнд тэргүүлж, өргөн зурвасын хагас дамжуулагч экосистемийн дараагийн эрин үеийг удирдан чиглүүлдэг.

